理想的な真空キューブ パッケージ、6x6x6 インチ キューブ、Edwards E2M1.5 ロータリー ベーン真空ポンプと付属品

当社の Ideal Vacuum Cube はモジュール式の高真空チャンバー システムであり、真空チャンバー システム構築における創造性と設計の柔軟性を可能にするように考案されています。キューブはさまざまな形状や構成に積み重ねることができ、交換可能なプレートにより接続、窓、フィードスルー用のさまざまな機能が提供されます。プレートには標準の 1 インチ光学パターンに 1/4 インチ -20 の取り付けネジがあり、ヒンジ、ポスト、マウント、レンズ、偏光子、その他のアクセサリを簡単に接続できます。

耐久性と多用途性

Ideal Vacuum Cubes は、大きな内寸とオープンなデザインにより、多くの真空チャンバーの用途や実験に最適です。真空キューブは軽量の 6061-T6 アルミニウム合金で作られているため、ラボ内で簡単に移動したり、光学テーブルに取り付けることができます (重いステンレス鋼の真空チャンバーとは異なります)。特許出願中のシール保護設計、ステンレス鋼のネジ山インサート、および粉体塗装された外板仕上げにより、バキューム キューブは最も要求の厳しい使用にも耐えられる耐久性の高いツールとなっています。

技術的な詳細

特許出願中のチャンバーシステム

当社の Ideal Vacuum Cube は、テーパーシール技術を特徴とする特許出願中のデザインを採用しています。作業面に設置すると損傷しやすい他の真空フランジ設計 (Conflat CF、KF/NW、ISO-LF (ラージ フランジ) など) とは異なり、当社のテーパーシール設計は重要なシール エッジや O リングを衝撃から保護します。損傷や汚染の原因となる可能性があります。

革新的なチャンバー構成要素

理想的な真空キューブは簡単に積み重ねることができ、複雑でありながら軽量な真空システムを構築できます (下の図を参照)。各真空キューブの外縁には、キューブ同士を簡単に接続できるようにハードウェア取り付けソケットが付いています。キューブ カップリング キットには、2 つのキューブを接続するために必要なハードウェアが含まれています。これにより、科学者は実験室で長いまたは奇妙な形状の真空システムを創造的に構築することができます。

構成可能なプレートとアクセサリ

Vacuum Cube は、多くのオプションを備えたさまざまなプレートとウィンドウで構成できます。真空キューブには、電力、熱電対温度測定、光学レーザー光または画像検出器、ガス供給、または熱/冷却再循環ライン用の流体の流れ用のフィードスルーを取り付けることができます。互換性のある標準フランジ スタイルには、KF-16、KF-25、KF-40、KF-50、ISO-63、conlfat CF 2.75、CF 3.375、CF 4.5 インチ フランジ ポートが含まれます。観察窓も利用でき、ご要望に応じてカスタムプレートも製造できます。オプションのヒンジ キットを注文すると、あらゆるプレートを操作可能なドアに変換できます。

理想的な真空キューブの用途

当社の理想的な真空キューブは、レーザー研究用途に迅速に設置できるよう光学研究室にうまく実装できるように設計されています。以下の図は、6x6x18 インチの Ideal Vacuum Cube チャンバーを使用した、レーザー分光実験室セットアップ、キャビティ リング ダウン分光法 (CRDS) 真空チャンバー システムの例を示しています。弊社の Ideal Vacuum Cube はモジュール式設計なので、次のような多くの真空チャンバー用途に適しています。

• 真空紫外（VUV）装置と実験
• 熱真空試験
• 高度試験
• 真空脱泡室
• 高出力および超短パルスレーザーの研究開発
• イオン加速
• RGA (残留ガス分析計)
• ヘリウム雰囲気中で溶接されたハーメチックシールされたデバイスのヘリウムリークテスト
• 医薬品包装の漏れ検出
• 分光法
• 分子イオントラップ
• クライオスタット真空チャンバー
• ビームライン

真空キューブの排気性能

いくつかの理想的な真空キューブ構成のポンプダウン曲線を以下のグラフに示します。単一の 6x6x6 インチの立方体は、大気中から 2.5 分で 1x10 ^-5トールまで、約 15 分で 1x10 ^-6トール未満まで排気できます。 (曲線のグラフィック 1 を表示)
これは、110 リットル/分 (3.3 cfm) のドライ スクロール真空ポンプを備えた 68 リットル/秒のターボ分子ポンプを使用して達成されました。

また、人気の Agilent Varian IDP-3 および SH-110 ドライ スクロール ポンプの粗引きポンプ ダウン曲線も提供しています。 6x6x6 Cube は、IDP-3 の場合は 1 分未満のポンピングで 300 mTorr (2.1 cfm) のベース圧力に達し、Agilent Varian SH-110 の場合は約 2 分で 50 mTorr (3.3 cfm) のベース圧力に達します。 (曲線のグラフィック 2 を表示)

特別なご要望に応じて、レーザー研究や光学用途における散乱光の吸収を助ける完全に陽極酸化されたプレートを提供することもできます。陽極酸化されたコンポーネントは、裸のアルミニウム金属表面ほど速くポンプダウンしません。 (曲線グラフィック 3 を表示) 陽極酸化プレートを備えた単一の 6x6x6 では、1x10 ^-5 Torr に達するまでに 1 時間のポンピングが必要でした。