真空チャンバーでの使用に適した K タイプ熱電対、カプトン デュプレックス ワイヤ、24 ゲージ、長さ 6 フィート。このタイプ K 熱電対は長さが 6 フィートで、カプトン絶縁熱電対デュプレックス ワイヤで作られています。ポリイミド絶縁体は蒸気圧が非常に低く、高真空下でもガスを放出しません。片方の端に (溶接された) 熱電対があります。もう一方の端は必要な長さに切断し、被覆を剥がして、フィードスルー ネジ型またはセラミック ミニチュア熱電対コネクタに接続できます。最後の画像は、チャンバー内の KF-40、4 ペア フィードスルーのセラミック コネクタに接続された 4 本のカプトン熱電対ワイヤを示しています。
このワイヤは 24 ゲージで、温度範囲は 0 ～ 260°C (32 ～ 500°F) です。熱電対の溶接は当社施設で行われ、出荷前にテストされます。この熱電対は長いスプールから切り出され、コイルの状態で納品されます。
フィードスルー (または真空フィードスルー) にはさまざまな形式があり、電流、信号、流体、ガス、または機械的動作を真空の外側 (空気側) から真空チャンバーの内側 (真空側) に、チャンバー内の機器に転送します。フィードスルーの入口は、適切な貫通穴を介して真空シールされている必要があります。フィードスルーは溶接可能 (溶接オン) にすることも、CF、KF、または ISO 真空フランジを使用して真空チャンバーに接続することもできます。
CF コンフラット フランジは通常、10-12 Torr までの超高真空を必要とするプロセス用で、銅製ガスケット付きのナットとボルトで真空シールされています。サイズは、外径 1.33 インチ (ミニ コンフラット)、2.75、4.5、6、8、10、12、13.25、14、16.5 インチです。
KF またはクイック フランジは、10-9 Torr までの高真空圧用で、クランプとエラストマー O リングによって真空シールされています。サイズは KF10、KF16、KF25、KF40、KF50 です。
ISO または大型フランジは、10-6 Torr までの高真空圧用で、ナットとボルト (ボルト穴付きフランジの場合) またはクロー クランプ (滑らかな面がありボルト穴がないフランジの場合) で真空シールされます。真空シールにはエラストマー O リングを使用します。サイズは 63mm、80、100、160、200、250、320、400、500、630mm です。すべてのフランジは耐腐食性ステンレス鋼で作られています。
フィードスルーは何千種類もあり、特定の真空プロセスに適したものを選択するのは非常に難しい場合があります。要件について疑問がある場合は、当社のエンジニアに問い合わせて、真空プロセスに適したフィードスルーを見つけるお手伝いをさせてください。当社は、通常とは異なるカスタマイズされたフィードスルー、真空チャンバー、アクセサリを専門としています。505-872-0037 までお電話ください。
フィードスルーの種類力：パワーフィードスルーは、大気（外部）から真空（内部）に電気を伝送する電気フィードスルーの一種です。パワーフィードスルーには、真空装置のチャンバー壁に入る 1 つ以上の導体があります。導体は、真空フランジまたはベースプレートを介して溶接または接続された電気絶縁体に密封されています。導体金属は、ワイヤ、ロッド、またはチューブの形で提供されます。導体の材質は、電流、耐腐食性、および磁性に基づきます。選択時に考慮すべきことは、動作電圧、最大電流、ベース圧力、および作業環境です。指定された電圧または電流を下回らないでください。アーク、溶解、または絶縁体の破損の原因となる場合があります。選択に疑問がある場合は、当社までご連絡ください。
熱電対:熱電対フィードスルーは、幅広い温度測定プロセスで使用される堅牢でコスト効率の高い温度センサーです。異なる金属でできた 2 本のワイヤを両端で接続し、片方の端を加熱すると、熱電回路に連続電流が流れます。この回路が中央で切断されると、正味の開回路電圧 (ゼーベック電圧) は、接合部温度と 2 つの金属の組成の関数になります。つまり、2 つの金属の接合部が加熱または冷却されると、温度と相関関係のある電圧が生成されます。適切に構成されていれば、熱電対は幅広い温度範囲で測定を行うことができます。
1 組以上のワイヤが含まれ、成形プラグ、プッシュオン、スプリット コネクタがあり、内側 (真空) または外側 (大気) にラグまたはスクリュー コネクタが付いている場合があります。考慮すべき点は、温度範囲、温度位置の数、シース材料、ワイヤ直径、金属の種類、および同じフィードスルー内の電力導体です。さまざまな金属で作られた熱電対フィードスルーには、さまざまな温度範囲を持つ多くの種類があります。選択に迷う場合は、当社までお問い合わせください。
計測機器:マルチピン フィードスルーとも呼ばれる計装フィードスルーは、真空壁を越えて電気信号や低電力アプリケーションを転送します。これらは、電子顕微鏡、表面分析、半導体プロセス制御などの計装アプリケーションで使用されます。これらは、真空壁の内側 (真空) または外側 (大気) のどちらかの側にピンまたは同軸を備えた電気コネクタで構成できます。選択前に考慮すべき事項は、ケーブルからシールドまでの最大電圧、シールドからアースまでの最大電圧、信号電圧、アース、インピーダンス、温度範囲、接続数、コネクタのタイプなどです。注文時には、注文に適切なコネクタが付属しているかどうかを確認することが非常に重要です。計装接続フィードスルーにはさまざまなタイプがあります。疑問がある場合は、当社までお問い合わせください。
液体または気体:液体またはガスフィードスルーは、真空に取り付けられたデバイスまたはチャンバーにガスまたは液体を供給します。このガスまたは液体は、真空チャンバー内で一定の温度を維持できます。これらは、CF または KF フランジまたはベースプレート ポートで注文できます。これらのフランジまたはベースプレート ポートには、貫通穴に 1 つまたは複数のチューブが溶接されており、チューブはフランジ/ベースポートの両側に伸びています。チューブの直径はさまざまで、多くの場合、小さなフランジまたはガス フィッティングで終端されています。考慮すべき点は、デバイスの壁にある未使用のフランジと一致するフランジ、フィードスルーの数、チューブの直径、フィードスルーの入口ポートのサイズ、両側のコンポーネントと一致する終端です。不明な点がある場合は、当社までお問い合わせください。
回転運動:回転モーション フィードスルーは、真空側シャフトを回転させる空気側シャフトです。回転ドライブにはいくつかの種類があり、アクチュエータ メカニズム、真空シール、適合圧力範囲、およびアプリケーションによって区別されます。2 つのタイプは、シールに背中合わせのダブル O リングを使用するエラストマー シールと、より高い RPM と高トルク容量を実現するフェロ流体 O リング技術を使用したフェロ シールです。フィードスルーは、繰り返し可能な動きや粗い位置決めを提供でき、回転動作、直線動作、またはその両方の組み合わせを提供できます。手動回転、空気圧、電動モーターなど、さまざまな作動設計が利用可能です。不明な点がある場合は、当社までお問い合わせください。
アクセサリー:フィードスルーには、必要な接続を行うための追加のハードウェアが必要になる場合があります。当社では、真空チャンバーの内側と外側用のケーブル、電気/同軸コネクタ、ピンを取り扱っています。どのアクセサリを購入すればよいかわからない場合は、当社までお問い合わせください。
カスタムフィードスルー:真空プロセスに適したフィードスルーを選択することは、非常に難しい作業です。当社は、その選択をお手伝いします。当社は、お客様の特定の真空プロセスに適した独自のフィードスルーの設計と製造も専門としています。選択のサポートでも、新しいフィードスルーの製造でも、当社の技術者/エンジニアがノウハウを駆使して、お客様の真空プロセスの目標達成を早めます。今すぐ 505-872-0037 までお電話ください。
