MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani 絶対圧電トランスデューサ、KF16、RS485、PN 910-12030 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/絶対圧電真空トランスデューサは、広範囲の圧力測定アプリケーション向けに特別に設計されており、サイズ NW16 ISO- KFフランジ継手。結合された出力により、従来の熱伝導率ゲージよりも大幅に高い精度、安定性、再現性が得られ、より速い応答時間が得られます。 910 は 2 つの圧力測定テクノロジーを組み合わせて、優れたパフォーマンスと機能を提供します。 910 は、熱伝導率センサーよりも高い精度で、ガスに依存しない 11 ～ 1500 Torr の絶対圧力測定を提供します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani のセンサー要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られており、非常に小さな体積で測定を行うことができます。 MicroPirani テクノロジーの結果、910 は標準のピラニ センサーより 20 年低い 10-5 Torr までの圧力を読み取ることができます。センサー設計により対流の影響が最小限に抑えられるため、910 は精度を損なうことなく任意の向きに取り付けることができます。ピエゾは絶対圧力センサーであり、圧力を直接読み取り、ガスに依存しない測定を可能にします。ピエゾ センサーは、1 Torr 未満から 1500 Torr まで測定します。 910 には、トランスデューサーのパラメーターを設定し、リアルタイムの圧力測定を行うための RS485 デジタル通信インターフェイスが備わっています。 910 には、1VDC/decade のアナログ圧力出力もあり、圧力の読み出しや制御のために外部アナログ機器に接続できます。他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスを介して選択できます。 910 には、遮断バルブや真空ポンプの連動など、プロセス制御に使用できるメカニカル リレーが 3 つあります。各設定値は、ピエゾ測定値または絶対 MicroPirani/ピエゾ測定値の組み合わせに割り当てることができます。 910 のコンパクトな設計により、真空計が占めるスペースが大幅に削減されます。これはシステム設計者にとって特に魅力的であり、よりコンパクトな真空システムが可能になります。

MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani Absolute Piezo Transducer、KF16、RS232、PN 910-11 HPS® シリーズ 910 は、ピラニとピエゾの圧力測定技術と統合された電子制御回路を組み合わせたデュアル センサー トランスデューサーです。トランスデューサの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。 Piezo は直接読み取りの絶対圧力センサーであり、ガスに依存しない測定が可能です。このセンサーには独自の温度補償が含まれており、広い測定範囲にわたって高精度が可能です。ピエゾは 10-1 から 1,500 Torr まで測定します。圧力が 10-2 Torr を下回ると、MicroPirani はピエゾに対してオートゼロ機能を実行します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の素子は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニセンサーの測定範囲は 10-3 から約 100 Torr で、10 Torr を超えると急速に感度が低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズは非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑えた設計により、精度を損なうことなくどの位置でも操作が可能となり、設置が簡素化されています。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満の場合に使用できる押しボタンゼロ制御が含まれています。シリーズ 910 デジタル通信により、ホスト コンピュータを介してすべての調整とモニタリングをリアルタイムで配信できます。 910 には、標準機能として RS485 または RS232 通信が含まれています。シリーズ 910 は、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルトの DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサの出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取られます。プロセス制御用に、910 には 3 つの独立したリレー設定値があります。設定値の機能は、デジタルポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。ピエゾはガスの種類に関係なく測定します。 910 は、Piezo と MicroPirani™ の間の差動読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーと 910 DualTrans を使用できます。完全な仕様と動作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は登録商標です。 MKS Instruments, Inc. オプション (PN) 部品番号と価格 : 新しい MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani 絶対圧電トランスデューサ PN 910-11ISO-KF NW 16、RS-232、PN 910-11、2009 価格 $635ISO-KF NW 16、RS-485、PN 910-12、2009 価格 $6354 VCR-F、RS-232、PN 910-41、2009 価格 $6654 VCR-F、RS-485、PN 910-42、2009 価格 $6658 VCR-F、RS-232、PN 910-51、2009 価格 $6708 VCR-F、RS-485、PN 910-52、2009 価格 $670 すべて 価格は予告なく変更される場合があります。

シリーズ 900 トランスデューサ用 MKS PDR900 真空ゲージ コントローラ MKS PDR900 電源および読み出しユニットは、シリーズ 900 デジタル真空トランスデューサで使用するスタンドアロンのシングル チャネル コントローラです。この機器は、真空計コントローラの新しい標準を設定し、スタンドアロンの電源読み出しユニットとして、または OEM アプリケーションでシステム統合トランスデューサの構成、校正、診断用のツールとして使用できます。 PDR900 コントローラは、真空測定、デジタル トランスデューサの構成、および高度なシステム診断に最適なソリューションです。コントローラは、使いやすいメニュー方式のユーザー インターフェイスを備えており、リモート トランスデューサ パラメータのセットアップと構成をユーザーに案内します。読み出しユニットはトランスデューサーとデジタル通信するため、トランスデューサーケーブルを介したアナログ測定ノイズ結合が排除されます。このユニットは 900 シリーズ トランスデューサ タイプを自動的に検出し、RS232 と RS485 トランスデューサの両方で使用できます (909/909A または 903 アナログ トランスデューサとは互換性がありません)。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。

MKS 910 および 925 MicroPirani トランスデューサーに最適な真空 AC 電源アダプター、120 VAC を 12 VDC に変換、15 ピン接続、6 フィート (1.8 m) のケーブル長。これらの Ideal Vacuum AC ユニバーサル電源壁面変圧器は、MKS Granville-Phillips® 275 Mini-Convectron® モジュラー真空圧力トランスデューサまたはディスプレイ内蔵 MKS Granville-Phillips 900 シリーズ トランスデューサ用です。これらのケーブルは、50 ～ 60 Hz、120 ～ 240 VAC を 12 VDC に変換し、15 ピン接続を介して接続します。ケーブルの長さは 6 フィート (1.8 m) です。