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キーワード       部品番号:      

× 真空ポンプ モジュール式真空チャンバー ステンレス真空チャンバー アルミニウム真空チャンバー ExploraVAC 無制限チャンバー ExploraVAC 真空チャンバー 継手とフランジ フィードスルー 真空バルブ リビルドキット、パーツ、モーター 真空流体、オイル、グリース ターボポンプとコントローラー フィルター、トラップ、サイレンサー 対流式および真空式オーブン リーク検出とRGA 真空圧力測定 循環チラーおよびウォーターバス
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Agilent Varian VHS-6 水冷拡散ポンプ ISO-200K、外径 9.5 インチ、外部キャップ、208V 2200W、L6193316

状態:
  新しい
部品番号:
  P106800
保証:
  Varian Warranty

今すぐ利用可能   1  

¥1,498,045.12

の上 セール: ¥1,348,240.92

Agilent Varian VHS-6 水冷拡散ポンプ ISO-200K、外径 9.5 インチ、外部キャップ、208V 2200W、L6193316 1348240.92
通貨: Japanese Yen (JPY)

説明

Agilent Varian VHS-6 水冷真空拡散ポンプ、ISO 200K 注入口フランジ、外径 9.5 インチ、最大排気速度 2400 l/s
拡張コールド キャップ、208 VAC 2200 ワット ヒーター、Agilent Varian 部品番号 L6193316。

Agilent Varian VHS-6 は、高い排気速度が必要であり、スペースの制限によりコンパクトなポンプが必要なアプリケーションにおける特別なニーズを満たすように設計されています。 VHS-6 ポンプは、2 x 10-3 ~ <5 x 10-9 Torr の動作範囲を持つ頑丈な汎用ユニットです。 Agilent Varian VHS-6 は、高い前圧耐性 (無負荷時で 0.65 Torr、フルガス負荷時で 0.55 Torr) と高いポンプ速度 (最大定格 2400 l/s) の空気の組み合わせにより、高速サイクルを必要とするアプリケーションに最適です。 。ユニットの逆流速度は、冷却されたコールド キャップを使用せずに 1x10-4 mg/cm 2 / 分です。

この Agilent Varian VHS-6 拡散ポンプには以下が含まれます:
  • ISO 200K インレットフランジ穴なし、嵌合には LF ISO 爪クランプを使用
  • KF50 アウトレットフォアラインフランジ
  • 拡張コールドキャップ
  • 2400 l/s 最大排気速度 空気
  • 208 VAC @ 2200 ワット ヒーター
  • Santovac 5 拡散ポンプ オイルと一緒に使用するように設計されています。
拡散ポンプは、蒸気の高速ジェットを使用して、ポンプのスロート内のガス分子をポンプの底部に導き、出口から排出します。油拡散ポンプは蒸気圧の低い油で作動します。その目的は、容積式ポンプのみを使用した場合よりも高い真空 (より低い圧力) を達成することです。 Agilent Varian VHS-6 は、5x10-9 Torr 未満の圧力まで減圧できます。拡散ポンプは大気中に直接排出できないため、通常、出口圧力を約 1 mTorr に維持するために機械式フォアポンプ、粗引きポンプが使用されます。

これらの Agilent Varian 拡散ポンプは信頼性が高く、設計がシンプルで、騒音や振動がなく動作します。拡散ポンプは、依然として高真空を作り出すための最も経済的な手段です。拡散ポンプは、他のタイプの高真空ポンプを破壊する可能性のある過剰な粒子や反応性ガスなどの動作条件にも耐えます。単相 115、208、240 VAC ヒーター ハーネスおよび標準または拡張コールド キャップとともに注文できます。当社では、このポンプ用の Santovac 5 拡散ポンプ流体を在庫し、販売しています。真空アプリケーションやメンテナンスのニーズに役立つ追加のアクセサリについては、以下の「関連」セクションを参照してください。当社は、この Web サイトで別売りのさまざまな真空グリース、オイル、真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、部品およびアクセサリを提供しています。

これらの Agilent Varian VHS-6 拡散ポンプは ISO 200K インレットフランジを備え、単相 208 VAC で動作し、拡張コールドキャップを備え、Agilent Varian 部品番号 L6193316 を備えています。 Agilent Varian VHS-6 拡散ポンプのユーザー取扱説明書は、以下から PDF 形式でダウンロードできます。これらは通常の在庫品であり、多くの場合注文と同じ日に発送されます。


パンフレット

Specifications
Specification Value
Pumping Speed, Operating Range 1500 l/s air, 1,930 l/s He/H₂
Maximum Pumping Speed 2,400 l/s air w/standard cold cap; 950 w/extended cold cap
Maximum Throughput 2.4 T-l/s (3.2 mbar-l/s) in operating range, 3.5 T-l/s (4.5 mbar-l/s) @ 0.01 Torr
Operating Range 1.5x10⁻³ to < 5x10⁻⁹ Torr (2.10 x 10⁻³ < 6.5 x 10⁻⁹ mbar)
Maximum Forepressure No Load: 0.65 Torr (0.85 mbar)
Full Load: 0.55 Torr (0.72 mbar)
Recommended Backing Pump ≥ 17 cfm (29 m³/hr)
Backstreaming Rate < 5x10⁻⁴ mg/cm²/min (with standard cold cap)
Warmup Time 10 minutes
Cooldown Time 10 minutes (with quick cool coil)
Fluid Charge 500 cc - exact fluid charge available
Electrical Requirements 1 ph, 50/60 Hz, 120/208/240 VAC
Pump Power 2,200 Watts
Cooling Water Requirements 0.25 gpm (50 l/h) at 60-80 °F (15-26 °C)
Water Connections ⅛ in. FPT Tee

VHS-6 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description Part No. Item
Standard Cold Cap Assembly 86488301 1
Extended Cold Cap Assembly F6455001 2
Sight Glass Repair Kit consisting of: L8908301 3
   Sight Glass L8816001 5.1
   Gasket, Teflon L9694001 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-113 CommI 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-226 CommI 5.1
Jet Assembly F3365301 4
Splash Baffle F4780301 5
Foreline Baffle Assembly L9172301 6
Thermal Switch Includes: L8912301 7
   Switch (set at 300 °F – 147 °C) 642906025 7a
   Lug 648056680 7b
   Wire 656179100 5.1
   Box Insulator 89867001 7d
Heaters (one heater required per pump) 8
   120 V / 2200 watt Heater Element 647306125 5.1
   208 V / 2200 watt Heater Element 647306175 5.1
   240 V / 2200 watt Heater Assembly 647306225 5.1
VHS-4 heater wire, 10 AWG, 24 inches (3 per pump required) X3901-68001 9
Lugs, Replacement, nickel 648056680 10
Heater Clamping Plate 86086301 11
Heater Insulation 86087001 12
Baffle Retaining Ring 699992156 13
O-Ring Kit includes: K0377184 14
   3 Butyl inlet flange O-ring, Parker No. 2-258 5.1
   10 Viton fill and drain O-rings (old style), Parker No. 2-112 5.1
   10 Viton fill and drain O-rings (new style, Parker No. 2-113 5.1
   1 Sight glass O-ring, Parker No. 2-226 5.1
   1 PTFE gasket 5.1
Screw, Rd hd machine, no. 8-32x31/416, stainless steel Screw 15
Stud, no. 8-32 x 1/2, stainless steel Stud 16
Screw, Socket hd cap, no. 8-32x11/44, stainless steel Screw 17
Centering ring for ISO inlet flange, 160K IC160SV 18
Centering ring for ISO foreline flange, KF40 KC40SV 19
Santovac 5 diffusion pump fluid, 500 cc 695405005
Installation and Operation Manual 699901021
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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