理想的な真空キューブ 6 x 6 真空キューブ XY ステージ プレート、位置決めマイクロメータ付き。これらの 6 x 6 真空キューブ ステージ プレートを使用すると、真空にされた真空キューブ内でテスト ピースの位置を動的に微調整できます。これらのプレートにより、X 軸と Y 軸が硬化鋼リニア ベアリング上で 0.50 インチ (13 mm) 移動し、精密な動作と長寿命を実現します。
ステージ プレート自体は両軸にスプリング テンションがかかっており、移動方向を逆にするときにバックラッシュがなくなります。高品質の Mitutoyo マイクロメータ ヘッドは、高性能のバイトン シャフト シールにより、0.001 インチの繰り返し位置決めで、ヘッドが 1 回転するごとにターゲットを水平方向に 0.025 インチ移動します。必要に応じて、ヘッドは高精度モーター アクチュエータと互換性があります (詳細についてはお問い合わせください)。
真空側では、プレートと可動ブロックは 6061-T6 アルミニウムから機械加工されており、通気孔付きステンレス鋼 304 または 316 留め具が付いており、実質的な漏れがありません。空気側の金属表面は青の粉体塗装が施されています。自己張力システムにより、このプレートはどの方向にも取り付けることができますが、最適な荷重方向は、重力によりマイクが荷重を支える方向です。平らに取り付けた場合の荷重制限は 4 ポンド、垂直に取り付けた場合は 2 ポンドです。