HVA 超高真空 UHV 手動ゲート バルブ Con flat CF 4.5 インチ フランジ、バイトン ゲートおよび OFHC 銅ボンネット シール、304 ステンレス鋼、11120-0250。
Conflat CF 4.5 インチ (DN63) ボルトダウン フランジ、5/16-24 UNF ネジ。
HVA 部品番号: 11120-0250。これらの HVA ブランドの手動操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、5/16-24 UNF ブラインドタップ穴付きの Con flat CF 4.5 インチ (DN63) 真空フランジを備えています。これらは超高真空 (UHV) に対応しており、ISO 3669:2020 に記載されているナイフエッジ フランジの真空技術規格に準拠しています。 HVA 部品番号: 11120-0250。
HVA 手動操作超高真空ゲート バルブは、真空気密シールのためのポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲートシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 素材で作られています。ボンネットシールはOFHC銅製です。ベローズはボンネットに溶接されており、漏れのない動作が可能です。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。
HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10
-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。
Con flat CF フランジを備えた HVA ゲート バルブは超高真空用途向けに評価されており、金属間のボンネット シールにより 10
-10 Torr の範囲の到達圧力を達成できます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10
-10 Torr l/秒で、バルブを開いた状態で 200 °C、バルブを閉じた状態で 150 °C までベーク可能です。当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブの修理キットをご利用いただけます。
HVA ゲート バルブは、次のサイズの高真空および超高真空の種類で利用可能です。
- クイックフランジサイズ KF-16、KF-25、KF-40、KF-50
- ISO LF フランジ ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ
- ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ
- コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチ サイズ
インストールマニュアルと操作説明書はダウンロードで入手できます。