Agilent Varian TPS モバイル真空システム、305 FS ターボ、Conflat CFF 6 インレット、モバイル カート上の IDP-07 ドライ スクロール ポンプ付き

これらの Agilent Varian TPS モバイル システムには、排気速度 255 l/s の Agilent 305 FS ターボ ポンプ、Conflat CFF 6 インチ入口フランジ、IDP-7 ドライ スクロール粗引きポンプ、および 305-FS AG ラックマウント コントローラが付属しています。これらはプラグアンドプレイであり、プラグを差し込んでポンプダウンするだけの、完全な自己完結型の超高真空ポンプ システムです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力計だけです。 CF フランジ付きの Agilent 305 FS ターボポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲の真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シールガスケットが使用され、真空チャンバが完全にクリーンでベーキングされている場合)外）。 ISO-K フランジを備えた Agilent 305 FS ターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出により) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。これらのポンプの吸気フランジ (CF フランジのみ) は、ターボが水冷されている場合、最大 100 °C までベーキングされる可能性があります。

アプリケーションには以下が含まれます:

• UHV システムのポンプダウン
• イオンポンプ荒加工
• ランプとチューブの加工
• クライオポンプ再生
• 高真空システムの操作
• 高真空および超高真空システムのベークアウト

この Agilent Varian TPS モバイルには、次のコンポーネントが含まれています。

• Agilent Varian 305 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、CFF 6 インチ インレット、255 l/s、部品番号 X3500-64001
• Agilent Varian 305 AG FS ラック コントローラ、PN X3506-64002
• Agilent Varian ラックコントローラ用空冷ファンキット、PN X3500-68011
• Agilent Varian IDP-07 ドライスクロール粗引きポンプ、PN X3807-64010
• Conflat CFF 6 インチインレットスクリーン、部品番号 9699302
• 車輪とポンプの高さを調整できる移動式カート
• AC 電源コード、3 メートル、部品番号 9699958

Agilent Varian 305 FS ターボ分子真空ポンプに関する注意事項
これらの Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音や振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。 Agilent ターボ ポンプは、コンパクトなサイズでスペース要件が厳しい業界のニーズを満たす実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されています。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 FS ターボ ポンプには、メンテナンスが最小限またはまったく必要ありません。TwisTorr 305 FS ターボ ポンプの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。

Agilent Varian FS AG ラック コントローラに関する注意事項
Agilent Varian ラック コントローラには RS232-485 コネクタがあり、ソリッド ステート周波数コンバータであり、TwisTorr ターボ ポンプを駆動し、冷却ファンに電力を供給し、ベント バルブを駆動します。広範囲のゲージの圧力を提供および取得し、停止コマンド後の速度測定値を取得します。ラックコントローラーのPDFユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。

IDP-7 ドライスクロールラフィングポンプに関する注意事項
新しい Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール真空ポンプは、55 dBA 未満の極めて静かな動作と低振動動作を実現するように設計されており、60 Hz で 5.4 cfm (9.1 m3/h) のピーク排気速度を実現し、20 mTorr の到達圧力を生成します。 。これらの新しい Agilent IDP-07 ドライ スクロール ポンプは密閉されており、ヘリウム再循環、真空オーブン、およびバッキング ポンプのアプリケーションに適しています。密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除され、モーターとベアリングが大気圧で動作し、真空プロセスガスや水蒸気への曝露から隔離されます。 Agilent IDP-07 は、動作電圧範囲を 50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の間で簡単に切り替えられるグローバル単相モータをサポートしています。 IDP-7 の PDF ユーザー取扱説明書は、ダウンロード用に用意されています。