MKS HPS® シリーズ 943 冷陰極真空計コントローラー、423 I-Mag® 冷陰極センサーまたは UHV 用の 421 センサーと互換性があります。 MKS 部品番号: 943-120V60-TR-PC。 MKS HPS® シリーズ 943 冷陰極真空計コントローラーは、OEM または産業用のシリーズ 423 I-Mag® センサーおよび UHV 用の 421 センサーと互換性があります。シリーズ 943 冷陰極真空計コントローラは、使いやすく、10-10 ～ 10-2 Torr の圧力測定を迅速かつ信頼性の高い方法で提供できるように設計されています。 943 冷陰極真空計は、高真空チャンバーの圧力測定や高真空システムの制御など、産業、プロセス、分析用途に最適です。応用分野には、高エネルギー物理学、分析機器、レーザー生成、イオン注入、質量分析、または PVD が含まれます。 943 デジタル コントローラーは 2 つの標準的な独立したリレー設定ポイントを備えており、自信を持ってプロセスを制御できます。ディスプレイを見ながら、フロントパネルから設定値を調整します。赤色の LED は、設定点のアクティブ化ステータスを示します。シリーズ 943 は、視認性の高い LED ディスプレイを使用して、10-10 ～ 10-2 Torr の圧力を表示します。圧力の遠隔監視用に2種類のアナログ出力を標準装備しています。内部コンバータは、動作範囲全体にわたって電圧から圧力への単純な対数変換を可能にする出力を提供します。リアパネルの 15 ピンアクセサリコネクタを介して、高速応答のバッファ付きアナログ出力も提供されます。フロントパネルの機能を使用すると、高電圧を無効にしたり、冷陰極が自動的にオフになる圧力を設定したりできます。これにより、圧力がセンサーの動作範囲を超えたときにコントローラーが誤った測定値を表示するのを防ぎます。このユニットは新品で、電源コード、アクセサリ コネクタ キット、および取扱説明書が付属しています。このユニット用の 421 センサーおよび 423 I-Mag® センサーと信号ケーブルは、この Web サイトで別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS 冷陰極真空計信号ケーブルは、943 コントローラーを HPS 423 I-Mag® センサーに接続します (10 フィート (3m))。 MKS 部品番号: 100007873 これは、MKS 423 I-Mag® 冷陰極センサーの上部と MKS 943 冷陰極コントローラーの背面ポートに接続する、長さ 10 フィートの冷陰極真空計信号ケーブルです。これはケーブルのみで、他のすべての部品とアクセサリはオプションです。 423 I-Mag® センサーは、反転マグネトロン設計を採用しており、適切なコントローラーを使用すれば、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。

MKS 冷陰極真空計信号ケーブルは、943 コントローラーを HPS 423 I-Mag® センサーに 50 フィート (15 メートル) 接続します。 MKS 部品番号: 100002395。これは、MKS 50 フィートの長さの冷陰極真空計信号ケーブルで、MKS 423 I-Mag® 冷陰極センサーの上部と MKS 943 冷陰極コントローラーの背面ポートに接続します。これはケーブルのみで、他のすべての部品とアクセサリはオプションです。 423 I-Mag® センサーは、反転マグネトロン設計を採用しており、適切なコントローラーを使用すれば、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。

MKS HPS® 423 I-Mag® センサー冷陰極真空ゲージ KF25、NW25、MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性があります。 MKS 部品番号: 104230004 反転マグネトロン設計を使用する 423 I-Mag® センサーは、適切なコントローラーを使用すると、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。これは冷陰極センサーのみです。このユニット用の MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーはこの Web サイトで別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS 423 I-Mag センサー冷陰極真空計 Conflat 2.75 インレット。 MKS 部品番号: 104230002 (MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性あり) 反転マグネトロン設計を使用する 423 I-Mag センサーは、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。適切なコントローラー。この増加した圧力範囲により、HPS 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。これは新品の冷陰極センサーです。このウェブサイトでは、このユニットの MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーのみが別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。