MKS 627H 10 Torr、45 °C 加熱、絶対 Baratron 静電容量圧力計、真空継手 VCR 8 メス、精度 0.12% の読み取り値、垂直校正。
MKS 部品番号 PN: 627H11TBC1B。 627H Baratron® 静電容量圧力計は 45°C に加熱され、読み取り値の 0.12% までの精度があり、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が組み込まれています。この静電容量圧力計は、今日のより低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立されたバラトロン静電容量圧力計技術に基づいて、センサーの接液面はインコネル® で腐食性ガスに対する優れた耐性を備えています。現代的なステンレス鋼のパッケージにより、クリーンルーム対応の製品が提供されます。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量圧力計と互換性があり、MKS 電源、表示ユニットおよび圧力コントローラー、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスとともに使用できます。
これらのリストは、45 °C に加熱された MKS タイプ 627H 静電容量圧力計用で、スレッド ロック付き 15 ピン D-サブミニチュア信号コネクタ、10 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備えています。 、読み取り値の 0.12% の精度、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号 627H11TBC1B です。
互換性のあるコントローラーとケーブル:
製品の特徴:
- 優れた長期安定性
- より低い圧力範囲でより正確な出力信号を実現する読み取り精度のパーセント
- フルスケール範囲は 20 mTorr (0.03 mbar) まで低く、低圧プロセスの正確な測定を実現します。
- オールインコネルの耐食性接液面
- ウォームアップ時間の短縮
- 温度とヒーター制御回路の視覚的および電気的ステータス
- 以前の Baratron 静電容量圧力計、MKS 電源/読み出しモジュール、および圧力コントローラーと互換性があります。
- ガスの組成に関係なく、全圧を直接測定します。
- 信頼性を向上させる高い過圧力定格
- クリーンルーム対応ステンレスパッケージ