MKS HPS® シリーズ 901P Plus MicroPirani™ ピエゾ ロードロック真空トランスデューサ ISO-KF NW 25、RS-232 PN 901P-21030 MKS HPS® シリーズ 901P Plus トランスデューサには、ポンプダウン サイクルを監視するために 1x10 -5 ~ 1,000 Torr を測定する複合センサー出力が備わっています。このユニークな特許取得済みのトランスデューサーはロードロック環境向けに特別に設計されており、901 Plus (901P) は 1 つのコンパクトなパッケージで最大 3 つのセンサーを置き換えます。 901P は、MicroPirani™ とピエゾ センサー技術を統合することにより、圧力測定と大気切り替え機能の両方を提供します。差動センサーは、変動する気圧条件下でも正確な大気圧検知を保証し、最適なロードロック性能を実現します。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 901P を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
仕様および価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は、MKS Instruments, Inc.の登録商標です。 MKS HPS® シリーズ 901P Plus MicroPirani™ ピエゾ ロードロック真空トランスデューサ
オプション、部品番号 (PN): ISO-KF NW 16、RS-232 PN 901P-11030
ISO-KF NW 16、RS-485 PN 901P-12030
ISO-KF NW 25、RS-232 PN 901P-21030
ISO-KF NW 25、RS-485 PN 901P-22030
4 VCR-F、RS-232 PN 901P-41030
4 VCR-F、RS-485 PN 901P-42030
8 VCR-F、RS-232 PN 901P-51030
8 VCR-F、RS-485 PN 901P-52030
ISO-KF NW 16 EXT、RS-232 PN 901P-81030
ISO-KF NW 16 EXT、RS-485 PN 901P-82030