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キーワード       部品番号:      

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Agilent Varian AX-65 拡散ポンプ、ISO63K、Santovac 5 オイル用 250W ヒーター、115 VAC、PN L9707301

状態:
  新しい
部品番号:
  P106573
保証:
  As-Stated*

今すぐ利用可能   2  

¥402,352.26

の上 セール: ¥371,053.03

Agilent Varian AX-65 拡散ポンプ、ISO63K、Santovac 5 オイル用 250W ヒーター、115 VAC、PN L9707301 371053.03
通貨: Japanese Yen (JPY)

説明

Agilent Varian AX-65 拡散ポンプ、ISO-63K インレット、Santovac 5 オイル用に設計された 250 ワット ヒーター、エアポンピング速度 65 l/s
空冷、標準コールド キャップ (バッフルなし) 単相 115 VAC で動作、Agilent Varian 部品番号 L9707301

これらの Agilent Varian モデル AX-65 高真空拡散ポンプは空冷式で、コンパクトな高真空ポンプの主要な工業標準です。 Agilent Varian AX-65 拡散ポンプは、すべてのガスに対して高い排気速度を備え、同じ真空範囲で使用される他のタイプのポンプと比較した場合、単位排気速度あたりのコストが最も低くなります。 AX-65 ポンプは、拡散ポンプ流体のメンテナンスと継続的なモニタリングを容易にするためのガラス充填および排出アセンブリを備えています。これらの AX-65 モデルには、表面積を増やし、流体の寿命を延ばすフィン付きボイラーが含まれています。完全分別設計により、蒸発した流体をボイラーとジェット アセンブリ内で分留できます。汚染生成物や分解生成物はポンプで除去され、最も純粋な蒸気のみがトップジェットに到達し、最高速度と最低の逆流が保証されます。

この Agilent Varian AX-65 拡散ポンプには以下が含まれます:
  • ファン付き空冷拡散ポンプ、PN L9707301
  • 入口 ISO-63K、出口 KF16
  • 標準コールドキャップ (バッフルなし)
  • 115 VAC @ 250 ワット ヒーター (Santovac 5 オイルで使用するように設計)
拡散ポンプは、蒸気の高速ジェットを使用して、ポンプのスロート内のガス分子をポンプの底部に導き、出口から排出します。油拡散ポンプは、蒸気圧の低い油 (ヒーター ハーネスに応じて Santovac 5 または IVP 704) で動作します。その目的は、容積式ポンプのみを使用した場合よりも高い真空 (より低い圧力) を達成することです。 Agilent Varian AX-65 は、5x10-8 Torr の圧力までポンプダウンできます。拡散ポンプは大気中に直接排出できないため、通常、出口圧力を約 1 mTorr に維持するために機械式フォアポンプ、粗引きポンプが使用されます。

すべての拡散ポンプでは、少量の逆流が発生します。逆流とは、ポンプの入口に向かって逆方向に移動し、電子顕微鏡や溶接チャンバーのステージであるプロセス流への微量の油の移動です。一部のアプリケーションでは、軽微なバックストリーミングは影響を与えません。材料の純度が重要である場合には、逆流は許容されません。このため、Agilent Varian AX-65 には、オイル粒子がプロセス流に到達する前に偏向するバッフルをオプションで装備できます。

これらの Agilent Varian 拡散ポンプは信頼性が高く、設計がシンプルで、騒音や振動がなく動作します。拡散ポンプは、依然として高真空を作り出すための最も経済的な手段です。拡散ポンプは、他のタイプの高真空ポンプを破壊する可能性のある過剰な粒子や反応性ガスなどの動作条件にも耐えます。単相 90、115、165、または 220 VAC ヒーター ハーネスと一緒に注文できます。当社では、このポンプ用の Santovac 5 および IVP 704 拡散ポンプ流体を在庫および販売しています (ヒーター ハーネスに応じて)。真空アプリケーションやメンテナンスのニーズに役立つ追加のアクセサリについては、以下の「関連」セクションを参照してください。当社は、この Web サイトで別売りのさまざまな真空グリース、オイル、真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、部品およびアクセサリを豊富に提供しています。

これらの Agilent Varian AX-65 拡散ポンプは、ISO-63K 吸気真空フランジを備え、Santovac 5 オイルで使用するように設計された 250 ワットのヒーターを備え、排気速度は 65 l/s、空冷式で、コンパクトで組み込みが容易です。小型の実験室機器に使用でき、単相 115 VAC で動作し、Agilent Varian の部品番号は L9707301 です。 Agilent Varian AX 65 拡散ポンプのユーザー取扱説明書は、以下から PDF 形式でダウンロードできます。これらは通常の在庫品であり、多くの場合注文と同じ日に発送されます。

パンフレット

Specifications
Specification Units AX-65 with cold cap AX-65 with baffle
Operating Range
Torr
mbar
3x10⁻³ to < 5x10⁻⁸
3.9x10⁻³ to < 6.5x10⁻⁸
8.0x10⁻³ to < 5x10⁻⁸
10.4x10⁻³ to < 6.5x10⁻³
Pumping Speed,
Maximum
l/s, Air
l/s, Helium
65
90
30
65
Throughput (Air), Max.
Optimum Range

Overload Range
(@ 1x10⁻² Torr)
Torr-l/s
mbar-l/s

Torr-l/s
mbar-l/s
0.19
0.25

0.30
0.40
Forepressure, Max.
No Load


Full Load
Torr
mbar

Torr
mbar
0.75
1.00

0.60
0.78
Compression Ratio Air
He
4x10⁻⁷
4x10⁻⁶
Backstreaming Rate
at Pump Inlet
mg/cm² < 2x10⁻⁴ < 2x10⁻⁵
Electrical Power
VAC, 50/60 Hz
1 Phase
Watts 200/250
Warmup Time minutes 7
Cooldown Time minutes 10
Fluid Charge cc 30
Recommended
backing pump
capacity
cfm (m³/hr) ≥ 1.5 (2.5)
Cooling Fan cfm 30
Inlet Flange N/A NW50 or ISO-63-K
Body N/A Stainless steel
Jet Assembly N/A Three-stage, self-aligning, aluminum, w/ aluminum cold cap
Net Weight lbs (kg) 8 (3.63)

AX-65 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description Part No. Item
Jet Assembly L9674301 1
Cold Cap L9675301 2
Inlet Baffle L9706001 3
Inlet Baffle Retrofit Kit R1160065 3
Jet Alignment Kit L9995301 4
Heaters (one heater required per pump) 5
   90 V / 250 watt Heater Harness L9994301 5.1
   115 V / 250 watt Heater Harness L9994303 5.2
   165 V / 250 watt Heater Harness L9994302 5.3
   220 V / 250 watt Heater Harness L9994304 5.4
   115 V / 250 watt Heater Harness L9994307 5.5
   220 V / 250 watt Heater Harness L9994308 5.6
Normally Closed Thermal Switch (set to open at 365°) L9964001 6
Optional Normally Open Switch (set to close at 170°) L9964002 7
Fan 661300138 8
Foreline Baffle L9676301 9
Inlet Centering Ring Assembly, NW50 with Viton O-ring L9680301 10
Foreline Centering Ring Assembly, NW16 with Viton O-ring KC16AV 11
Bottom Insulation L9701002 12
Santovac 5 diffusion pump fluid, 40 cc 695405001 13
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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