Pfeiffer HiPace 80 ターボ ポンプ DN 63 ISO-K 63 インレットおよび HiScroll 6 ラフィング ドライ スクロール ポンプ パッケージには、TC 110 ドライブ ユニット OmniControl 200 および空冷キットが含まれます。この Pfeiffer HiPace 80 ターボ ポンプ パッケージは、DN63 ISO-K 入口フランジに対応しており、Pfeiffer HiScroll 6 ドライ スクロール粗引きポンプが含まれています。この HiPace 80 の排気速度は 67 l/s、到達圧力は 7.5 x 10
-8 Torr です。ポンプには、TC 110 電子ポンプ駆動ユニットが統合されています。このパッケージには、OmniControl 200 ディスプレイ制御ユニットと大型 LED ディスプレイ付き電源 (AC 電源ケーブル付き) が含まれています。 OmniControl 200 は、アクセサリ用の M8 ポートと付属の RS485 通信ケーブル (部品番号 P1012287) を接続するための M12 コネクタを備えた、付属の長さ 3 メートルのコントローラー接続ケーブル (部品番号 P103335) を介してポンプに電力を供給し、通信し、ポンプを制御します。この契約には、コントローラー接続ケーブルの M8 ポートの 1 つに差し込み、ポンプによって電力を供給されるラジアル空冷ファン ユニットも含まれています。ポンプを破片から保護するために、細かいメッシュ (0.8 mm) スクリーンを備えた破片ガードもこのパッケージの一部です。このターボ ポンプ パッケージ取引には粗引きポンプが含まれていますが、粗引きライン、真空チャンバー、圧力測定ゲージ、またはバルブは含まれていません。アップグレードには、水冷キット、ソレノイド通気またはシールガスパージバルブが含まれる場合があります。これらのアイテムはすべて、Ideal Vacuum によって個別に入手および販売されます。
DN63 ISO-K フランジ付き HiPace 80 ターボ ポンプについてDN63 ISO-K 入口フランジと KF-16 出口フランジを備えた Pfeiffer HiPace 80 ターボ分子高真空ポンプは、67 リットル/秒 (l/s) の排気速度と 7.5 x 10-8 Torr の到達圧力を備えています。ポンプは任意の方向に取り付けることができます。最大 110 ワットの 24 VDC 入力電力が必要です。この Pfeiffer HiPace 80 ポンプには、ポンプの側面に統合された TC 110 ドライブ ユニットが付属しており、ポンプ電源、RS485 通信、および M8 アクセサリ ポート (いずれかを制御するため) を供給するための単一の X3 (15 ピン D-Sub) コネクタを備えています。空冷ファンまたは電磁ベントバルブ）。 ISO-K 63 インレットと TC 110 ドライブ ユニットを備えたこの HiPace 80 ターボ ポンプの Pfeiffer 部品番号は PM P03 940 A です。
HiScroll 6 ドライスクロール粗引きポンプについてこの Pfeiffer HiScroll 6 ドライ スクロール粗引き/バッキング ポンプの排気速度は 3.6 cfm (6.1 m3/hr)、到達真空度は 1.5 x 10-2 Torr (2 x 10-2 mbar) です。 KF-25（NW25）の吸入口と吐出口を備えています。 100 ～ 240 VAC、50/60 Hz、単相電源の入力が必要です。 AC電源ケーブルが3本付属します。 HiScroll 6 ポンプは 4A@120VAC (2A@240VAC) を消費し、48 dB(A) と非常に静かです。この HiScroll ポンプは、内部モーター保護機能と統合された 2 段階ガスバラストを備えており、水、溶剤、希酸、塩基などの凝縮性蒸気のポンプ輸送を可能にします。最大乾燥空気または不活性ガスのバラスト圧力は 21.7 psi (1500 hPa) です。ポンプにはオンボードのインバータ コントローラが搭載されており、使いやすい押しボタンを使用して手動でポンプを制御したり、ファイファー DCU または OmniControl コントローラ、またはユーザー提供のソフトウェア インターフェイスに接続した場合に RS485 を介してリモートでポンプを制御したりできます。ポンプ コントローラーにはスタンバイ モードがあり、アクティブになるとポンプの速度が全速度の 50% に低下し、チップ シールの磨耗を節約し、ベアリングの耐用年数を延ばします。この Pfeiffer HiScroll 6 ドライ スクロール ポンプの部品番号は PD S10 000 です。
OmniControl 200 ドライブ コントロール ユニットについてPfeiffer OmniControl 200 ターボ ポンプ コントローラは、ベンチトップまたはラックに取り付けることができ、統合 TC110 ドライブ ユニットを備えた Pfeiffer HiPace 80 および HiPace 300H ターボ ポンプを操作するように設計されています。 OmniControl 200 は、最大 200 ワットの 24 VDC を TC 110 電子ドライブ ユニットに供給し、ポンプに電力を供給します。 OmniControl 200 と TC 110 の間に必要な接続ケーブルが含まれています。接続ケーブルはポンプに電力を供給するだけでなく、付属のラジアル強制空冷ファンユニットやシーリングガスバルブを接続するための M8 ポートも備えています。 OmniControl 200 への入力電源は 115/230 VAC で、標準の 115 VAC 電源ケーブルが付属しています。この OmniControl 200 ターボ ポンプ ディスプレイ コントロール ユニットおよび電源の Pfeiffer 部品番号は PE D50 100 0 です。
ラジアル空冷ファンユニットについてこのファイファー空冷ファン ユニットは、HiPace 80 ターボ ポンプの側面に取り付けられ、ポンプに垂直な空気の流れを提供します。この空冷ファンは、TC 110-to-OmniControl ケーブルのアクセサリ ポートの 1 つに接続します。空冷ユニットはポンプがオンのときに常に動作します。このラジアル空冷ファン ユニットには、Pfeiffer 部品番号 PM Z01 300 AT があります。
このパッケージ取引のアプリケーションには次のものが含まれます。- 質量分析法
- ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析法 (TOF)
研究開発における空白:- 高エネルギー物理学
- 融合技術
- 一般的な UHV 研究
- シンクロトロン光源 粒子加速器
ナノテクノロジー機器:- 電子顕微鏡法
- 走査型電子顕微鏡 (SEM)
- 透過型電子顕微鏡 (TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:- 薄膜堆積:
- ガラスコーティング装置（建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ）
- 薄膜太陽電池の製造（太陽光発電）
- 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶媒体
- 表面処理
- 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
- フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング
デバイスの処理:- テレビおよびモニター受像管の製造
- ランプの避難（高速道路の照明、ビーマー）
- X線管と電子機器
一般的なプロセス:このパッケージ取引は、多くの個別の部品で構成されるキットとして在庫に保管されており、各部品は以下の
「キット コンポーネントの入手可能性」セクションにリストされています。取扱説明書はダウンロードで入手できます。
