Edwards Novellus C3 マイクロ TIM モジュール
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Novellus C3 Micro TIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Novellus C3 プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。 Novellus C3 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 Novellus C3 Micro TIM は、次の Edwards ポンプと互換性があります。
- EPXシリーズ
- iGXシリーズ
- GXシリーズ
- iXHシリーズ
- iXLシリーズ
- システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムでも使用できます。
これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。
並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。