HALO ビュー ウィンドウ アセンブリ、非照明、取り外し可能、ISO-250、LF250、3/8 インチ フューズド クォーツ

この Ideal Vacuum HALO ビューポート ウィンドウは、ISO-K LF 250 ポートを備えたあらゆる真空チャンバーで使用できます。

当社の溶融石英ウィンドウは最高品質の天然石英を使用して製造されており、最高レベルの純度と最低レベルの含有物および気泡レベルを実現しています。Heraeus TSC-3 に匹敵するこれらのウィンドウは、透過率が向上し、標準ガラスよりも広い波長範囲で使用できます。特性として、屈折率の変化が少なく、熱膨張係数が低いことが挙げられます。溶融石英はプラズマ エッチングや堆積システムなどの半導体用途に使用され、アルカリ含有量とアルミニウム含有量が低いことが指定されている場合に推奨されます。高いレーザー損傷しきい値が求められる可視光線および近赤外線から中赤外線の波長の透過光学系によく使用されます。溶融石英は 2600 ～ 2900 nm の領域に吸収帯があり、溶融シリカに似ていますが、それほど強くはありません。270 nm 領域で吸収するため、UV 作業には適していません。

また、標準の低鉄強化ガラスまたは溶融シリカを使用した HALO ビュー ウィンドウ アセンブリおよび交換用パネルも提供しています。強化ガラスは、一般的に粗加工または高真空チャンバー プロセスの直接観察に使用され、チャンバー コンポーネントの光学的な位置合わせを容易にしたり、流体の脱ガスを観察したり、直接観察による真空内プロセスの指導に役立てたりすることができます。ガラスの材質は、標準の低鉄フロート ガラスです。表面品質と平坦性は、ASTM 1036-06 および 1048-04 の Q4 です。ガラスの鉄含有量が低いため、わずかに青みがかった色合いになっています。この経済的なガラスは、可視光線以下または近赤外線 (NIR) 波長を超えるレーザー実験には適していません。

当社の高純度フューズドシリカウィンドウは、両面とも光学グレードに研磨されており、総厚変動 (TTV) は 10µm 未満、表面仕上げは S/D 40/20、表面粗さは Ra 1 nm 未満 (Corning HPFS 7980 に相当) です。これらのウィンドウは透過率が著しく向上し、標準ガラスよりも広い波長範囲で使用できます。特性として、屈折率変動が極めて低く、複屈折値が低く、熱膨張係数が極めて低いことが挙げられます。フューズドシリカは、高いレーザー損傷閾値が求められる透過光学系に使用されます。フューズドシリカは、深紫外線、可視光線、近赤外線の波長範囲で動作する光学系に使用されます。

Ideal Vacuum はプレミアム ウィンドウの提供を溶融シリカに移行しているため、溶融石英の在庫は限られていることに注意してください。また、溶融石英ウィンドウに誤って溶融シリカの部品番号が付けられている場合もあります。販売請求書を確認することで、ウィンドウの材質を確認できます。

非照明の HALO ビューポートは現場で修理可能です。実験の要件が変わった場合は、窓ガラスを交換したり、別の素材に変更したりできます。強化ガラス、溶融石英、溶融シリカの透過率曲線については、以下のグラフを参照してください。

非照明 HALO 表示ウィンドウは、ISO 63、80、100、160、200、250 のサイズがあり、ブランク ISO フランジの代わりに使用されます。他の ISO フィッティングと同様に、これらの ISO フランジ ウィンドウは、O リングが取り付けられたセンタリング リングとともに、シングルまたはダブル クロー クランプを使用します。ISO-K から ISO-K への接続にはダブル クロー クランプを使用します。ISO-K から ISO-F (ボルト) への接続にはシングル クロー クランプを使用します。推奨されるクロー クランプの数とタイプ、および必要なセンタリング リングを次の表に示します。

当社の ISO ビューイング ウィンドウは、革新的な金属とガラスの接触のない設計を採用しており、厚さ 3/8 インチのウィンドウ ペインをステンレス鋼の取り付けフランジに固定します。このクッション付きのウィンドウ取り付けシステムは、オペレーターの安全を確保し、高真空圧でも他のビューポート ウィンドウ構成よりも漏れが発生しにくくなります。Ideal Vacuum ISO HALO ビューイング ウィンドウは完全に組み立てられた状態で出荷され、Viton O リングと Teflon スペーサーを使用します。150 °C までのベークアウト温度が許容されます。

注意:すべての表示ウィンドウまたはビューポートは本質的に壊れやすいため、慎重に取り扱い、使用前に必ず検査する必要があります。Ideal Vacuum 表示ウィンドウは真空専用に設計および評価されており、急激な温度変化 (>10° C /分) にさらされると熱衝撃の影響を受けやすくなります。ウィンドウを通してレーザー ビームを照射する場合は、レーザーの波長がウィンドウの素材を適度に透過できることを確認してください。HALOビュー ウィンドウ ユーザー マニュアルのすべての安全警告をダウンロードしてお読みください。