BRUKER DektakXT-Advanced スタイラスプロファイロメーター、DXT-A 表面プロファイル測定システム、3D 自動表面プロファイリング

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Bruker DektakXT-A スタイラス プロファイロメーター、DXT 表面プロファイル測定システム。この Bruker DektakXT® スタイラス プロファイロメーターは、最大 200 mm のスキャンのステッチングを含む 3D 自動表面マッピングおよび分析機能を備えた高度なスタイラス プロファイロメーター (DXT-A) です。革新的なベンチトップ設計が特徴で、4Å の比類のない再現性と最大 40% のスキャン速度向上を実現します。さらに、正確な段差高さと表面粗さの測定値を収集するために必要なすべての機能を備えています。この DektakXT-A システムには、次のものが含まれています。Dell OptiPlex PC (Win10 Pro オペレーティング システムおよび Bruker Vision64 ソフトウェア搭載)、4 つの空気隔離脚、6 インチの移動距離を持つ電動 X/Y ステージ、電動 360 度回転、システムに標準装備されている 2 ～ 3、4 ～ 6、または 8 インチの真空チャック、LIS 3、1 ～ 15 mg の力を持つ低慣性センサー、選択可能な倍率を持つ 3.1 メガピクセルのカラー カメラ、スターター スタイラス (2 um または 12.5 um を選択)、55 mm のスキャン長を持つ光学的に平坦なスキャン ブロック、4 Å のステップ高さの再現性、1 um ステップで 1 シグマ、最大 200 mm のスキャンのステッチング、3D マップ収集および広範なデータ分析、無制限の数の場所による自動収集機能、1 年間の限定工場保証。Dektak XT の設備要件、寸法、重量、熱負荷。表 1 に、DektakXT システムの設備要件を示します。表2 に寸法、重量、熱負荷を示します。電源 DXT-110V - 100/115 VAC 動作100/115 VAC 動作用に電源を構成します。米国および 100/115 ボルトで動作する国で、標準の 3 ピン米国コンセントを使用して動作できます。環境エンクロージャ DXT-ENC - DXT 環境エンクロージャが付属しています。コンピューターBruker の 64 ビット デスクトップ コンピューターが付属しています。Dell OptiPlex、Win10 Pro オペレーティング システム、3.2GHz プロセッサー、Intel Core i5、4GB (1x4G) 1600MHz DDR3L メモリ、500GB ハード ディスク ドライブ、Vision64# 操作および分析ソフトウェア。コンピューター モニターVGA 互換モニターが必要です。モニターは 1920x1080 @ 60HZ 解像度をサポートし、DVI-D ポートを備え、DisplayPort 互換である必要があります。システムにはモニターは付属しておらず、基本価格には含まれていません。ただし、ご要望に応じて、互換性のある新品のモニターを請求して提供することができます。XY ステージ DXT-AUTO - 電動 XY 150 x 150MM ステージ、R ステージ DXT-R-AUTO - 電動 R-THETA DXT-S/A サンプル プラッター オプション DXT-SET-WVC - ウェーハ バキューム チャック パッケージ 1,620.00 1,620.00 ウェーハ バキューム チャック パッケージこのウェーハ バキューム チャック パッケージは、2 ～ 3 インチ (838-203)、4 ～ 6 インチ (838-189)、および 8 インチ (838-195) のウェーハ バキューム チャックで構成されています。価格は、基本システム価格に追加されます。スターター スタイラス DXT-STYL-2UM-B - スタイラス、LIS 3、2UM RAD-TYPE B このスターター スタイラスには、このシステムには半径 2um のスタイラス チップが無料で付属しており、インストール後すぐに使用できます。チップの SEM 画像は含まれていません。 アプリケーション パッケージ DXT-STITCH - ステッチ機能 Vision64#Stitching 機能により、DXT-A システムは複数のスキャンをステッチして、6 インチ (150 mm) の電動移動をカバーするシームレスなスキャンを生成できます。これは、シリコン ウェーハおよび同様の平坦度のサンプルの 2D フィルム応力測定に最も役立ちます。ステッチ機能は、この DektakXT Advanced System (DXT-A) に含まれています。 DXT-3D MAP - 3D マッピングおよび分析機能 Vision64 3D マッピング機能には、DXT-A Advanced Systems で収集された 3D マップのリアルタイム視覚化が含まれます。3D マッピングでは、ステッチングを使用した大きなマップを含む、あらゆるサイズの 3D データセットを生成できます。この機能では、データセットの高度なフィルタリングと操作のために、Vision64 3D 解析の完全なスイートが利用可能です。 DXT-2D 応力 - 2D 応力測定機能 Vision64 2D 応力測定機能は、引張応力と圧縮応力を同時に計算します。5 次多項式近似とユーザー選択可能な弾性定数を使用することで、2D 応力機能は正確な結果を実現します。ステッチ機能と組み合わせて使用することで、DXT-Advanced システムの平坦なウェーハ上のより広い領域を測定できます。ウェーハ真空チャックと一緒に注文されたシステムには、クロムめっきボールベアリングとペンマグネットが含まれます。 DXT-AUTOMATION - 自動測定収集 Vision64 Automation 機能は、複数の場所でのラインスキャンと 3D マップの自動収集を提供します。オペレーターは、自動化レシピを使用して、ボタンをクリックするだけで一連の解析を実行できます。この DXT-A 標準機能は、サンプルの複数の場所で繰り返し測定する必要がある製造 QA/QC 環境で役立ちます。 顧客インストール キット DektakXT は、このキットを使用して自分でインストールできるように設計されています。開梱、セットアップ、システム機能の初期検証の手順をお客様に説明する説明ビデオが提供されます。 オペレーターにデータ収集と分析の手順を説明する追加のビデオ セットも提供されます。 この包括的な短いビデオ セットにより、オペレーターは DXT の操作をすぐに習得でき、システムの運用寿命全体にわたって参照として使用できます。