理想的な真空スーパーシール コンフラット CF 3.38 インチ UHV 180° インライン手動ベローズ バルブ スルーホール回転可能フランジと銅製ボンネット シール。これは、入口ポートと出口ポートに Con flat CF 3.38 インチ (3-3/8 インチ) フランジを備えた手動操作の 180° インライン理想真空スーパーシール ベローズ バルブです。コンフラット フランジ付きスーパーシール バルブには、真空ラインへの最適な接続を実現する回転可能なフランジが付いています。このバルブは超高真空 (10 -10 Torr) での使用に適しており、60 ~ 80 psig の正圧範囲まで使用できます。これらのスーパーシール バルブのリーク率は 10 -11 Torr l/s (He) です。すべての超高真空定格スーパーシール バルブは、バルブ本体と機構に 304L ステンレス鋼、ボンネット シールに OFHC 銅ガスケット、Viton® ポペット シール O リングを使用しています。これらのバルブは、低摩擦で動作し、ポリマー エラストマー表面の磨耗がゼロであるため、何千サイクルにもわたって繰り返し可能なシール動作が可能です。スーパーシールバルブは高いコンダクタンスを提供し、排気ガス流量を最大化します。これらのバルブは 150°C までベーク可能であり (バイトン O リングによって制限されます)、最大 15 psig の最大差圧に耐えることができます。どの向きでも取り付けることができます。
手動操作のスーパーシール ベローズ バルブは、自動化が必要ない場合に最適なソリューションです。これらは、同様の空気圧操作のベローズ バルブよりも大幅に安価で、迅速に展開されます。手動ベローズ バルブは粗引きや高真空のフォアラインで頻繁に使用され、優れたチャンバー ベント バルブとなります。理想的な真空手動ベローズ スーパーシール バルブは、半導体製造、プラズマ物理研究、核加速器に至るまでの用途に使用されています。
仕様と寸法データについてはパンフレットを参照してください。 Ideal Vacuum Super-Seal ファミリの手動操作ベローズ バルブおよびアクセサリに関する完全な情報については、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。また、自動化が必要な場合に備えて、スーパーシール ソレノイド操作の空気圧ベローズ バルブのシリーズ全体も取り揃えています。