Agilent Varian TwisTorr 74-FS ISO-63 インレット、排気速度 60 L/S を備えた経済的で信頼性の高いターボ分子真空ポンプ。
冷却キットが必要です。Agilent Varian 部品番号 PN: X3502-64170。これらの Agilent Varian TwisTorr 74 FS ターボ分子真空ポンプは、60 L/S の排気速度を持つ ISO-63 インレット フランジを備え、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。 74 FS モデルは信頼性の高いコンパクトなターボ ポンプであり、1167 Hz の駆動周波数により長いベアリング寿命が可能で、高真空用途向けの経済的に信頼できるポンプです。新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ テクノロジーや、最適化された熱設計マッピングを備えた Agilent Floating Suspension (AFS) など、パフォーマンスが向上しています。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。これらの Agilent Varian 74 FS ターボ分子高真空ポンプは、ISO-63K 吸気フランジ、到達圧力 1x10-8 Torr (吸気 ISO センタリング リングのゴム製 O リング シールからのガス放出によって制限されます) を備え、 Agilent Varian 部品番号 X3502-64170。すべて金属で密閉されたコンフラット吸気ガスケットを備えたコンフラット バージョンは、正しく使用した場合、到達圧力が 3.75x10-10 Torr という真の超高真空ポンプです。これらの TwisTorr 74-FS ターボ ポンプには、船外のリモート ラックマウントまたはオンボードのポンプ側に取り付けられたコントローラーが必要です。必要なターボ ポンプ冷却キット (ファン強制空冷または水冷) は別売りです。
これらの Agilent Varian TwistTorr 74 FS ターボ ポンプは、ISO-63K インレット フランジ、窒素の排気速度 60 l/s、KF-16 フォアライン フランジを備え、周囲動作温度は 5 °C ~ +35 °C です。これらの 74 FS ターボ ポンプは、起動時間が 2 分未満、回転速度が 70,000 rpm で、ドライ スクロール (IDP-3 または IDP7) またはオイル シール ロータリー ベーン (DS-40M または DS) のいずれかのフォアライン粗引きポンプを推奨します。 -102)。強制空冷の冷却要件は周囲温度 5 ~ 35 °C、水冷の場合は最小流量 0.30 gpm、15 ~ 25 °C、45 ~ 75 psi です。
新しい Agilent Twistorr 74 FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の融合を提供します。非常に多用途なターボポンプであり、さまざまな分野で使用できます。
一般的なターボ ポンプの用途には次のものがあります。- 質量分析法
- ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析法 (TOF)
研究開発における空白:- 高エネルギー物理学
- 融合技術
- 一般的な UHV 研究
- シンクロトロン光源 粒子加速器
ナノテクノロジー機器:- 電子顕微鏡法
- 走査型電子顕微鏡 (SEM)
- 透過型電子顕微鏡 (TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:薄膜堆積:- ガラスコーティング装置(建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ)
- 薄膜太陽電池の製造(太陽光発電)
- 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶媒体
- 表面処理
- 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
- フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング
デバイスの処理:- テレビおよびモニター受像管の製造
- ランプの避難(高速道路の照明、ビーマー)
- X線管と電子機器
一般的なプロセス: