説明
Varian Agilent 563 ガラス イオン ゲージ チューブ、タングステン フィラメント、KF25 NW25 コバール フランジ、真空圧力計。
PN:K2466306
これらのイオン ゲージ チューブには、KF25 NW25 コバール フランジ真空接続があり、1x10-3 ~ 2x10-10 Torr の動作範囲があります。これらのイオン ゲージ管は、ほとんどの最新の熱陰極イオン ゲージ管と互換性があります。感度は Torr-1 で、標準動作電圧 (コレクタ 0 VDC、グリッド +180 VDC、フィラメント +30 VDC、フィラメント電圧 4 VAC) を備えています。高真空および超高真空の範囲では、プラチナ シールドが外部電場が低イオン電流に影響を与えるのを防ぎます。生成されるイオンの数がはるかに多くなる高圧範囲では、白金の導電性コーティングがガラス管の内側に蓄積する可能性のある静電荷を排出します。したがって、563 チューブはチューブの全範囲にわたって優れたパフォーマンスを提供します。
当社の交換用イオン ゲージ チューブは、Granville Phillips、MKS Instruments、Perkin Elmer、Varian、Veeco 製のほとんどの熱陰極イオン ゲージ コントローラーで動作します。 Agilent Varian 563 イオン ゲージの取扱説明書については、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードしてください。
通常、次のもので動作します。
グランビル フィリップス モデル 260、270、280、303、306、307、330、340、350 など。
MKS インスツルメンツ 290、919、929
パーキン エルマー DGC3
Varian 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 572 チューブ K7360301
Veeco RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002