Agilent Varian TPS-Mini、TwisTorr 74 FS ターボ分子真空ポンプ システム、CF 4.5 インレット フランジ付き
製品番号 G8703A-022 (X3502-64000) Agilent Varian TPS-Mini は、ドライ高真空ターボ分子ポンプ システムです。TPS-Mini は、74 FS Turbo (最大排気速度 67 l/s) または最新のツイスター技術を採用した 304FS Turblo (最大排気速度 250 l/s) で注文できます。TPS-Mini システムは、その名のとおり、小型でコンパクト、使いやすい、完全に統合された真空ポンプ システムです。TPS-Mini は、到達圧力が 1x10-7 Torr の完全ドライ高真空ポンプ システムです。TPS-Mini 内の補助ポンプは、10 l/分のドライ ダイヤフラム ポンプです。Varian TPS-Mini は、コスト効率に優れながら、要求の厳しいアプリケーションに対応するように設計されています。これらのユニットは、KF 40、ISO 63、CF 4.5 インチ構成で注文できます。これらのユニットは新品で、Agilent Varian の工場保証が付いています。1 相または 3 相 90V ~ 240V AC で動作するように注文できます。 50Hz / 60Hz。
オプションの Agilent Varian FRG-700 フルレンジ (アクティブ ピラニおよび逆マグネトロン ゲージ) は、大気圧から 3.8x10-9 Torr までの真空圧を測定できます。Varian MiniTask、TPS Compact、および Varian AG ターボ ポンプ コントローラは、FRG-700 ゲージを制御でき、圧力の読み取り値はデバイスの前面に表示されます。これらのゲージは、TPS-Compact ユニットの前面にある内蔵ディスプレイとインターフェイスし、圧力の読み取り値は mbar、Torr、または Pascal で表示できます。これらのシステムのコントローラ ディスプレイは、RS-232 またはアナログ通信と互換性があります。また、Agilent Varian FRG-700 アクティブ ピラニおよび逆マグネトロン ゲージ、ゲージ接続用ケーブル、接続ハードウェア付き真空 T 字継手を含むフルレンジ ゲージ キットも提供しています。
すべての TPS-Mini ユニットは、PC (付属していません) 経由で T-Plus ソフトウェアを使用して操作できます。完全な仕様とアプリケーション パンフレット (PDF 形式) は、以下からダウンロードできます。CF 4.5 インチ吸気口付き TPS Mini 74FS の部品番号は Agilent Varian G8703A-022 (X3502-64000) で、現在製造中止となっている Varian Mini Task V81M (部品番号 9699182) の後継品です。