Agilent Varian 563 ガラスイオンゲージチューブ、タングステンフィラメント、KF25 / NW25 Kovar フランジ、真空圧力ゲージ。
アジレント部品番号: K2466306これらのイオンゲージチューブは、KF25 NW25 コバールフランジ真空接続と 1x10 -3 ~ 2x10 -10 Torr の動作範囲を備えています。これらのイオンゲージチューブは、最新の熱陰極イオンゲージチューブのほとんどと互換性があります。感度は Torr-1 で、動作電圧は標準です (コレクター 0 VDC、グリッド +180 VDC、フィラメント +30 VDC、フィラメント電圧 4 VAC)。高真空および超高真空の範囲では、プラチナシールドが外部電界による低イオン電流への影響を防止します。生成されるイオンの数が大幅に多い高圧範囲では、プラチナ導電性コーティングがガラスチューブの内側に蓄積する可能性のある静電気を排出します。したがって、563 チューブはチューブの全範囲で優れた性能を発揮します。
当社の交換用イオンゲージチューブは、Granville Phillips、MKS Instruments、Perkin Elmer、Varian、Veeco 製のほとんどの熱陰極イオンゲージ コントローラで動作します。Agilent Varian 563 イオンゲージの取扱説明書については、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードしてください。
通常、以下で動作します:
Granville Phillips モデル 260、270、280、303、306、307、330、340、350 など。
MKSインストゥルメンツ 290、919、929
パーキンエルマー DGC3
Varian 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 572 チューブ K7360301
ヴィーコRG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002