説明

これは、高真空プロセスに最適で、安定性と使いやすさが最適化された、当社の高真空ExploraVAC TVAC 真空テストチャンバーシステムです。これは、大型の 20 インチキューブ溶接ステンレススチール真空チャンバー、ビューポート付きのヒンジ付きステンレススチールドア、および 4.6 立方フィートの容積を備えた、完全に統合されたターンキーの高真空システムです。このシステムには、Pfeiffer HiPace 300 ターボ分子ポンプ、Edwards nXDS20i ドライスクロール真空ポンプ、および粗引きと高真空チャンバー圧力測定を提供する統合型マイクロイオンおよび Convectron ゲージコントローラーが含まれています。この高真空ExploraVAC TVAC システムは、1x10 ^-7 Torr の到達圧力に達することができ、重量は 862 ポンドで、単相 208 ～ 240 VAC、50/60 Hz、19 A が必要です。

高真空チャンバーは、多くの科学プロセスや産業プロセスに使用されています。多くの科学計測は、特に電子ビームやその他の荷電粒子ビームを使用する場合、真空下で行われます。真空スパッタリング、物理蒸着 (PVD)、化学蒸着 (CVD) などの精密真空コーティングプロセスは、半導体や精密研磨された光学基板に非常に薄い光学コーティングや保護コーティングを施すために使用されます。高真空は、精密半導体エッチングプロセスにも必要です。高真空は、イメージング目的で生物学的サンプルを凍結乾燥する場合など、極低温のサンプルから水やその他の残留蒸気を変形させずに除去するために使用できます。高真空は、宇宙で感じられる極度の低圧にさらされてもガスが発生しないことを確認するために、宇宙対応のコンポーネントまたはデバイスをテストするために必要です。すべてのオプションのパフォーマンスデータについては、以下のパフォーマンスグラフ PDF ダウンロードを参照してください。

ExploraVAC高真空システム構成:

20インチキューブ溶接ステンレススチールチャンバー
ビューポート付きステンレススチールフロントチャンバードア
ファイファー HiPace 300 ターボ分子ポンプ
Edwards nXDS20i ドライスクロール真空ポンプ
数量 2 LF-200 サイドポート (チャンバーの両側からさまざまなフィードスルーを追加できます)

ExploraVACシリーズの TVAC 熱真空チャンバープロセスおよびテスト機器は、正確な環境を作り出し、オペレーターがチャンバー内の圧力と温度を完全に制御できるようにします。これらはイノベーションを念頭に置いて構築されています。製品の研究開発段階で真空内でプロトタイプデバイスを探索したり、小ロット処理で正確なプロセス制御を行ったりできます。これらの熱真空テストチャンバー機器は、製品が真空と温度の極度のストレス要因にさらされるときに、ユーザーが実験を迅速にカスタマイズして製品分析および診断データを収集できるように設計されています。

ExploraVAC TVAC 熱真空テストチャンバーは、多数の利用可能なシステムオプションを使用して完全に構成可能です (上記の製品コンフィギュレータを参照)。

ExploraVACシステム構成オプション:

粗引きポンプ（乾式スクロールまたは乾式多段ルーツ、各種速度）
高真空（さまざまな速度）
完全な真空圧力制御
加熱・冷却プレート
チャンバー壁加熱
統合チャンバー照明
閉ループ冷却またはLN ₂極低温冷却システム
自動ソフトウェア制御
リモコン操作
パージポート、チャンバーシェルフ、その他

ExploraVACには、(内部) 立方サイズ (12、16、20、または 24 インチ) の溶接ステンレス鋼チャンバーや、(内部) 立方サイズ (9、12、または 24 インチ) の Ideal Vacuum Cube™ モジュラーチャンバーなど、幅広い真空チャンバーが用意されています。チャンバーは、アルミニウム製またはステンレス鋼製のドアで構成でき、ビューポートの有無を選択できます。

ExploraVAC TVAC システムキャビネットには、すべてのチャンバー機能を制御するカラー LED プッシュボタンインターフェイスを備えた、便利な角度のフロントパネルコントロールサーフェスがあります。PID コントローラとゲージは、ユーザーが選択したオプションに応じてインストールされます。PLC は、効率的なポンプダウンサイクルのためのポンプとバルブのシーケンス、機器の損傷を防ぐための安全インターロックなどのシステム機能を管理します。前面からアクセスできる NEMA スタイルの組み込みエンクロージャには、システム操作に必要な電子機器が収納されています。

LF-200 の広々としたサイドポートには、デバイス監視や衝撃試験用の電子フィードスルー、放射加熱や温度差試験用の赤外線ランプアレイ、電離放射線試験用の紫外線ランプアレイなど、ユーザーが選択または設計したアクセサリを取り付けることができます。このシステムは、キャビネットの外側に真空ポンプを追加することで、任意の上昇率が得られるようにカスタマイズできます。

キャビネットの背面には、チャンバーの通気、ポンプの排気、パージガスオプション用のバルクヘッドフィードスルーパネルがあります。デジタルフィードスルーバックパネルには、 Auto Explor ™ ソフトウェアを使用して Microsoft Windows 10 または 11 を実行しているワークステーションまたはラップトップからシステムをリモートで実行するための DB9 コネクタを含む複数のポートがあります。

AutoExplorの (無期限の) 基本バージョン (P1012102) を使用すると、ユーザーはシステムを保護しながらデバイスを手動で制御できます。AutoExplorはポンプを適切に順序付け、特定の要求に対して適切なバルブを自動的に操作します。ユーザーは圧力と温度の設定値、ランプレート、ソーク時間、およびベント (システムにこれらのハードウェアオプションが装備されている場合) をプログラムできます。ソフトウェアはリアルタイムのグラフィカルデータストリーミングを提供するため、ユーザーはシステムの動作を視覚化できます。AutoExplorは内部予防保守スケジュールを維持し、システムサービスが期限切れになるとユーザーに通知します。たとえば、スクロールポンプのチップシールの交換が必要な時期やセンサーのキャリブレーションの時期を通知します。これにより、システムを最高の動作パフォーマンスに保つことができます。また、デバイス障害が発生した場合は、障害およびエラーメッセージと具体的なトラブルシューティング情報が提供され、問題をできるだけ早く修正できます。

AutoExplorのプレミアムバージョン (P1012100) には、基本ソフトウェアパッケージ (上記) のすべての機能に加えて、自動レシピ制御、データロギング、およびログエクスポート機能が含まれています。複雑なテストレシピをステップバイステップのプロセスとして作成でき、各ステップで複数のデバイスのオン/オフ状態、セットポイント、およびランプレートを制御できます。各レシピステップの 1 つまたは複数の終了条件は、論理演算子を使用して設定できます。プレミアムバージョンでは、レシピデータログファイルから環境 TVAC テストレポートをすばやく生成できます。ログを確認して、対象のプロセスパラメータが達成されていることを確認できます。プレミアムバージョンには、 AutoExplor IP Clientも含まれています。これにより、ソフトウェアは複数の外部ネットワーククライアントを管理できるホストとして使用できます。また、 AutoExplor API (アプリケーションプログラミングインターフェイス) も含まれています。これにより、科学者またはプログラマーは、 AutoExplor のソフトウェアインターフェイスを使用せずに、 ExploraVac機器を既存のソフトウェアテストスイートに統合できます。プレミアムバージョンは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。

ExploraVACシリーズの TVAC 圧力および温度制御テストチャンバーは、多くの製品テスト要件に最適なソリューションです。

サンプルアプリケーション