Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子真空ポンプ、ISO-200K インレットフランジ、排気速度 950 L/S、PN: 9698931

これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子高真空ポンプは、ISO-200K 吸気フランジ、到達圧力 1x10-8 Torr (吸気 ISO センタリング リングのゴム製 O リング シールからのガス放出によって制限されます) を備えています。 Agilent Varian の部品番号は 9698931 です。すべて金属で密閉されたコンフラット吸気ガスケットを備えたコンフラット バージョンは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空ポンプです。 Turbo-V 1001 ターボ ポンプは、最小のコストとサイズで最大の性能を発揮し、窒素 (N2) の排気速度 950 l/s を実現します。 Turbo V 1001 をすべての排気プロファイルで動作させるために使用できる、14 CFM 程度の小さなプライマリ ポンプ サイズ (IDP-15 ドライ スクロール ポンプや DS402 ロータリー ベーン真空ポンプなど) をお勧めします。 Turbo-V 1001 は、軽ガスの高圧縮比を達成し、ポンプのスループットを最大化する MacroTorr ドラッグ ステージ技術を備えた複合ポンプです。

定義上、Turbo-V 1001 の Navigator バージョンにはターボ ポンプ コントローラがターボ ポンプの下にローカルに取り付けられており、Navigator コントローラの部品番号は 9698978 です。ただし、Turbo-V 1001 がラックマウント コントローラから給電される場合、ナビゲーターとは呼ばれず、単にTurbo V 1001ターボポンプと呼ばれます。ラックマウント コントローラの部品番号は Agilent X3501-64003 です。 Agilent Varian Turbo-V 1001 ナビゲータ (ポンプの下にコントローラが取り付けられている) は、多くの場合、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビーム システム (FIB)、表面分析などの最新の集束ビーム システムを含む多くの分析機器アプリケーションに統合されています。 SEM、TEM、FIB は、電子またはイオンを顕微鏡サンプルに投影して詳細な分析を行うカラムを利用します。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator ターボ ポンプは、大きなサンプル チャンバのオイルフリーの高速排気を実現するため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントです (オイルフリー動作は、次のような多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。半導体製造）。

Agilent Varian Turbo-V 1001 の特長:

• 軽ガスの高い圧縮比により、低いベース圧力での運転が可能
• クリーンな真空システムのための炭化水素フリー
• リモコンで100m離れた場所からでも操作可能
• 任意の位置に設置可能で統合が容易
• メンテナンスフリーのベアリングで運用コストゼロ
• Vacuum Link アプリを介したワイヤレス制御により、外出先でのポンプ操作が可能
• 耐放射線・耐磁場設計
• 電子機器が組み込まれていないため、厳しい磁場や放射線環境での動作が可能
• 低電磁放射により、アプリケーションプロセスへの干渉がないことが保証されます
• 低い振動と騒音レベルでシステムへの影響をゼロにします

Agilent Varian Turbo-V 1001 仕様:

• 動作周囲温度: +5 ～ +35 °C
• 保管周囲温度: -20 ～ +70 °C
• 基本圧力: 1x10-8 Torr (ISO Oリングシールによって制限)
• 圧縮比H2：1×10^6
• フランジタイプ: コンフラット CF 10 インチ
• フォアライン フランジ サイズ: KF 40 NW
• 最大ガススループット - Ar、水冷: 7.5 mbar L/s; 444sccm
• 最大ガススループット - N2、水冷: 10 mbar L/s; 592sccm
• 騒音レベル: 45dB(A)
• 公称回転速度: 38 KRPM
• 操作位置: 任意
• 排気速度 - H2: 900 L/s (ISO-200 入口フランジ)
• 排気速度 - He: 870 L/s (ISO-200 入口フランジ)
• 排気速度 - N2: 950 L/s (ISO-200 入口フランジ)
• 推奨フォアポンプ容量: 15 m3/h
• 起動時間: < 4 分
• 重量: 21.2kg