MKS HPS® シリーズ 974 QuadMag MicroPirani™ ピエゾ冷陰極トランスデューサー、KF-40、RS-232。 MKS 部品番号: 974-91020 974 QuadMag は、1x10-8 ～ 1500 Torr の測定範囲を提供し、冷陰極反転マグネトロン、MicroPirani™、および Piezo 差動センサー技術を組み合わせています。 974 は、真空ロードロック内の圧力測定用に特別に設計されています。大気圧から 10-8Torr までの絶対圧力測定と大気圧切り替え機能により、ロードロック上の複数の圧力測定装置を置き換える機能を備えています。その後、OEM はロードロック設計を簡素化することでコストを削減できます。 974 は、絶対圧力測定と大気切り替え機能の両方を必要とするロードロックまたは真空チャンバーで使用できます。シリーズ 974 QuadMag には、トランスデューサ パラメータを設定し、リアルタイムの圧力測定を行うための RS232 または RS485 デジタル通信インターフェイスが備わっています。 974 QuadMag トランスデューサには、0.5VDC/decade のアナログ圧力出力もあり、圧力の読み出しや制御のために外部アナログ機器に接続できます。他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスを介して選択できます。シリーズ 974 QuadMag には、インターロック バルブやポンプなどのプロセス制御に使用できる機械式リレーが最大 3 つあります。 974 QuadMag トランスデューサには、ユーザーが交換可能な冷陰極陽極モジュールが搭載されており、トランスデューサ電子部品を分解することなく簡単に保守できます。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 974 QuadMag を使用できます。完全な仕様と動作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® は登録商標、MicroPirani™ は ©2009 MKS Instruments, Inc. の登録商標です。全著作権所有。オプション、(PN) 部品番号と価格 : 新しい MKS HPS® シリーズ 974 QuadMag MicroPirani™ ピエゾ冷陰極トランスデューサ NW25 KF、 RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなし PN 974-21020、2009 価格 $12952 3/4 CF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなし PN 974-71020、2009 価格 $1365NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス -リレーなしPN 974-91020、2009 価格 $1325NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-22020、2009 価格 $12952 3/4 CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-72020、2009 価格$1335NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス-リレーなし PN 974-92020、2009 価格 $1275NW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-21030、2009 価格 $13052 3/4 CF、RS-232、 SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-71030、2009 価格 $1375NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-91030、2009 価格 $1315NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-22030、 2009 価格 $13052 3/4 CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-72030、2009 価格 $1395NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-92030、2009 価格 $1315?すべての価格は次の条件に従うものとします。予告なく変更しますか？

MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサ KF-25、1 x 10-8 ～ 1500 Torr。 RS232、絶対プロセス測定。 MKS 部品番号: 974B-21020 MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、冷陰極、MicroPirani™、ピエゾ技術などの 1 ～ 4 個のセンサーを利用するコンパクトで低コストの汎用トランスデューサ ファミリである MKS 970 シリーズに属します。 。これらのセンシング技術を組み合わせることで、大気から10-8Torrまでの幅広い測定範囲が可能になります。小型、広範囲、低コストに加えて、970 シリーズはデジタル通信経由で、または自律型アナログ ユニットとして操作できます。トランスデューサの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。 Piezo は直接読み取りの絶対圧力センサーであり、ガスに依存しない測定が可能です。このセンサーには独自の温度補償が含まれており、広い測定範囲にわたって高精度が可能です。ピエゾは 10-1 から 1,500 Torr まで測定します。圧力が 10-2 Torr を下回ると、MicroPirani はピエゾに対してオートゼロ機能を実行します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の素子は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニセンサーの測定範囲は 10-3 から約 100 Torr で、10 Torr を超えると急速に感度が低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズは非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑えた設計により、精度を損なうことなくどの位置でも操作が可能となり、設置が簡素化されています。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満の場合に使用できる押しボタンゼロ制御が含まれています。デジタル通信を備えた MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサにより、ホスト コンピュータを介してすべての調整とモニタリングをリアルタイムで行うことができます。 MKS 974B トランスデューサは、標準機能として RS485 または RS232 通信をサポートします。この 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルトの DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサの出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取られます。プロセス制御用に、974B には 3 つの独立したリレー設定値があります。設定値の機能は、デジタルポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。ピエゾはガスの種類に関係なく測定します。 974B は、Piezo と MicroPirani™ の間の差動読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーと 974B DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。

MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサ KF-40、1 x 10-8 ～ 1500 Torr。 MKS 部品番号: 974B-92020 MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、冷陰極、MicroPirani™、ピエゾ技術などの 1 ～ 4 個のセンサーを利用するコンパクトで低コストの汎用トランスデューサ ファミリである MKS 970 シリーズに属します。 。これらのセンシング技術を組み合わせることで、大気から10-8Torrまでの幅広い測定範囲が可能になります。小型、広範囲、低コストに加えて、970 シリーズはデジタル通信経由で、または自律型アナログ ユニットとして操作できます。トランスデューサの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。 Piezo は直接読み取りの絶対圧力センサーであり、ガスに依存しない測定が可能です。このセンサーには独自の温度補償が含まれており、広い測定範囲にわたって高精度が可能です。ピエゾは 10-1 から 1,500 Torr まで測定します。圧力が 10-2 Torr を下回ると、MicroPirani はピエゾに対してオートゼロ機能を実行します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の素子は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニセンサーの測定範囲は 10-3 から約 100 Torr で、10 Torr を超えると急速に感度が低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズは非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑えた設計により、精度を損なうことなくどの位置でも操作が可能となり、設置が簡素化されています。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満の場合に使用できる押しボタンゼロ制御が含まれています。デジタル通信を備えた MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサにより、ホスト コンピュータを介してすべての調整とモニタリングをリアルタイムで行うことができます。 MKS 974B トランスデューサは、標準機能として RS485 または RS232 通信をサポートします。この 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルトの DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサの出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取られます。プロセス制御用に、974B には 3 つの独立したリレー設定値があります。設定値の機能は、デジタルポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。ピエゾはガスの種類に関係なく測定します。 974B は、Piezo と MicroPirani™ の間の差動読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーと 974B DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。

シリーズ 900 トランスデューサ用 MKS PDR900 真空ゲージ コントローラ MKS PDR900 電源および読み出しユニットは、シリーズ 900 デジタル真空トランスデューサで使用するスタンドアロンのシングル チャネル コントローラです。この機器は、真空計コントローラの新しい標準を設定し、スタンドアロンの電源読み出しユニットとして、または OEM アプリケーションでシステム統合トランスデューサの構成、校正、診断用のツールとして使用できます。 PDR900 コントローラは、真空測定、デジタル トランスデューサの構成、および高度なシステム診断に最適なソリューションです。コントローラは、使いやすいメニュー方式のユーザー インターフェイスを備えており、リモート トランスデューサ パラメータのセットアップと構成をユーザーに案内します。読み出しユニットはトランスデューサーとデジタル通信するため、トランスデューサーケーブルを介したアナログ測定ノイズ結合が排除されます。このユニットは 900 シリーズ トランスデューサ タイプを自動的に検出し、RS232 と RS485 トランスデューサの両方で使用できます (909/909A または 903 アナログ トランスデューサとは互換性がありません)。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。