Pfeiffer HiPace 1200 ターボ ポンプ、TC 1200 ドライブ ユニット付き ISO-F 200 入口フランジ、ポンプ速度 1300 l/s、水冷、PN: PM P06 001

ISO-F 200 入口フランジを備えた Pfeiffer HiPace 1200 ターボ分子高真空ポンプは、ポンプ速度 1300 リットル/秒 (l/s)、到達圧力 7.5 x 10 ^-8 Torr を備えています。この Pfeiffer HiPace 1200 ポンプには、ポンプの下に取り付けられた統合型 TC 1200 ドライブ ユニットが付属しており、ISO KF-40 排気フォアライン フランジが付いています。ポンプは垂直 (上部に高真空フランジ) から 90° (水平) まで取り付けることができます。最大 1300 ワットの 100 ～ 120/200 ～ 240 VAC 50/60 の入力電力が、ポンプに電力を供給する TC1200 ドライブ ユニットに直接供給されます。必要な AC 電源ケーブル (別売り) の部品番号は P1012627 です。 ISO-F 200 インレットおよび TC 1200 ドライブ ユニットを備えたこの HiPace 1200 ターボ ポンプには、水冷キットが標準装備されており、Pfeiffer 部品番号: PM P06 001 です。

付属の TC 1200 ドライブ ユニットは、ポンプの下に取り付けられたオンボード コントローラおよび電源であり、RS485 通信インターフェイス、リモート操作用の D-sub コネクタ、および 2 つのアクセサリ ポート (ソレノイド ベント バルブまたはその他の機器を制御するため) が含まれています。 OEM アプリケーションおよびシステム統合の場合、ポンプの起動に必要なのは、AC 入力電源ケーブルと起動/停止ロジックだけです。研究室での使用には、リモート ユーザー インターフェイスとして機能する Pfeiffer OmniControl 001 ターボ ポンプ コントローラーをお勧めします。 OmniControl 001 はベンチトップまたはラックに取り付けることができます。特別な RS485 ケーブル、部品番号 P1012287 (別売り) を介して TC1200 ドライブ ユニットから電力が供給されます。 OmniControl 001 は HiPace 1200 ターボ ポンプと通信し、完全な監視と制御を提供します。

当社は、OmniControl 001 ポンプ コントローラー、入口スクリーン、電源ケーブルおよび通信ケーブル、電磁ベント バルブ、ヒーター バンド (Conflat CF フランジ付きポンプのみ) など、さまざまなオプションのアクセサリを提供しています。

ISO-F 200 インレットおよび TC 1200 ドライブ ユニットを備えた Pfeiffer HiPace 1200 ターボ ポンプの仕様:

• 部品番号: PM P06 001
• 入口フランジ: ISO-F 200 (フランジをボルトで結合)
• 基本圧力: 7.5 x 10 ^-8 Torr
• 動作速度: 37,800 RPM
• 取り付け方向: 0° (HV フランジが上部) ～ 90° (水平)
• ポンピング速度: 1300 l/s
• 冷却方式 標準：水（100リットル/h、15～35℃）
• 給水接続: G 1/4 インチ (BSPP)
• 排気フランジ：KF-40
• 通気接続: G 1/8 インチ (BSPP)
• 統合コントローラー: TC 1200 ドライブユニット
• 動作電圧：AC100～120/200～240V、50/60Hz
• 最大電力: 1350 ワット
• 準備時間: 2.5 分
• インターフェイス: M12 コネクタを介した RS485
• リモート: 高密度 26 ピン Sub-D コネクタ
• アクセサリポート: 2 つの M12 ソケット、A および B のラベルが付いています
• 推奨荒引きポンプ：HiScroll 18 ドライスクロールポンプ

Pfeiffer Vacuum HiPace シリーズのターボポンプは、実証済みのハイブリッド ベアリングを備えた独自のローター設計を特徴としています。 HiPace ポンプは、軽ガスの高圧縮に加えて、高い排気速度と高いガス スループットを実現します。 HiPace ポンプにはターボ分子ステージとドラッグ ステージの両方があり、より高いバッキング ライン圧力に対する耐性が向上し、すべてのガス種でポンピング速度が向上します。 HiPace ハイブリッドベアリングは、前真空側のセラミックボールベアリングと高真空側の永久磁石ラジアルベアリングの組み合わせです。このベアリング技術は電磁石を必要とせず、耐用年数が長く、通常のメンテナンス間隔は約 4 年です。パフォーマンスの向上に加え、すべての HiPace ターボ ポンプには現場で保守可能なオイル カートリッジとシャフト ベアリングが装備されており、ダウンタイムが大幅に短縮されます。

Con flat CF フランジを備えた Pfeiffer HiPace ポンプは、到達圧力が 10 ^-10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属製吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合) 。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10 ^-8 Torr の範囲に制限されます。コンフラット フランジ付き HiPace ポンプの吸気口は、ターボが水冷されている場合、最大 120 °C まで加熱される可能性があります。

一般的なターボ ポンプの用途には次のものがあります。

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡 - SEM
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析法
• 電子顕微鏡法
• サンプルの準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業用
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器

ポンプの取扱説明書と Pfeiffer HiPace ポンプの製品パンフレットは、ダウンロードで入手できます。