Agilent Varian TPS-Compact Dry 74FS ターボ分子真空ポンプ システム、KF40 インレット フランジ。
Agilent 部品番号: X3580-64000 (注文番号 X3580A-010-020-120)。 Agilent Varian TPS-Compact は、乾式高真空ターボ分子ポンプ システムです。 TPS-Compact は、74FS ターボ ポンプ (最大排気速度 44 l/s N2) または最新のツイスター技術を備えた 305FS ターボ ポンプ (最大排気速度 250 l/s) とともに注文できます。 TPS-Compact システムは、名前が示すとおり、小型、コンパクトで、ポンプダウン時間が速いです。 Agilent TPS-Compact は、到達圧力 1x10 -9 Torr の完全ドライ高真空排気システムです。 TPS-Compact 内の補助ポンプは、60 l/min Varian IDP-3 ドライ スクロール真空ポンプです。 Agilent Varian TPS-Compact は、オイルフリーの高性能真空ポンプ システムであり、優れたスクロール ポンプ性能により消費電力が削減されています。 Agilent Varian TPS-Compact は、コスト効率が高く、要求の厳しいアプリケーションに対応できるように設計されています。これらのユニットは、KF 40、ISO 63、CF 2.75、CF 4.5 構成で注文できます。これらのユニットは新品で、Varian の工場保証が付いています。これらは、50/60 Hz の単相 115 または 220 VAC で動作するように注文できます。
オプションの Agilent Varian FRG-700 フルレンジ (アクティブ ピラニおよび反転マグネトロン ゲージ) が利用可能で、大気圧から 3.8x10 -9 Torr までの真空圧を測定できます。 Varian MiniTask、TPS Compact、および Agilent Varian AG ターボ ポンプ コントローラは、圧力測定値がデバイスの前面に表示される FRG-700 ゲージを制御できます。これらのゲージは、TPS-Compact ユニットの前面にある内蔵ディスプレイと連動しており、圧力の読み取り値は mbar、Torr、または Pascal で表示できます。これらのシステムのコントローラ ディスプレイは、RS-232 またはアナログ通信と互換性があります。フルレンジゲージキットも提供しています。これには、Agilent Varian FRG-700 アクティブ ピラニおよび反転マグネトロン ゲージ、ゲージ接続用のケーブル、および接続ハードウェア付き真空ティーが含まれます。
このユニットには車輪も付いています。すべての Agilent TPS-Compact ユニットは、PC 経由で T-Plus ソフトウェアで操作できます (付属していません)。 (上の中央の写真を参照)。完全な仕様とアプリケーションパンフレットは PDF 形式で以下からダウンロードできます。 KF 40 インテークを備えた新しい Agilent TPS Compact 74FS の部品番号は Agilent Varian X3580A-010-020-120 で、現在製造中止となっている部品番号 9698217 の Agilent Varian TPS Compact V81M に代わるものです。