MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 0.4 ～ 20 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A015201R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、O2 または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 20 sccm、制御範囲は 0.4 ～ 20 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 4 ～ 200 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A004202R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、フルスケール フロー範囲 200 sccm、制御範囲 4 ～ 200 sccm で、Ar または同等の物質を制御するように構成されています。この 200sccm アルゴン ユニットは、ソフトウェアによって 141sccm に「ダウンレンジ」でき、制御可能な範囲が 4 ～ 200sccm から 2.8 ～ 141sccm アルゴンになります。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスの設定点精度が 1% になります。マルチレンジ機能は、MFC をルーターまたはコンピューターに Ethernet ケーブルで接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 1 ～ 50 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A013501R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、N2 または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ～ 50 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 1 ～ 50 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A015501R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、O2 または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ～ 50 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 0.4 ～ 20 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A013201R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、N2 または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 0.4 ～ 20 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company