Ideal Vacuum 3 ポジション HV 空気圧操作ゲート バルブ、ISO-F 200 フランジ、(DN 200)、スロットル 3 番目の位置、ソレノイドおよびリード センサー付き、24VDC、Viton O リング標準シール、SUS304 本体

この理想的な真空 3 ポジション スロットル ゲート バルブは、ISO-F 200 (DN CF200) フランジで空気圧操作されます。3 番目の位置は部分的に開くように設定できます。高真空 (HV) 定格で、ゲート用の標準 Viton O リング シールと、空気圧制御ソレノイド バルブ付きボンネット用の Viton O リングまたは OFHC 銅ガスケットが付属しています。この ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールに Viton O リングを使用しているため、到達圧力が 1x10 ^-8 Torr までの高真空 (HV) アプリケーションに限定されます。バルブの一般的な寿命は、メンテナンスが必要になるまでの 300,000 サイクルです。耐腐食性の 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。この 3 位置制御により、さまざまな真空蒸着プロセス、特に薄膜蒸着プロセス チャンバー システムに最適な条件を維持するための柔軟性と精度が実現します。

物理蒸着コーティングチャンバーへの応用
この 3 ポジション ゲート バルブは、信頼性の高い高真空アプリケーション向けに設計されており、クライオ、ターボ、イオン高真空ポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。PVD マグネトロン スパッタリング蒸着などの絞り真空プロセスでの使用が増えています。スパッタリング システムなどの PVD コーティング チャンバーでは、ターボ分子ポンプとメイン プロセス チャンバー間の接続を制御するために 3 ポジション ゲート バルブがよく使用されます。これらのゲート バルブを使用すると、真空システムを正確に制御でき、ポンプを分離し、チャンバーを保護し、ポンピング速度を調整できます。一般的な 3 ポジション ゲート バルブの 3 つのポジションは次のとおりです。

1. 完全に開いた位置:
最大コンダクタンス、フルターボポンピング速度。初期排気時または堆積中に高真空を維持するときに使用されます。

2. 部分的に開く（スロットル位置）：
目的: 部分的に開いた位置では、ゲート バルブは部分的にのみ開き、チャンバーとターボ ポンプ間のコンダクタンスを絞ります。反応性ガス (反応性スパッタリングにおける酸素や窒素など) を扱う場合や、最適な膜成長のために圧力を微調整する必要がある場合は、絞りが重要です。

この部分的に開いた位置は、インストール時に一度手動で設定および調整され、いつでも変更して異なるプロセス条件を実行できます。

3. 完全に閉じた位置:
目的: 完全に閉じた位置では、ゲート バルブはターボ ポンプをメイン チャンバーから完全に分離します。使用例: この位置は、チャンバーの通気、ロード ロック チャンバーのサンプルのロードなどのプロセス中、またはチャンバーが大気圧にさらされているときにターボ ポンプを保護するために使用されます。ターボ ポンプに汚染物質や大気が入り込むのを防ぎ、ターボ ポンプを損傷する恐れがあります。

仕様:
仕様と機能:

• 材料
• 体
• SUS304
• キャリッジ
• リンケージタイプ - SUS304
• ボールタイプ サイズ10インチ以下 - SUS304
• ボールタイプサイズ10インチ以上（付属） - SUS304、A6061-T6
• ゲート
• リンケージタイプ - SUS304
• ボールタイプ サイズ10インチ以下 - SUS304
• ボールタイプサイズ10インチ以上（付属） - A6061-T6
• ベローズ
• AM350
• ライフサイクル
• HV:DN200 - 300,000サイクル
• UHV:DN200 - 50,000サイクル
• 1気圧差でのヘリウム漏れ率
• Oリングの場合<2×10 ^-9 mbar·l /sec
• ガスケットシールの場合 <5×10 ^-10 mbar·l /sec
• 焼き温度
• オープン - 200 °C バイトン ボンネット シール
• 閉 - 150 °C バイトンボンネットシール
• 圧力範囲 (mbar)
• 高圧: 1x10 ^-8 ~ 1000
• 超高真空: 1x10 ^-10 ~1000
• 最大デルタP (mbar)
• 開店前30分未満
• 標準シール
• ゲート - バイトン O リング
• ボンネット - バイトン O リングまたは OFHC 銅ガスケット
• アクチュエータ - 空気圧
• 圧縮空気供給
• チューブ接続 - 6mm
• 圧力範囲 - 4〜6 Kg/cm2（過圧）
• 表面処理 - スコッチポリッシュ
• オプション
• ポジションインジケーター
• 空気圧制御ソレノイドバルブ
• 荒加工ポート
• その他の材料 ゲートOリングシール

このゲート バルブおよびその他の関連するバルブ構成の詳細については、ダウンロードを参照してください。