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Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプ。内線コールドキャップ、208V、10 インチ ASA、16 インチ外径、5100W

状態:
  新しい
部品番号:
  P106920
保証:
  As-Stated*

在庫切れ   

¥2,509,761.27

の上 セール: ¥2,208,590.23

Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプ。内線コールドキャップ、208V、10 インチ ASA、16 インチ外径、5100W 2208590.23
到着予定日   1 on 2025-02-10
通貨: Japanese Yen (JPY)

説明

Agilent Varian VHS-10 水冷真空拡散ポンプ、10 インチ ASA 注入口フランジ、外径 16 インチ、最大排気速度 4200 l/s
拡張コールド キャップ、(2) 208 VAC 2550 ワット ヒーター、Agilent Varian。

Agilent Varian VHS-10 は、高い排気速度が必要であり、スペースの制限によりコンパクトなポンプが必要なアプリケーションにおける特別なニーズを満たすように設計されています。 VHS-10 ポンプは、4400W で 1.7 x 10-3 ~ <5 x 10-9 Torr の動作範囲を持つ堅牢な汎用ユニットです。 Agilent Varian VHS-10 は、高いポンプ速度 (標準コールドキャップで最大定格 5300 l/s) と高い前圧耐性 (無負荷時で 0.65 Torr、負荷時で 0.55 Torr) の空気の組み合わせにより、高速サイクルを必要とするアプリケーションに最適です。ガスを満載)。ユニットの逆流速度は、冷却されたコールド キャップを使用せずに 5x10-4 mg/cm 2 / 分です。

この Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプには以下が含まれます:
  • 10 インチ ASA インレット フランジ (外径 16 インチ フランジ、滑らかなボルト穴 12 個、直径 1 インチ穴)
  • 2 インチ ASA 6 インチ OD アウトレット フォアライン フランジ
  • 拡張コールドキャップ
  • 推奨粗加工バッキングポンプ: 30 CFM
  • 4200 l/s 最大排気速度 空気
  • 208 VAC 3 ph (5100 W)、2550 ワット ヒーター (2 個)
  • 給水接続 1/8 インチ FPT ティー
  • Santovac 5 または IVP 704 拡散ポンプ オイル、1000cc (1.056 Qt.) フル充電で使用するように設計されています。
拡散ポンプは、蒸気の高速ジェットを使用して、ポンプのスロート内のガス分子をポンプの底部に導き、出口から排出します。油拡散ポンプは蒸気圧の低い油で作動します。その目的は、容積式ポンプのみを使用した場合よりも高い真空 (より低い圧力) を達成することです。 Agilent Varian VHS-10 は、5x10-9 Torr 未満の圧力まで減圧できます。拡散ポンプは大気中に直接排出できないため、通常、出口圧力を約 1 mTorr に維持するために機械式フォアポンプ、粗引きポンプが使用されます。

これらの Agilent Varian 拡散ポンプは信頼性が高く、設計がシンプルで、騒音や振動がなく動作します。拡散ポンプは、依然として高真空を作り出すための最も経済的な手段です。拡散ポンプは、他のタイプの高真空ポンプを破壊する可能性のある過剰な粒子や反応性ガスなどの動作条件にも耐えます。三相 208、240、380、480 VAC ヒーター ハーネスと標準または拡張コールド キャップを組み合わせて注文できます。当社では、このポンプ用の Santovac 5 拡散ポンプ流体を在庫し、販売しています。真空アプリケーションやメンテナンスのニーズに役立つ追加のアクセサリについては、以下の「関連」セクションを参照してください。当社は、この Web サイトで別売りのさまざまな真空グリース、オイル、真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、部品およびアクセサリを提供しています。

これらの Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプは、ASA 10 インチ入口フランジを備え、三相 208 VAC で動作し、拡張コールド キャップを備え、Agilent Varian 部品番号 F0426337 を備えています。 Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプのユーザー取扱説明書は、以下から PDF 形式でダウンロードできます。これらは通常の在庫品であり、多くの場合注文と同じ日に発送されます。

パンフレット

Specifications
Specification Value
Pumping Speed, Operating Range 3,650 l/s air, 4,560 l/s He/H₂
Maximum Pumping Speed 5,300 l/s air w/standard cold cap; 4,200 w/extended cold cap
Maximum Throughput 6.3 T-l/s (8.4 mbar-l/s) in operating range, 7.5 T-l/s (10.0 mbar-l/s) @ 0.01 Torr
Operating Range 1.7x10⁻³ to < 5x10⁻⁹ Torr at 4,400 W. (2.3 x 10⁻³ to < 6.5 x 10⁻⁹ mbar)
Maximum Forepressure No Load: 0.65 Torr (0.85 mbar)
Full Load: 0.55 Torr (0.72 mbar)
Recommended Backing Pump ≥ 30 cfm (51 m³/hr)
Backstreaming Rate < 5x10⁻⁴ mg/cm²/min (with standard cold cap)
Warmup Time 15 minutes
Cooldown Time 25 minutes (with quick cool coil)
Fluid Charge 1,000 cc
Electrical Requirements 3 ph, 50/60 Hz, 208/240/380/480 VAC
Pump Power 4,400 Watts
Cooling Water Requirements 0.40 gpm (80 l/h)
Water Connections ⅛ in. FPT Tee

VHS-10 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description Part No. Item
Standard Cold Cap Assembly F0429301 1
Extended Cold Cap Assembly L8917301 2
Sight Glass Repair Kit consisting of: L8908301 3
   Sight Glass L8816001 5.1
   Gasket, Teflon L9694001 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-113 CommI 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-226 CommI 5.1
Jet Assembly F0428401 4
Jet Coupling L6367301 5
Splash Baffle F0431301 6
Foreline Baffle Assembly F0435301 7
Thermal Switch Includes: L8912301 8
   Switch (set at 300 °F – 147 °C) 642906025 8a
   Lug 648056680 8b
   Wire 656179100 8c
   Box Insulator 89867001 8d
Heater wire, 10 AWG, 42 inches (3 per pump required) X3901-68003 9
Heater Wiring Kit, Includes: L8913301 9
   15 ft. wire L8913301 5.1
   Nickel lug 648056680 5.1
   Terminal Strip Molex 39100-1512 648091065 5.1
Heaters (two heaters required per pump) 10
   208 V / 2200 watt Heater Element 647310140 5.1
   240 V / 2200 watt Heater Element, 1Ph 647310150 5.1
   380 V / 2200 watt Heater Element 647310160 5.1
480 V / 2200 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load 647310170 5.1
   208 V / 2550 watt Heater Element 647310145 5.1
   240 V / 2550 watt Heater Element, 1Ph 647310155 5.1
   380 V / 2550 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load 647310165 5.1
480 V / 2550 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load 647310175 5.1
Heater Crush Plate (replace when either heater is replaced) K7667001 11
Heater Clamping Plate A36 Steel K4928001 12
Heater Clamping Plate Retrofit, Slotted R2667301 12
Heater Insulation Blanket L8914001 13
Heater Cover L8903301 14
O-Ring Kit includes: K0377185 15
   1 inlet flange O-ring, Butyl No. 2-385 F0430001
   1 foreline flange O-ring, Butyl No. 2-338 660893338
   10 Viton fill and drain O-rings (Old style), Viton No. 2-112 5.1
   10 Viton fill and drain O-rings (new style, Parker No. 2-113 5.1
   1 Sight glass O-ring, Parker No. 2-226 5.1
   1 PTFE gasket 5.1
Viton Centering ring for ISO inlet flange, 320K 16
Centering ring for ISO foreline flange ISO-63K IC063SV 17
Screw, Socket hd cap, no. 8-32x11/44, stainless steel Screw 18
Centering ring for ISO inlet flange, 160K IC160SV 19
Centering ring for ISO foreline flange, KF40 KC40SV 20
Included with the pump: 5.1
   1 inlet flange O-ring, Butyl No. 2-385 F0430001 5.1
   1 Butyl foreline flange O-ring, Butyl No. 2-338 660893338 5.1
   13/8 Hose 1/8 Pipe Barbed Connectors 264301102 5.1
5.1
DC-702 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required) 695472005
DC-704 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required) 695474005
DC-705 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required) 695475005
Installation and Operation Manual 699901021
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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