これらの大型理想真空スーパーシール空気圧ベローズ 90° アングル バルブには、外径 6 インチの溶接可能なチューブ入口ポートと出口ポートがあり、さまざまなタイプの入口ポートと出口ポートのフランジを使用してカスタマイズするのに最適です。これらは主に高真空で使用するように設計されています。リーク率は 10 ^-9 Torr l/s (He) ですが、最大 60 ～ 80 psi の正圧まで使用できます。これらのバルブは、304L ステンレス鋼のバルブ本体と機構で構成^されています。アルミニウム製アクチュエータ、バイトン ベローズ シート O リング シール、スーパーシール バルブは 100°C までベーキング可能 (バルブ本体のみ) これらのバルブは任意の方向に取り付けることができます。

これらの大型スーパーシールバルブは、開閉の両方にエアを必要とします。スプリングリターンがないため、自動的に閉まりません。 60 ～ 80 psi の範囲の低容量の乾燥した圧縮空気が必要です。自動スプリング閉鎖機能がないため、電源または空気供給が失われた場合にチャンバーの真空を維持するための故障保護を提供できません。

バルブを開閉するための空気の流れは、(大型の) 複動式電動ソレノイドによって制御されます。ソレノイド電圧は 12 VDC、24 VDC、110 VAC、220 VAC の 4 つから選択できます。

スーパーシール バルブには、機械式リード スイッチと 2 つのトランジスタ タイプ (NPN および PNP) を含む 3 つの位置インジケータ センサーが用意されています。各センサーには LED が付いており、バルブの状態 (開いているか閉じているか) を視覚的に確認できます。これらのセンサーは、補助デバイスの切り替えやトリガーにも使用できます。

Super-Seal バルブ ファミリには、外径 3/4 インチ チューブ (KF-16) から外径 10 インチ チューブ (ISO-K 250) までの溶接可能なチューブ、KF、ISO-K、およびコンフラット (CF) フランジ オプションが含まれています。多くは直角 (90°) バージョンとインライン バージョンで利用可能です。

これらのバルブは非常に価値があり、非常に信頼性が高いため、半導体製造、プラズマ物理研究、核加速器などの用途に役立ちます。これらは真空プロセス オートメーションの主要コンポーネントであり、平均故障率 (MTTF) が 100 万サイクルを超えています。

ソレノイドと位置表示センサーは別売りです。

Ideal Vacuum Super-Seal ファミリの空気圧ベローズ バルブおよびアクセサリの詳細については、技術仕様については以下を参照し、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。