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Agilent Varian ターボパージバルブ、10 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合、PN 9699240

状態:
  新しい
部品番号:
  P104481
保証:
  Agilent Warranty

在庫切れ   

セール: ¥100,377.44

Agilent Varian ターボパージバルブ、10 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合、PN 9699240 100377.44
通貨: Japanese Yen (JPY)

説明

Agilent Varian ターボパージ バルブ、10 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。
Agilent Varian 部品番号 PN: 9699240。

これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、10 SCCM の固定流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備えており、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボ パージ バルブの部品番号は Agilent Varian です。PN 969-9240 です。

以下の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します。
  • ツイトール 74 FS
  • ツイトール 84 FS
  • ツイトール 305 FS
  • ツイストール 305-IC
  • ツイトール 404 FS
  • ツイトール 704 FS
  • ツイトール 804 FS
  • ターボV1001

パンフレット

Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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