Edwards nEXT400D ターボ ポンプ パッケージには、Conflat 8.0 インチ インレット、nXDS10i ラフィング ドライ スクロール ポンプ、TAG コントローラー、および ACX 空冷キットが含まれます。この Edwards nEXT400D ターボ ポンプ パッケージは、Conflat 8.0 インチ入口フランジに対応しており、Edwards nXDS10i ドライ スクロール粗引きポンプが含まれています。 DN160 CF、Conflat CF 8.0 インチ入口フランジを備えた Edwards nEXT400D ターボ ポンプは、400 l/s のポンピングと 5 x 10
-10 mbar (3.7 x 10
-10 Torr) の到達圧力を備えています。ポンプの速度または真空圧力を表示する大型 LED ディスプレイを備えた TAG (ターボ & アクティブ ゲージ) コントローラー、および nEXT400D ターボ ポンプと真空計に電力を供給できる電源と AC 電源コードが含まれています。このパッケージには、ターボポンプの動作を低温に保つための強制空冷キットも含まれています。ファンは放射状に取り付けられ、ポンプのアクセサリ ポートに差し込まれ、ポンプから電力が供給されます。このターボ ポンプ パッケージ取引には、粗引きポンプ、粗引きライン、真空チャンバー、圧力測定ゲージ、ベント バルブは含まれません。アップグレードには、システムの自動化と制御を向上させるための TIC コントローラーと TIC リレー ボックス、水冷キット、ポンプ、電源、コントローラー間の距離を延長するための延長ケーブルが含まれる場合があります。これらのアイテムはすべて、Ideal Vacuum によって個別に入手および販売されます。
Conフラット CF 8.0 インチ フランジ付き nEXT400D ターボ ポンプについてDN160 CF、Conflat CF 8.0 インチ入口フランジを備えた Edwards nEXT400D ターボ分子高真空ポンプは、排気速度が 400 リットル/秒 (l/s)、到達圧力が 5 x 10
-10 mbar (3.7 x 10
-10 Torr) です。 。この nEXT400D ポンプには ISO KF-25 排気フォアライン フランジが付いています。オプションの入口スクリーン (粗目または細目) も利用できます。 nEXT400D シリーズ ターボ ポンプは、最大 200 ワットで 24 ～ 48 VDC の入力電力を必要とします (通常の動作は通常 160 ワット未満です)。ポンプには、永久的に取り付けられた DB15 電源および制御ケーブルが標準装備されています。すべての nEXT400D ターボ ポンプには、RS232 および RS485 インターフェイス、5 つのステータス LED、および空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御するための 3 ピン Phoenix コネクタ ソケットを備えたコンパクトなオンボード コントローラーが搭載されています。この nEXT400D ターボ ポンプには、Edwards 部品番号 B83200400 が付いています。
nXDS10i ドライスクロール粗引きポンプについてこの Edwards nXDS10i ドライ スクロール粗引き/バッキング ポンプの排気速度は 6.7 cfm (11.4 m3/hr)、到達真空度は 0.005 Torr (0.007 mbar) です。 KF-25（NW25）の吸入口と吐出口を備えています。 100 ～ 240 VAC の単相電源が必要で、標準の C14 電源コネクタが付いています。 nXDS10i は 10A@120VAC (6A@240VAC) を消費します。 nXDS10i スクロール ポンプの騒音レベルは、競合製品に比べて最大 20 分の 1 の 52 dB(A) です。ポンプにはオンボードのインバータ コントローラが搭載されており、使いやすい押しボタンを使用して手動でポンプを制御したり、Edwards TIC または TAG コントローラに接続した場合の RS232/RS485 インターフェイスやユーザー提供のソフトウェア インターフェイスを介してリモートでポンプを制御したりできます。ポンプには AC 電源コードが付属しています。この Edwards nXDS10i ドライ スクロール ポンプの部品番号は A73601983 です。
TAG（ターボ＆アクティブゲージ）コントローラーについてEdwards TAG (ターボ & アクティブ ゲージ) コントローラには、200 ワットの外部電源と 2 メートルの長さの 115 VAC US 電源コード (5-15P から C13 コネクタ) が付属しています。 TAG は小型で低コストの 24 VDC ポンピング システム コントローラで、スペースが限られているベンチトップやモバイル プラットフォームでの使用に最適で、幅広い真空アプリケーションに適しています。 TAG は、ターボ ポンプの速度を表示するためのシリアル インターフェイスを提供し、nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプに電力を供給し、Edwards APG、AIM、ASG、または WRG 真空計を制御できます。 TAG の押しボタン インターフェイスを使用すると、大型 LED ディスプレイに表示されるポンプ速度または真空圧力を簡単に切り替えることができます。この TAG コントローラの Edwards 部品番号は D39592000、電源は D39592800 です。
ACXラジアル強制空冷キットについてこの Edwards ACX ラジアル空冷ファン ユニットは、nEXT240D、300D、および 400D シリーズ ターボ ポンプで使用され、ポンプに垂直な空気の流れを提供します。 DC24Vで動作します。これには、ポンプのフェニックス コネクタ ソケットに直接接続されるフェニックス プラグで終端された長さ 0.25 メートルのケーブルが付属しています。このキットには、ファンの 90 度取り付けブラケットをポンプの底部に取り付けるためのネジが含まれています。この ACX ラジアル空冷ファン キットには、Edwards 部品番号 B58053175 があります。
このパッケージ取引のアプリケーションには次のものが含まれます。- 質量分析法
- ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析法 (TOF)
研究開発における空白:- 高エネルギー物理学
- 融合技術
- 一般的な UHV 研究
- シンクロトロン光源 粒子加速器
ナノテクノロジー機器:- 電子顕微鏡法
- 走査型電子顕微鏡 (SEM)
- 透過型電子顕微鏡 (TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:- 薄膜堆積:
- ガラスコーティング装置（建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ）
- 薄膜太陽電池の製造（太陽光発電）
- 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶媒体
- 表面処理
- 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
- フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング
デバイスの処理:- テレビおよびモニター受像管の製造
- ランプの避難（高速道路の照明、ビーマー）
- X線管と電子機器
一般的なプロセス:このパッケージ取引は、多くの個別の部品で構成されるキットとして在庫に保管されており、各部品の入手可能性は以下の「キットのコンポーネント」セクションに示されています。取扱説明書およびEdwards nEXTシリーズの製品パンフレットをダウンロードしてご利用いただけます。
