Edwards モデル 250 水冷排気トラップ。
エドワーズ部品番号: A53114000。 Edwards モデル 250 水冷排気トラップは、ポンプからの排気ガスを冷却し、粒子をトラップ内に収集します。これにより、排気システム内での微粒子の収集が防止されます。排気トラップは、ジクロロシランまたはヘキサクロロジシランとアンモニアを使用する LPCVD 窒化プロセスで使用されるポンプに接続するように設計されています。
排気トラップは他のプロセスで使用されるポンプとの接続には適していません。 Edwards モデル 250 トラップは、BOC Edwards CDP および QDP ドライ ポンプ、Drystar MKI、MKII、および QMKII ドライ ポンプ システムに適合するように設計されています。排気システムが詰まった場合にポンプを停止するために、システムには圧力スイッチを組み込む必要があります。
排気トラップは、ベースフレームに取り付けられた主外側本体を備えています。トラップ本体の高さは、ベースフレームで調整して、トラップをさまざまなポンプに適合させることができます。ベースフレームには移動を容易にするキャスターが付いており、操作位置にしっかりと配置できるように水平調整脚が付いています。モデル 250 水冷排気トラップには、Edwards 部品番号 A53114000 があります。
Edwards モデル 250 水冷排気トラップの仕様:- Edwards ドライ ポンプに適合: CDP および QDP ドライ ポンプ、Drystar MKI、MKII、および QMKII ドライ ポンプ システム
- 材質: トラップ本体は AIS 304L ステンレス鋼、水冷コイルは銅
- ライナー交換部品番号は A53115020 です。
完全な仕様については、取扱説明書をダウンロードしてください。