Galden HT-110 エッチャー、CVD、PVD、イオン注入装置用熱伝達液、5 Kg ボトル、PFPE 液。型番:HT110 GALDEN HT は、沸点が 55°C ~ 270°C の範囲にある誘電性流体の製品ラインです。優れた誘電特性、高い化学的安定性、および極低温および高温での動作能力を組み合わせることで、半導体および電子産業で使用される過酷な条件に最適な熱伝達流体となります。ここで 5 kg (11.0 ポンド) コンテナで販売されている Galden HT-110 は、コンポーネントの浸漬、ウェーハ エッチング、イオン注入、レーダー装置、変圧器、電源、UF6 製造、チラー、冷却塔、凍結乾燥機などのアプリケーションに使用されます。 Galden HT-110 の動作温度範囲は、-60 ~ 110 ℃ (°C) です。
特徴
- 液体には沸点が 70°C ~ 270°C の 9 種類の冷却剤が含まれています
- 過フッ素化された不活性ポリエーテルは、酸化や熱劣化に対して高い耐性を持っています。
- 金属、セラミック、プラスチック、エラストマーとの互換性
- 液体の粘度が低く、分子構造中に水素が含まれておらず、吸水性が低い
- 直接浸漬冷却および間接冷却用途での使用に優れています。
- 不燃性、無毒で環境に安全です