Ideal Vacuum AnalyzaVACTM 残留ガス分析装置 (RGA)、1-300 AMU、ファラデー カップ検出器、AutoZ+ 基本ソフトウェア付属。この出品は、Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置を以下のコンポーネントとともに販売するものです: Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA 1-300 AMU スキャン範囲。ファラデー カップ検出器。粗真空測定用の内蔵ピラニ ゲージ。高真空測定用の内蔵熱陰極イオン ゲージ。Conflat (CF) 2.75 インチ取り付けフランジ。24 VDC ユニバーサル電源 (120/240 VAC 入力) および 6 フィートのケーブルも含まれています。USB から DB-9 オス RS-232 シリアル通信ケーブル (長さ 1 フィート)。DB-9 オスからメス RS-232 シリアル延長ケーブル (長さ 25 フィート)。CF 2.75 インチ銅ガスケットおよびボルト キット。Ideal Vacuum AutoZ+ 基本バージョン ソフトウェア。 Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの識別と濃度の判定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング用途の供給ガス品質管理、プロセスのトラブルシューティングなどに使用できます。AnalyzaVAC RGA プローブにはピラニゲージとベヤードアルパート熱陰極ゲージが組み込まれており、不適当な高圧での動作から保護し、システムの複雑さを軽減してコストのかかるメンテナンスを回避します。各システムには、四重極プローブ、制御および通信ユニット (CCU)、Microsoft Windows® 10 用の AutoZ+ Basic ソフトウェア、および電源と通信に必要なすべてのケーブルが付属しています。AnalyzaVAC は、現場で交換可能な 2 つのトリウムイリジウムフィラメントから熱電子放出される電子を使用して、プローブの先端にあるガスをイオン化することで動作します。結果として生じる陽イオンは、四重極フィルターに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心を通り、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の天然同位体存在比と RGA の高エネルギー電子イオン化によって引き起こされる分子の断片化を組み合わせた、固有のスペクトル フィンガープリントを生成します。RGA は、1×10-6 Torr 未満、最適には約 2×10-7 Torr の全圧で連続動作するように設計されます。RGA を高圧で動作させると、イオン化装置、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短縮されます。内蔵の圧力ゲージは、RGA への致命的な損傷を防ぐために、内部と AutoZ+ ソフトウェアの両方で使用されます (ほとんどの場合)。RGA プローブは高真空チャンバーに直接取り付けることができますが、チューブと遮断バルブを使用して RGA をチャンバーから分離することがベスト プラクティスです。これにより、チャンバーの通気時や新しいサンプルまたは機器の導入時に、汚染や偶発的な損傷を防止できます。RGA を使用して低真空チャンバー内のガスを測定する場合は、RGA を、リーク バルブを介してメイン チャンバーに接続された独自の高真空ポンプ システムを備えた小さな別のチャンバーに保管する必要があります。Ideal Vacuum は、最大 1000 torr の圧力でガスを安全に測定するために必要なすべての機器を備えた RGA キットを提供しています。すべての AnalyzaVAC プローブには、1.5×10-12 Torr* まで繰り返し可能な定量的かつ高度な直線性検出を提供するファラデー カップ検出器が付属しています。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異の 6×10-15 Torr* まで向上します。標準検出器と電子増倍管付き検出器はどちらも、適切に較正すると、10% ピーク高さで 0.5 AMU (またはそれ以上) の分解能を備えています。 Ideal Vacuum の有効期限のない基本 AutoZ+ ソフトウェアは、デスクトップまたはラップトップ コンピューターから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。AutoZ+ を使用すると、オペレーターはすべての取得パラメーターを制御できます。AutoZ+ はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、収集したデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および時間の経過に伴う傾向として表示できます。不要なピークとスペクトル寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルをベースライン データに使用できます。Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ+ ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、およびライブラリへの追加の化合物の追加機能が追加されています。プレミアム AutoZ+ は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して一般的な残留ガスの部分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへの寄与を識別し、未知のピークを分離します。プレミアム ソフトウェアは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。 RGA の用途: リーク テスト、プロセス監視、ポンプダウンおよびベークアウト監視、真空診断、供給ガス品質管理、ガスおよび汚染物質の識別。AnalyzaVAC プローブは精密機器であるため、元のパッケージから取り出した後は保証の対象外となります。 * 窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu フルピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオンエネルギー、2 mA の電子放出で測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算しています。

Ideal Vacuum AnalyzaVACTM 残留ガス分析装置 (RGA)、1-300 AMU、電子増倍管およびファラデーカップ検出器、AutoZ+ 基本ソフトウェア付属。 この出品は、Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置を以下のコンポーネントとともに販売するものです: Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA 1-300 AMU スキャン範囲。電子増倍管信号増幅器。ファラデーカップ検出器。粗真空測定用の内蔵ピラニゲージ。高真空測定用の内蔵熱陰極イオンゲージ。Conflat (CF) 2.75 インチ取り付けフランジ。24 VDC ユニバーサル電源 (120/240 VAC 入力) および 6 フィートのケーブルも含まれています。USB から DB-9 オス RS-232 シリアル通信ケーブル (長さ 1 フィート)。DB-9 オスからメス RS-232 シリアル延長ケーブル (長さ 25 フィート)。CF 2.75 インチ銅ガスケットおよびボルトキット。 Ideal Vacuum AutoZ+ 基本バージョン ソフトウェア。Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの識別と濃度の判定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング アプリケーションでの供給ガス品質管理、プロセス トラブルシューティングなどに使用できます。AnalyzaVAC RGA プローブには、ピラニ ゲージとベヤード アルパート熱陰極ゲージが組み込まれており、不適切な高圧での動作から保護し、システムの複雑さを軽減してコストのかかるメンテナンスを回避します。各システムには、四重極プローブ、制御および通信ユニット (CCU)、Microsoft Windows® 10 用の AutoZ+ 基本ソフトウェア、および電源と通信に必要なすべてのケーブルが付属しています。AnalyzaVAC は、現場で交換可能な 2 つのトリウム イリジウム フィラメントから熱電子放出される電子を使用して、プローブの先端にあるガスをイオン化することで動作します。結果として生じる陽イオンは、四重極フィルタに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心を移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の自然な同位体存在比と RGA の高エネルギー電子イオン化によって引き起こされる分子の断片化を組み合わせた、固有のスペクトル フィンガープリントを生成します。RGA は、1×10-6 Torr 未満の全圧、最適には約 2×10-7 Torr で連続動作するよう設計されています。RGA を高圧で動作させると、イオン化装置、フィラメント、および四重極の寿命が大幅に短縮されます。内蔵の圧力ゲージは、RGA への致命的な損傷を防ぐために、内部と AutoZ+ ソフトウェアの両方で使用されます (ほとんどの場合)。 RGA プローブは高真空チャンバーに直接取り付けることもできますが、チューブと遮断バルブを使用して RGA をチャンバーから遮断することがベスト プラクティスです。これにより、チャンバーの通気時や新しいサンプルまたは機器の導入時に汚染や偶発的な損傷を防止できます。RGA を使用して低真空チャンバー内のガスを測定する場合は、RGA を専用の高真空ポンプ システムを備えた小さな別のチャンバーに保管し、リーク バルブを介してメイン チャンバーに接続する必要があります。Ideal Vacuum は、最大 1000 torr の圧力でガスを安全に測定するために必要なすべての機器を備えた RGA キットを提供しています。すべての AnalyzaVAC プローブには、1.5×10-12 Torr* までの繰り返し可能で定量的かつ直線性の高い検出を提供するファラデー カップ検出器が付属しています。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異の 6×10-15 Torr* まで上がります。標準検出器と電子増倍管付き検出器は両方とも、適切に較正されていれば、ピーク高さ 10% で 0.5 AMU (またはそれ以上) の分解能を備えています。Ideal Vacuum の有効期限のない基本 AutoZ+ ソフトウェアは、デスクトップまたはラップトップ コンピューターから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。AutoZ+ を使用すると、オペレーターはすべての取得パラメーターを制御できます。AutoZ+ はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、ユーザーは収集したデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および時間の経過に伴う傾向として表示できます。不要なピークとスペクトル寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルをベースライン データに使用できます。Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ+ ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれ、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、およびライブラリへの化合物の追加機能が追加されます。 Premium AutoZ+ は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して一般的な残留ガスの分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへの寄与を識別し、未知のピークを分離します。 Premium ソフトウェアは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。 RGA アプリケーションの例: リーク テスト プロセス モニタリング ポンプダウンおよびベークアウト モニタリング 真空診断 供給ガス品質管理 ガスおよび汚染物質の識別 AnalyzaVAC プローブは繊細な機器であり、元のパッケージから取り出した後は保証されません。 * 窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu フル ピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオン エネルギー、2 mA の電子放出で測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算します。

Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) キット (高圧操作用)、1-300 AMU、ファラデーカップ検出器、手動可変リークバルブ、Agilent TPS ミニターボポンプステーション、AutoZ+ 基本ソフトウェア付属。ご注文前によくお読みください (こちらをクリック)。Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの特定と濃度の判定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチングアプリケーションでの供給ガス品質管理、プロセストラブルシューティングなどに使用できます。チャンバーに直接接続された RGA は、1×10-6 Torr 未満、最適には約 2×10-7 Torr の全圧で連続操作できるように設計されています。RGA を高圧で操作すると、イオン化装置、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短くなります。 AnalyzaVAC の内蔵圧力ゲージは、内部でも付属の AutoZ+ ソフトウェアでも使用され、RGA への致命的な損傷を防止します (ほとんどの場合)。中真空から大気圧のチャンバー内のガスを測定するには、RGA を専用の高真空ポンプ システムを備えた別の小型チャンバーに配置する必要があります。次に、RGA 真空システムをリーク バルブを介してチャンバーに接続します。これにより、RGA は繊細な四重極プローブの周囲に高真空を維持しながら、メイン チャンバー内のガスをサンプリングできます。このキットには、RGA を使用して高圧でガスを測定するために必要なものがすべて含まれています。コンポーネントと機能: 理想的な真空 AnalyzaVAC RGA。1 ～ 300 AMU のスキャン範囲。ファラデー カップ検出器。内蔵ピラニ ゲージにより、高圧時に RGA がオンになるのを防ぎます。内蔵の熱陰極イオン ゲージにより、高真空圧力を迅速に測定できます。スイッチ 1 つで高真空操作できる Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS ターボ分子ポンプ ステーション。手動の Agilent 可変リーク バルブにより、1000 Torr から高真空までのチャンバーの RGA サンプリングが可能になります。他のガス源からの測定汚染を最小限に抑えるために、全金属シールを備えた溶接マニホールド。Ideal Vacuum AutoZ+ 基本バージョン ソフトウェア。Agilent Varian TPS-mini ポンプ ステーションと手動の Agilent 可変リーク バルブを組み合わせると、少なくとも 9 桁の圧力にまたがるチャンバーの正確なガス サンプリングが可能になります。ただし、単一のアイソレーション バルブ クラック ポイントは、範囲内のすべての圧力に適しているわけではありません。最良の結果を得るには、チャンバー圧力が変更されるたびにバルブを手動でリセットする必要があります。チャンバー圧力が現在の動作圧力と比較して 1 桁以上上昇する場合 (つまり、チャンバー ベント中)、RGA とポンプ システムの損傷を防ぐために、まずリーク バルブを閉じる必要があります。チャンバーが安定した圧力に達したら、RGA イオナイザをオフにし、RGA サブシステム内の目的の圧力に達するまでバルブを再度開きます。その後、RGA イオナイザをオンに戻して、測定を再開できます。圧力サイクルを通じてリークバルブを特定の亀裂点に保つために、追加の手動ベローズバルブを使用して RGA をチャンバーから分離することができます。Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA について: AnalyzaVAC は、現場で交換可能なデュアル トリウム イリジウム フィラメントによって熱電子放出される電子を使用して、プローブの先端にあるガスをイオン化することで動作します。結果として生じる陽イオンは、四重極フィルタに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心に沿って移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の自然な同位体存在比と、RGA の高エネルギー電子イオン化によって引き起こされる分子フラグメンテーションの組み合わせである、固有のスペクトル フィンガープリントを生成します。すべての AnalyzaVAC プローブにはファラデーカップ検出器が付属しており、1.5×10-12 Torr* まで繰り返し可能な定量的かつ直線性の高い検出が可能です。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異の 6×10-15 Torr* まで向上します。標準検出器と電子増倍管付き検出器はどちらも、適切に較正されていれば、ピーク高さ 10% で 0.5 AMU (またはそれ以上) の分解能を備えています。Ideal Vacuum の有効期限のない基本 AutoZ+ ソフトウェアは、デスクトップ コンピューターまたはラップトップ コンピューターから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。AutoZ+ を使用すると、オペレーターはすべての取得パラメーターを制御できます。AutoZ+ はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、ユーザーは収集したデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および経時的な傾向として表示できます。不要なピークとスペクトル寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルをデータのベースラインとして使用できます。 Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ+ ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、およびライブラリへの化合物の追加機能が追加されます。プレミアム AutoZ+ は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して、一般的な残留ガスの部分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへのそれらの寄与を識別し、未知のピークを分離します。プレミアム ソフトウェアは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。RGA アプリケーションの一部: リーク テスト プロセス モニタリング ポンプダウンおよびベークアウト モニタリング 真空診断 供給ガス品質管理 ガスおよび汚染物質の識別 ご注文の前によくお読みください:* AnalyzaVAC プローブは精密機器です。プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間の高圧での操作は、プローブを汚染して損傷する可能性があります。したがって、プローブは元のパッケージから取り出した後は保証されません。Agilent TPS Mini Turbo には、完全なメーカー保証が付いています。その他のコンポーネントの保証は、製品の欠陥に対して適用されます。 RGA の最適な全動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10-7 Torr です。可変リーク バルブとターボ ポンプ システムを使用して RGA システム内で圧力が低下している限り、外部圧力はこれよりはるかに高くてもかまいません。RGA システム圧力を高くして長時間操作すると、プローブの早期劣化、ゲインの低下、スペクトル ドリフト、フィラメントとイオナイザの焼損につながります。RGA は、次の圧力領域で、対応する時間使用できます。10-4 Torr、数時間 10-5 Torr、数日 10-6 Torr、数ヶ月 10-7 Torr、数年 10-8 Torr、無期限 フィラメントとイオナイザの煤汚染を防ぐため、有機蒸気は大気ガスの 2 倍低い圧力に保つ必要があります。腐食性蒸気も、通常のガスよりも RGA にダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA は高額な修理費用をかけずにこれらのガスを測定するために使用できます。 * 窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu フルピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオンエネルギー、2 mA の電子放出で測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算します。

Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) キット (高圧操作用)、1-300 AMU、電子増倍管およびファラデーカップ検出器、手動可変リークバルブ、Agilent TPS ミニターボポンプステーション、AutoZ+ 基本ソフトウェア付属。ご注文前によくお読みください (こちらをクリック)。Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの特定と濃度の判定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング用途の供給ガス品質管理、プロセストラブルシューティングなどに使用できます。チャンバーに直接接続された RGA は、1×10-6 Torr 未満、最適には約 2×10-7 Torr の全圧で連続操作できるように設計されています。RGA を高圧で操作すると、イオン化装置、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短くなります。 AnalyzaVAC の内蔵圧力ゲージは、内部および付属の AutoZ+ ソフトウェアの両方で使用され、RGA への致命的な損傷を防止します (ほとんどの場合)。中真空から大気圧のチャンバー内のガスを測定するには、RGA を独自の高真空ポンプ システムを備えた別の小さなチャンバーに配置する必要があります。次に、RGA 真空システムをリーク バルブを介してチャンバーに接続します。これにより、RGA は繊細な四重極プローブの周囲に高真空を維持しながら、メイン チャンバー内のガスをサンプリングできます。このキットには、RGA を使用して高圧でガスを測定するために必要なものがすべて含まれています。コンポーネントと機能: 理想的な真空 AnalyzaVAC RGA。1 ～ 300 AMU のスキャン範囲。電子増倍管信号増幅器。ファラデー カップ検出器。内蔵ピラニ ゲージにより、高圧での RGA のオンを防止。内蔵ホット カソード イオン ゲージにより、高真空圧力を迅速に測定。 Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS ターボ分子ポンプ ステーションは、スイッチ 1 つで高真空操作が可能です。手動の Agilent 可変リーク バルブにより、1000 Torr から高真空までのチャンバーの RGA サンプリングが可能です。溶接マニホールドは全金属製シールで、他のガス源からの測定汚染を最小限に抑えます。Ideal Vacuum AutoZ+ 基本バージョン ソフトウェア。Agilent Varian TPS-mini ポンプ ステーションと手動の Agilent 可変リーク バルブを組み合わせると、少なくとも 9 桁の圧力にまたがるチャンバーの正確なガス サンプリングが可能になります。ただし、単一のアイソレーション バルブ クラック ポイントは、範囲内のすべての圧力に適しているわけではありません。最良の結果を得るには、チャンバー圧力が変更されるたびにバルブを手動でリセットする必要があります。チャンバー圧力が現在の動作圧力と比較して 1 桁以上上昇する場合 (チャンバー ベント中など)、RGA とポンプ システムの損傷を防ぐために、まずリーク バルブを閉じる必要があります。チャンバーが安定した圧力に達したら、RGA イオン化装置をオフにし、RGA サブシステム内の目的の圧力に達するまでバルブを再度開きます。その後、RGA イオン化装置をオンに戻して測定を再開します。圧力サイクルを通じてリーク バルブを特定の亀裂点に保つために、追加の手動ベローズ バルブを使用して RGA をチャンバーから分離できます。Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA について: AnalyzaVAC は、現場で交換可能なデュアル トリウム イリジウム フィラメントによって熱電子放出される電子を使用して、プローブの先端にあるガスをイオン化することで動作します。結果として生じる陽イオンは、四重極フィルターに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心に沿って移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の天然同位体存在比と、RGA の高エネルギー電子イオン化によって引き起こされる分子フラグメンテーションの組み合わせである、独自のスペクトル指紋を生成します。すべての AnalyzaVAC プローブには、1.5×10-12 Torr* まで繰り返し可能で定量的かつ直線性の高い検出を提供するファラデー カップ検出器が付属しています。オプションの電子増倍管を使用すると、定性測定の感度が驚異の 6×10-15 Torr* まで上がります。標準検出器と電子増倍管付き検出器はどちらも、適切に較正されていれば、10% ピーク高さで 0.5 AMU (またはそれ以上) の分解能を備えています。Ideal Vacuum の有効期限のない基本 AutoZ+ ソフトウェアは、デスクトップ コンピューターまたはラップトップ コンピューターから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。AutoZ+ を使用すると、オペレーターはすべての取得パラメーターを制御できます。AutoZ+ はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、収集したデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および経時的な傾向として表示できます。不要なピークやスペクトル寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルを使用してデータをベースライン化することができます。 Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ+ ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、およびライブラリへの化合物の追加機能が追加されます。 Premium AutoZ+ は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して一般的な残留ガスの部分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへの寄与を識別し、未知のピークを分離します。 Premium ソフトウェアは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。 RGA の用途: リーク テスト プロセス モニタリング ポンプダウンおよびベークアウト モニタリング 真空診断 供給ガス品質管理 ガスおよび汚染物質の識別 ご注文の前によくお読みください:* AnalyzaVAC プローブは繊細な機器です。 プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間の高圧での操作は、プローブを汚染して損傷する可能性があります。 したがって、プローブは元のパッケージから取り出した後は保証されません。 Agilent TPS Mini Turbo には、完全な製造元保証が付いています。その他のコンポーネントの保証は、製品の欠陥に対してのみ適用されます。RGA の最適な総動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10-7 Torr です。可変リークバルブとターボポンプシステムを使用して RGA システム内で圧力を下げる限り、外部圧力をこれよりはるかに高くすることができます。RGA システム圧力を高くして長時間操作すると、プローブの早期劣化、ゲインの低下、スペクトルドリフト、フィラメントとイオナイザの焼損につながります。RGA は、次の圧力領域で、対応する時間使用できます。10-4 Torr、数時間 10-5 Torr、数日 10-6 Torr、数か月 10-7 Torr、数年 10-8 Torr、無期限 有機蒸気は、フィラメントとイオナイザの煤による汚染を防ぐために、大気圧の 2 分の 1 の圧力に保つ必要があります。フィラメントとイオン化装置にガラスが付着するのを防ぐため、シリコン蒸気の圧力は大気ガスの 10 倍以上低く保つ必要があります。腐食性蒸気も通常のガスよりも RGA にダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA は高額な修理費用をかけずにこれらのガスを測定するために使用できます。* 窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu フルピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオンエネルギー、2 mA の電子放出で測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算します。

Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) キット (高圧操作用)、1-300 AMU、ファラデーカップ検出器、手動可変リークバルブ、Pfeiffer HiCube 80 ECO ターボポンプステーション、AutoZ+ 基本ソフトウェア付属。ご注文前によくお読みください (こちらをクリック)。Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの特定と濃度の判定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング用途の供給ガス品質管理、プロセストラブルシューティングなどに使用できます。チャンバーに直接接続された RGA は、1×10-6 Torr 未満、最適には約 2×10-7 Torr の全圧で連続操作できるように設計されています。RGA を高圧で操作すると、イオン化装置、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短くなります。 AnalyzaVAC の内蔵圧力ゲージは、内部および付属の AutoZ+ ソフトウェアの両方で使用され、RGA への致命的な損傷を防止します (ほとんどの場合)。中真空から大気圧のチャンバー内のガスを測定するには、RGA を専用の高真空ポンプ システムを備えた別の小さなチャンバーに配置する必要があります。次に、RGA 真空システムをリーク バルブを介してチャンバーに接続します。これにより、RGA は繊細な四重極プローブの周囲に高真空を維持しながら、メイン チャンバー内のガスをサンプリングできます。このキットには、RGA を使用して高圧でガスを測定するために必要なものがすべて含まれています。コンポーネントと機能: 理想的な真空 AnalyzaVAC RGA。1 ～ 300 AMU のスキャン範囲。ファラデー カップ検出器。内蔵ピラニ ゲージにより、高圧での RGA のオンを防止。内蔵ホット カソード イオン ゲージによる迅速な高真空圧力測定。Pfeiffer HiCube 80 ECO ターボ分子ポンプ。手動の Agilent 可変リーク バルブにより、1000 Torr から高真空までのチャンバーの RGA サンプリングが可能になります。他のガス源からの測定汚染を最小限に抑えるために、全金属シールを備えた溶接マニホールド。Ideal Vacuum AutoZ+ 基本バージョン ソフトウェア。Pfeiffer HiCube 80 ECO ポンプ ステーションと手動の Agilent 可変リーク バルブを組み合わせると、少なくとも 9 桁の圧力にまたがるチャンバーの正確なガス サンプリングが可能になります。ただし、単一のアイソレーション バルブ クラック ポイントは、範囲内のすべての圧力に適しているわけではありません。最良の結果を得るには、チャンバー圧力が変更されるたびにバルブを手動でリセットする必要があります。チャンバー圧力が現在の動作圧力と比較して 1 桁以上上昇する場合 (つまり、チャンバー ベント中)、RGA とポンプ システムの損傷を防ぐために、まずリーク バルブを閉じる必要があります。チャンバーが安定した圧力に達したら、RGA イオナイザをオフにし、RGA サブシステム内の目的の圧力に達するまでバルブを再度開きます。その後、RGA イオナイザをオンに戻して測定を再開できます。圧力サイクルを通じてリークバルブを特定の亀裂点に保つために、追加の手動ベローズバルブを使用して RGA をチャンバーから分離することができます。Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA について: AnalyzaVAC は、現場で交換可能なデュアル トリウム イリジウム フィラメントによって熱電子放出される電子を使用して、プローブの先端にあるガスをイオン化することで動作します。結果として生じる陽イオンは、四重極フィルタに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心に沿って移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の自然な同位体存在比と、RGA の高エネルギー電子イオン化によって引き起こされる分子フラグメンテーションの組み合わせである、固有のスペクトル フィンガープリントを生成します。すべての AnalyzaVAC プローブにはファラデーカップ検出器が付属しており、1.5×10-12 Torr* まで繰り返し可能な定量的かつ直線性の高い検出が可能です。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異の 6×10-15 Torr* まで向上します。標準検出器と電子増倍管付き検出器はどちらも、適切に較正されていれば、ピーク高さ 10% で 0.5 AMU (またはそれ以上) の分解能を備えています。Ideal Vacuum の有効期限のない基本 AutoZ+ ソフトウェアは、デスクトップ コンピューターまたはラップトップ コンピューターから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。AutoZ+ を使用すると、オペレーターはすべての取得パラメーターを制御できます。AutoZ+ はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、ユーザーは収集したデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および経時的な傾向として表示できます。不要なピークとスペクトル寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルをデータのベースラインとして使用できます。 Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ+ ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、ライブラリへの化合物の追加機能が追加されます。プレミアム AutoZ+ は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して一般的な残留ガスの部分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへのそれらの寄与を識別し、未知のピークを分離します。プレミアム ソフトウェアは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。RGA アプリケーションの一部: リーク テスト プロセス モニタリング ポンプダウンおよびベークアウト モニタリング 真空診断 供給ガス品質管理 ガスおよび汚染物質の識別 ご注文の前によくお読みください:* AnalyzaVAC プローブは繊細な機器です。プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間の高圧での操作は、プローブを汚染して損傷する可能性があります。したがって、プローブは元のパッケージから取り出した後は保証されません。Pfeiffer HiCube 80 ECO turbo には、完全なメーカー保証が付いています。その他のコンポーネントの保証は、製品の欠陥に対してのみです。RGA の最適な総動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10-7 Torr です。可変リーク バルブとターボ ポンプ システムを使用して RGA システム内で圧力が低減されている限り、外部圧力はこれよりはるかに高くてもかまいません。RGA システム圧力を高くして長時間操作すると、プローブの早期劣化、ゲインの損失、スペクトル ドリフト、フィラメントとイオナイザの焼損につながります。RGA は、次の圧力領域で、対応する時間使用できます。10-4 Torr、数時間 10-5 Torr、数日 10-6 Torr、数ヶ月 10-7 Torr、数年 10-8 Torr、無期限 有機蒸気は、フィラメントとイオナイザの煤汚染を防ぐために、大気圧の 2 倍の圧力に保つ必要があります。フィラメントとイオン化装置にガラスが付着するのを防ぐため、シリコン蒸気の圧力は大気ガスの 10 倍以上低く保つ必要があります。腐食性蒸気も通常のガスよりも RGA にダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA は高額な修理費用をかけずにこれらのガスを測定するために使用できます。* 窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu フルピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオンエネルギー、2 mA の電子放出で測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算します。

Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) キット (高圧操作用)、1-300 AMU、電子増倍管およびファラデーカップ検出器、手動可変リークバルブ、Pfeiffer HiCube 80 ECO ターボポンプステーション、AutoZ+ 基本ソフトウェア付属。ご注文前によくお読みください (こちらをクリック)。Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの特定と濃度の判定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング用途の供給ガス品質管理、プロセストラブルシューティングなどに使用できます。チャンバーに直接接続された RGA は、1×10-6 Torr 未満、最適には約 2×10-7 Torr の全圧で連続操作できるように設計されています。RGA を高圧で操作すると、イオン化装置、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短縮されます。 AnalyzaVAC の内蔵圧力ゲージは、内部および付属の AutoZ+ ソフトウェアの両方で使用され、RGA への致命的な損傷を防止します (ほとんどの場合)。中真空から大気圧のチャンバー内のガスを測定するには、RGA を専用の高真空ポンプ システムを備えた別の小さなチャンバーに配置する必要があります。次に、RGA 真空システムをリーク バルブを介してチャンバーに接続します。これにより、RGA は繊細な四重極プローブの周囲に高真空を維持しながら、メイン チャンバー内のガスをサンプリングできます。このキットには、RGA を使用して高圧でガスを測定するために必要なものがすべて含まれています。コンポーネントと機能: 理想的な真空 AnalyzaVAC RGA。1 ～ 300 AMU のスキャン範囲。電子増倍管信号増幅器。ファラデー カップ検出器。内蔵ピラニ ゲージにより、高圧での RGA のオンを防止。内蔵ホット カソード イオン ゲージにより、高真空圧力を迅速に測定。Pfeiffer HiCube 80 ECO ターボ分子ポンプ ステーション。手動の Agilent 可変リーク バルブにより、1000 Torr から高真空までのチャンバーの RGA サンプリングが可能になります。他のガス源からの測定汚染を最小限に抑えるために、全金属シールを備えた溶接マニホールド。Ideal Vacuum AutoZ+ 基本バージョン ソフトウェア。Pfeiffer HiCube 80 ECO ポンプ ステーションと手動の Agilent 可変リーク バルブを組み合わせると、少なくとも 9 桁の圧力にまたがるチャンバーの正確なガス サンプリングが可能になります。ただし、単一のアイソレーション バルブ クラック ポイントは、範囲内のすべての圧力に適しているわけではありません。最良の結果を得るには、チャンバー圧力が変更されるたびにバルブを手動でリセットする必要があります。チャンバー圧力が現在の動作圧力と比較して 1 桁以上上昇する場合 (つまり、チャンバー ベント中)、RGA とポンプ システムの損傷を防ぐために、まずリーク バルブを閉じる必要があります。チャンバーが安定した圧力に達したら、RGA イオナイザをオフにし、RGA サブシステム内の目的の圧力に達するまでバルブを再度開きます。その後、RGA イオナイザをオンに戻して測定を再開できます。圧力サイクルを通じてリークバルブを特定の亀裂点に保つために、追加の手動ベローズバルブを使用して RGA をチャンバーから分離することができます。Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA について: AnalyzaVAC は、現場で交換可能なデュアル トリウム イリジウム フィラメントによって熱電子放出される電子を使用して、プローブの先端にあるガスをイオン化することで動作します。結果として生じる陽イオンは、四重極フィルタに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心に沿って移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の自然な同位体存在比と、RGA の高エネルギー電子イオン化によって引き起こされる分子フラグメンテーションの組み合わせである、固有のスペクトル フィンガープリントを生成します。すべての AnalyzaVAC プローブにはファラデーカップ検出器が付属しており、1.5×10-12 Torr* まで繰り返し可能な定量的かつ直線性の高い検出が可能です。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異の 6×10-15 Torr* まで向上します。標準検出器と電子増倍管付き検出器はどちらも、適切に較正されていれば、ピーク高さ 10% で 0.5 AMU (またはそれ以上) の分解能を備えています。Ideal Vacuum の有効期限のない基本 AutoZ+ ソフトウェアは、デスクトップ コンピューターまたはラップトップ コンピューターから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。AutoZ+ を使用すると、オペレーターはすべての取得パラメーターを制御できます。AutoZ+ はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、ユーザーは収集したデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および経時的な傾向として表示できます。不要なピークとスペクトル寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルをデータのベースラインとして使用できます。 Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ+ ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、ライブラリへの化合物の追加機能が追加されます。プレミアム AutoZ+ は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して一般的な残留ガスの部分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへのそれらの寄与を識別し、未知のピークを分離します。プレミアム ソフトウェアは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。RGA アプリケーションの一部: リーク テスト プロセス モニタリング ポンプダウンおよびベークアウト モニタリング 真空診断 供給ガス品質管理 ガスおよび汚染物質の識別 ご注文の前によくお読みください:* AnalyzaVAC プローブは繊細な機器です。プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間の高圧での操作は、プローブを汚染して損傷する可能性があります。したがって、プローブは元のパッケージから取り出した後は保証されません。Pfeiffer HiCube 80 ECO turbo には、完全なメーカー保証が付いています。その他のコンポーネントの保証は、製品の欠陥に対してのみです。RGA の最適な総動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10-7 Torr です。可変リーク バルブとターボ ポンプ システムを使用して RGA システム内で圧力が低減されている限り、外部圧力はこれよりはるかに高くてもかまいません。RGA システム圧力を高くして長時間操作すると、プローブの早期劣化、ゲインの損失、スペクトル ドリフト、フィラメントとイオナイザの焼損につながります。RGA は、次の圧力領域で、対応する時間使用できます。10-4 Torr、数時間 10-5 Torr、数日 10-6 Torr、数ヶ月 10-7 Torr、数年 10-8 Torr、無期限 有機蒸気は、フィラメントとイオナイザの煤汚染を防ぐために、大気圧の 2 倍の圧力に保つ必要があります。フィラメントとイオン化装置にガラスが付着するのを防ぐため、シリコン蒸気の圧力は大気ガスの 10 倍以上低く保つ必要があります。腐食性蒸気も通常のガスよりも RGA にダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA は高額な修理費用をかけずにこれらのガスを測定するために使用できます。* 窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu フルピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオンエネルギー、2 mA の電子放出で測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算します。

電子増倍管なしの Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) 1-300 AMU 用の交換プローブ。このリストは、電子増倍管なしのモデル AV300、1-300 AMU Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置用の交換プローブの販売用です。これには、質量フィルターを備えたプローブ、イオナイザー アセンブリ、およびデュアル トリア コーティングされたイリジウム フィラメントが含まれています。 AnalyzaVac RGA は、異なる AMU 範囲のプローブを使用して現場でアップグレードすることはできません。また、電子増倍管なしで RGA に電子増倍管を追加することもできないことに注意してください。 AMU 範囲をアップグレードしたい場合、または電子増倍管を追加したい場合は、RGA を新しいプローブまたは増倍管とともに工場出荷時の電子アップグレードのために Ideal Vacuum に送る必要があります。オプションについては営業担当者までお問い合わせください。ご注文前に必ずお読みください:* AnalyzaVAC プローブは精密な機器です。プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間にわたる高圧での操作は、プローブを汚染したり損傷したりする可能性があります。したがって、プローブは元のパッケージから取り出した後は保証されません。 RGA の最適な全動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10-7 Torr です。高圧で長時間動作させると、プローブの早期劣化、ゲインの損失、スペクトルのドリフト、フィラメントやイオナイザーの焼損が発生します。 RGA は、以下の圧力領域で対応する期間使用できます: 10-4 Torr、数時間 10-5 Torr、数日間 10-6 Torr、数ヶ月 10-7 Torr、数年 10-8 Torr、フィラメントやイオナイザーの煤による汚染を防ぐために、有機蒸気は大気ガスの 2 分の 1 の圧力に維持する必要があります。フィラメントやイオナイザー上にガラスが蓄積するのを防ぐために、シリコン蒸気は大気ガスの少なくとも 10 倍低い圧力に保つ必要があります。腐食性の蒸気も、通常のガスよりも RGA に大きなダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA を使用して、高価な修理をすることなくこれらのガスを測定できます。

Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) 1-300 AMU 電子増倍管付き交換プローブ。このリストは、電子増倍管付き 1-300 AMU Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 AV300-EM モデルの交換プローブの販売です。質量フィルター付きプローブ、イオン化アセンブリ、デュアルトリアコーティングイリジウムフィラメント、電子増倍管が含まれます。AnalyzaVac RGA は、異なる AMU 範囲のプローブでフィールドアップグレードすることはできず、電子増倍管のない RGA に電子増倍管を追加することもできないことに注意してください。AMU 範囲をアップグレードするか、電子増倍管を追加する場合は、RGA を Ideal Vacuum に送り、新しいプローブまたは増倍管と一緒に工場の電子機器アップグレードを行う必要があります。オプションについては、営業担当者にお問い合わせください。注文する前によくお読みください:* AnalyzaVAC プローブは繊細な機器です。プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間高圧での動作は、プローブを汚染し損傷する可能性があります。したがって、元のパッケージから取り出した後は、プローブに保証はありません。 RGA の最適な総動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10-7 Torr です。長時間高圧で動作させると、プローブの早期劣化、ゲインの損失、スペクトル ドリフト、フィラメントとイオナイザの焼損につながります。 RGA は、次の圧力領域で、対応する時間使用できます。 10-4 Torr、数時間 10-5 Torr、数日 10-6 Torr、数ヶ月 10-7 Torr、数年 10-8 Torr、無期限 フィラメントとイオナイザの煤汚染を防ぐため、有機蒸気は大気圧の 2 分の 1 の圧力に保つ必要があります。フィラメントとイオン化装置にガラスが付着するのを防ぐため、シリコン蒸気の圧力は大気ガスの 10 分の 1 以上に保つ必要があります。腐食性蒸気も通常のガスよりも RGA にダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA を使用してこれらのガスを測定でき、修理に費用がかかりません。

すべての Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) 用の交換用デュアル トリア コーティング イリジウム フィラメント。このリストは、電子増倍管の有無にかかわらず、すべての Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA の交換用デュアル トリア コーティング イリジウム フィラメントの販売です。フィラメント交換手順については、AnalyzaVac RGA ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。

すべての Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) の交換用イオナイザー。このリストは、電子増倍管の有無にかかわらず、すべての Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA の交換用イオナイザーの販売用です。電子増倍管のない AnalyzaVac RGA は、電子増倍管を追加するためにフィールド アップグレードできないことに注意してください。電子増倍管を追加したい場合は、RGA を Ideal Vacuum に送って、新しい電子増倍管とともに工場出荷時の電子機器のアップグレードを行う必要があります。オプションについては営業担当者までお問い合わせください。

理想的な真空分析用の交換用電子増倍管 電子増倍管を備えた VAC 残留ガス分析装置 (RGA)。このリストは、電子増倍管を備えた Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA の交換用電子増倍管の販売用です。電子増倍管のない AnalyzaVac RGA は、電子増倍管を追加するためにフィールド アップグレードできないことに注意してください。電子増倍管を追加したい場合は、RGA を Ideal Vacuum に送って、新しい電子増倍管とともに工場出荷時の電子機器のアップグレードを行う必要があります。オプションについては営業担当者までお問い合わせください。

新しい Agilent 可変リークバルブ CF 2.75 インチ X Mini-CF 1.33 インチ。光学的に平坦なサファイアを備えた可動ピストンが含まれています。 PN: 951-5106 Agilent 可変リークバルブを任意の真空システムに追加して、調整可能なリークを確立できます。 1 秒あたり 1 x 10-10 Torr-リットルという小さなリーク率で前例のない制御感度と安定性を提供し、リークのサイズが大きくなるにつれて変化率も増加します。これにより、漏れのサイズに応じて正確に制御できます。駆動機構を含むバルブ全体は、開位置でも閉位置でも 450°C までベーキング可能です。このバルブは、大気から 10-11 Torr (mbar) 未満の真空範囲で動作でき、最大 500 psi の入口ガス圧力を備えています。バルブは密閉された漏れのない状態で出荷され、潤滑剤が塗布されており、すぐに設置できます。可変リークバルブが取り付けられるメインフランジ接続は、外径 2 3/4 インチの ConFlat フランジと嵌合します。入口ガス接続は、標準の 1 1/3 インチ Mini-ConFlat フランジを介して行われます。リーク量の調整はローレット付きノブで制御します。漏れを開くには、ローレット付きノブを反時計回りに (一緒に) 最低 2 回転回す必要があります。ハンドルに対してノブを時計回りに停止位置まで (一緒に) 回すと、バルブが閉じます。可変リークバルブには、捕捉された金属ガスケットと接触する光学的に平坦なサファイアを備えた可動ピストンが含まれています。これにより、摩擦、焼き付き、せん断のないシールが形成されます。サファイアの動きは、13,000 対 1 の機械的利点を持つねじ付きシャフトとレバーの機構によって制御されます。スプリング ワッシャーは、この駆動機構に常に負荷を与え続け、このタイプの装置に通常伴うバックラッシュを排除します。これにより、指で制御する調整ノブの小さな動きに即座に反応します。シールが作成されるたびにガスケット内である程度の永久的な圧縮が発生しますが、その変化は非常にわずかです。ノブを前の位置に戻すと、漏れ量はほぼ同じになります。シール機構の両方のコンポーネント (サファイア アセンブリとガスケット アセンブリ) は簡単に交換できます。ベーキングされていないシステムのガスケットの寿命は約 300 回のクロージャですが、ベーク済みシステムの場合はわずか 20 ～ 30 回のクロージャです。 Agilent 可変リークバルブは、特定の範囲でターボを動作させ、その圧力を維持するために正確な圧力を選択する必要があるアプリケーションに最適です。このバルブは、特定のアプリケーションのニーズに合わせて圧力選択を変更し、別の選択に簡単かつ正確に移動できるように設計されています。当社では、サファイアやガスケット アセンブリなどの交換部品を含め、このバルブの修理や調整に必要なすべてのツールを以下の関連製品セクションで提供しています。 Agilent 可変リークバルブの操作およびメンテナンス方法の詳細については、以下のマニュアルセクション (pdf) を参照してください。特長 特殊用途のバルブ用途向けに作られています 大気から 10-11 torr (10-11 mbar) 未満までの真空範囲 1 x 10-10 std cc/秒の感度を持つヘリウム質量分析計リーク検出器で検出可能なリークのないリークレート 最大流量コンダクタンス 6リットル/分450℃までベーク可能

理想的な真空スーパーシール コンフラット CF 1.33 インチ UHV 90° 直角手動ベローズ バルブ スルーホール回転可能フランジと銅製ボンネット シール。これは、入口ポートと出口ポートに Con flat CF 1.33 インチ (1-1/3 インチ) フランジを備えた手動操作の 90° 直角理想真空スーパーシール ベローズ バルブです。コンフラット フランジ付きスーパーシール バルブには、真空ラインへの最適な接続を実現する回転可能なフランジが付いています。このバルブは超高真空 (10 ～ 10 Torr) での使用に適しており、最大 60 ～ 80 psig の正圧範囲まで使用できます。これらのスーパーシール バルブのリーク率は 10 ～ 11 Torr l/s (He) です。すべての超高真空定格スーパーシール バルブは、バルブ本体と機構に 304L ステンレス鋼、ボンネット シールに OFHC 銅ガスケット、Viton® ポペット シール O リングを使用しています。これらのバルブは、低摩擦で動作し、ポリマー エラストマー表面の磨耗がゼロであるため、何千サイクルにもわたって繰り返し可能なシール動作が可能です。スーパーシールバルブは高いコンダクタンスを提供し、排気ガス流量を最大化します。これらのバルブは 150°C までベーク可能であり (バイトン O リングによって制限されます)、最大 15 psig の最大差圧に耐えることができます。どの向きでも取り付けることができます。手動操作のスーパーシール ベローズ バルブは、自動化が必要ない場合に最適なソリューションです。これらは、同様の空気圧操作のベローズ バルブよりも大幅に安価で、迅速に展開されます。手動ベローズ バルブは粗引きや高真空のフォアラインで頻繁に使用され、優れたチャンバー ベント バルブとなります。理想的な真空手動ベローズ スーパーシール バルブは、半導体製造、プラズマ物理研究、核加速器に至るまでの用途に使用されています。仕様と寸法データについてはパンフレットを参照してください。 Ideal Vacuum Super-Seal ファミリの手動操作ベローズ バルブおよびアクセサリに関する完全な情報については、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。また、自動化が必要な場合に備えて、スーパーシール ソレノイド操作の空気圧ベローズ バルブのシリーズ全体も取り揃えています。

理想的な真空スーパーシール コンフラット CF 2.75 インチ UHV 180° インライン手動ベローズ バルブ スルーホール回転可能フランジと銅製ボンネット シール。これは、入口ポートと出口ポートに Con flat CF 2.75 インチ (2-3/4 インチ) フランジを備えた手動操作の 180° インライン理想真空スーパーシール ベローズ バルブです。コンフラット フランジ付きスーパーシール バルブには、真空ラインへの最適な接続を実現する回転可能なフランジが付いています。このバルブは超高真空 (10 ～ 10 Torr) での使用に適しており、最大 60 ～ 80 psig の正圧範囲まで使用できます。これらのスーパーシール バルブのリーク率は 10 ～ 11 Torr l/s (He) です。すべての超高真空定格スーパーシール バルブは、バルブ本体と機構に 304L ステンレス鋼、ボンネット シールに OFHC 銅ガスケット、Viton® ポペット シール O リングを使用しています。これらのバルブは、低摩擦で動作し、ポリマー エラストマー表面の磨耗がゼロであるため、何千サイクルにもわたって繰り返し可能なシール動作が可能です。スーパーシールバルブは高いコンダクタンスを提供し、排気ガス流量を最大化します。これらのバルブは 150°C までベーク可能であり (バイトン O リングによって制限されます)、最大 15 psig の最大差圧に耐えることができます。どの向きでも取り付けることができます。手動操作のスーパーシール ベローズ バルブは、自動化が必要ない場合に最適なソリューションです。これらは、同様の空気圧操作のベローズ バルブよりも大幅に安価で、迅速に展開されます。手動ベローズ バルブは粗引きや高真空のフォアラインで頻繁に使用され、優れたチャンバー ベント バルブとなります。理想的な真空手動ベローズ スーパーシール バルブは、半導体製造、プラズマ物理研究、核加速器に至るまでの用途に使用されています。仕様と寸法データについてはパンフレットを参照してください。 Ideal Vacuum Super-Seal ファミリの手動操作ベローズ バルブおよびアクセサリに関する完全な情報については、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。また、自動化が必要な場合に備えて、スーパーシール ソレノイド操作の空気圧ベローズ バルブのシリーズ全体も取り揃えています。

DB9 RS-232 シールド付きシリアル延長ケーブル オス-メス、25 フィート長さ。この商品は、長さ 25 フィートの RS-232 シリアル延長ケーブルの販売です。これにより、シリアル デバイス間の距離を延長できます。コネクタは、一方の端が DB9 オス、もう一方の端が DB9 メスです。ケーブルは不要な EMI/RFI 干渉を防ぐために完全にシールドされており、コネクタは優れた張力緩和のために完全に成形されています。すべてのピンはまっすぐに配線されています。

すべての Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置 (RGA) 用の交換用電源、24 VDC、110 ～ 240 VAC 入力。このリストは、すべての Ideal Vacuum AnalyzaVac ベア RGA および手動高圧 RGA キット用の交換用 24 VDC 電源の販売を目的としています。電源にはプラグイン電源コード (付属) とセンター プラスの 5.5/2.1 mm センター プラス バレル コネクタが付いています。電源装置は 110 ～ 240 VAC 入力を受け入れます。

コンフラット フランジ (CF) フル ニップル、CF 2-3/4 インチ、長さ 7 インチ、回転可能なフランジ 1 個。 Ideal Vacuum 独自のカスタム長さのフル ニップル真空継手は、長さ 7 インチで、回転可能な 1 つのコンフラット (CF) フランジと固定された 1 つの 2-3/4 インチ コンフラット (CF) フランジを備えています。両方のフランジに貫通穴があります (穴にはねじ山はありません)。この継手は超高真空アプリケーションに使用され、Ideal Vacuum AnalyzaVac 残留ガス分析装置 (RGA) プローブを完全に覆うのに十分な長さで、プローブが真空チャンバー内に突き出たときに発生する短絡や汚染物質の堆積からプローブを保護します。このニップルは、他のメーカーの RGA でも使用できます。これらの継手は、銅製ガスケットとナイフ エッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10-13 torr (10-11 Pa) まで動作し、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、インチ単位のフランジ外径で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4½、6、8、10、 12、13¼、14、16½。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブの内径でミリメートル単位で指定されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は、耐腐食性のステンレス鋼製です。コンフラットフランジ (CF) フルニップル、CF 2-3/4 インチ、ステンレス鋼CF フランジサイズ: CF 2-3/4 インチ共通寸法: A = 7.0 インチ、B = 1.5 インチ、フランジサイズ OD = 2.75 インチ

コンフラット フランジ (CF) フレキシブル カップリング、CF 1-1/3 インチ、24 インチ ステンレス鋼継手これらのフレキシブル カップリング真空継手には、回転可能な 1 つと固定の 1-1/3 インチ コンフラット (CF) フランジが 1 つ付いています。 ConFlat (CF) フランジは超高真空用途に使用されます。これらのフィッティングは、銅ガスケットとナイフエッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで動作可能で、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径 (インチ) で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4 1/2、6、8、10、12、13 1/4、14、16 1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラット ティー、CF 1-1/3 インチ、24 インチ、ステンレス鋼CF フランジ サイズ: CF 1-1/3 インチ、24 インチ共通寸法: (A) 自由長 = 24 インチ、(B) 圧縮長さ = 22 インチ、フランジ サイズ OD = 1.33 インチ

コンフラット フランジ (CF) フレキシブル カップリング、CF 1-1/3 インチ、48 インチ ステンレス鋼継手これらのフレキシブル カップリング真空継手には、回転可能な 1 つと固定の 1-1/3 インチ コンフラット (CF) フランジが 1 つ付いています。 ConFlat (CF) フランジは超高真空用途に使用されます。これらのフィッティングは、銅ガスケットとナイフエッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで動作可能で、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径 (インチ) で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4 1/2、6、8、10、12、13 1/4、14、16 1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラット ティー、CF 1-1/3 インチ、48 インチ、ステンレス鋼CF フランジ サイズ: CF 1-1/3 インチ、48 インチ共通寸法: (A) 自由長 = 48 インチ、(B) 圧縮長さ = 46 インチ、フランジ サイズ OD = 1.33 インチ

コンフラット フランジ (CF) フレキシブル カップリング、CF 2-3/4 インチ、24 インチ ステンレス鋼継手これらのフレキシブル カップリング真空継手には、回転可能な 1 つと固定の 2-3/4 インチ コンフラット (CF) フランジが 1 つ付いています。 ConFlat (CF) フランジは超高真空用途に使用されます。これらのフィッティングは、銅ガスケットとナイフエッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで動作可能で、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジ外径 (インチ) で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4 1/2、6、8、10、12、13 1/4、14、16 1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラット ティー、CF 2-3/4 インチ、24 インチ、ステンレス鋼CF フランジ サイズ: CF 2-3/4 インチ、24 インチ共通寸法: (A) 自由長 = 24 インチ、(B) 圧縮長さ = 22 インチ、フランジ サイズ OD = 2.75 インチ

コンフラット フランジ (CF) フレキシブル カップリング、CF 2-3/4 インチ、48 インチ ステンレス鋼継手これらのフレキシブル カップリング真空継手には、回転可能な 1 つと固定の 2-3/4 インチ コンフラット (CF) フランジが 1 つ付いています。 ConFlat (CF) フランジは超高真空用途に使用されます。これらのフィッティングは、銅ガスケットとナイフエッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで動作可能で、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径 (インチ) で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4 1/2、6、8、10、12、13 1/4、14、16 1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラット ティー、CF 2-3/4 インチ、48 インチ、ステンレス鋼CF フランジ サイズ: CF 2-3/4 インチ、48 インチ共通寸法: (A) 自由長 = 48 インチ、(B) 圧縮長さ = 46 インチ、フランジ サイズ OD = 2.75 インチ

1.33 (1-1/3) インチのコンフラット クリア ボルト ホール フランジ用ボルト キット、プレートナット付き銀メッキ アレン ボルト。これらのボルト キットには、クリアランス ホール 1.33 (1) を固定するための銀メッキ 12 点ヘッド ボルト、プレートナット、およびワッシャーが含まれています。 -1/3) インチ CF コンフラット フランジ継手。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径をインチで表します: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6 、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらは、1.33 (1-1/3) インチのコンフラット クリアランス ホール フランジ接続を 1 つ固定するためのボルト、ワッシャー、およびプレートナットを備えた完全なキットです。完全なキット - 1.33 (1-1/3) インチのコンフラット クリアランス ボルト ホール ファスナー: 数量 6 、銀メッキ 8-32 x 0.75 インチ長アレンボルト 6 個、ワッシャー 3 個、プレートナット

2.75 (2-3/4) インチのコンフラット クリア ボルト ホール フランジ用ボルト キット、プレートナット付き銀メッキ 12 点ボルト。これらのボルト キットには、クリアランス ホール 2.75 ( 2-3/4) インチ CF コンフラット フランジ継手。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径をインチで表します: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6 、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらは、2.75 (2-3/4) インチのコンフラット クリアランス ホール フランジ接続を 1 つ固定するためのボルト、ワッシャー、プレートナットを備えた完全なキットです。完全なキット - 2.75 (2-3/4) インチのコンフラット クリアランス ボルト ホール ファスナー: 数量 6 、銀メッキ 1/4 x 1.25 インチ長 12 点ボルト 6 個、ワッシャー 3 個、プレートナット

4.50 (4-1/2) インチのコンフラット クリア ボルト ホール フランジ用ボルト キット、プレートナット付き銀メッキ 12 点ボルト。これらのボルト キットには、クリアランス ホール 4.50 ( 4-1/2) インチ CF コンフラット フランジ継手。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径をインチで表します: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6 、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらは、1 つのコンフラット クリアランス ホール 4.50 (4-1/2) フランジ接続を固定するためのボルト、ワッシャー、プレートナットを備えた完全なキットです。完全なキット - 4.50 (4-1/2) インチ コンフラット クリアランス ボルト ホール ファスナー: 数量 8 、銀メッキ 5/16 x 2.00 インチ長 12 点ボルト 8 個、ワッシャー 4 個、プレートナット

コンフラット フランジ 12 ポイント銀メッキ ボルト用ボックス エンド レンチ、1/4 インチ x 5/16 インチ、45 度オフセット このダブル メガネ レンチは、コンフラット 12 ポイント銀メッキ ボルトの取り付けと取り外しに最適なツールです。このレンチには 1/4 ボックス エンドが 1 つと 5/16 ボックス エンドが 1 つあり、1 つのツールで両方のサイズの 12 ポイント ボルトに対応します。 12 点の銀メッキボルトを使用する 2.125 から 10 までの透明なボルト穴を持つすべてのコンフラット フランジをこの 1 つのツールで締めたり緩めたりすることができます。この安価なレンチは、特にシステムにコンフラット フランジが含まれている場合、真空ツールボックスに必需品です。注: ツールキットにはボルトは含まれていません。シルバーメッキ12点ボルトは別売りです。ボルトは説明のみを目的としてここに示されています。

コンフラット フランジ (CFF) 銅製ガスケット CF サイズ 1-1/3" これらのコンフラット銅製コンフラット ガスケットは、1-1/3 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。コンフラット (CF) フランジは、超高真空アプリケーションに使用されます。これらの継手は、高真空シールを実現するために銅製ガスケットとナイフ エッジ フランジを使用し、10-13 torr (10-11 Pa) まで動作し、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、インチ単位のフランジ外径で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4½、6、8、10、12、13¼、14、16½。ヨーロッパとアジアでは、サイズはミリメートル単位のチューブ内径で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐腐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラットフランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 1-1/3" - 各 1 個 CF フランジ サイズ: CF 1-1/3 インチ 共通寸法: フランジ外径 (OD) 1-1/3"、ガスケット外径 (OD) 0.838"、ガスケット内径 (ID) 0.640"

コンフラット フランジ (CFF) 銅製ガスケット CF サイズ 2-3/4" これらのコンフラット銅製コンフラット ガスケットは、2-3/4 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。コンフラット (CF) フランジは、超高真空アプリケーションに使用されます。これらの継手は、銅製ガスケットとナイフ エッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10-13 torr (10-11 Pa) まで動作し、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、インチ単位のフランジ外径で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4½、6、8、10、12、13¼、14、16½。ヨーロッパとアジアでは、サイズはミリメートル単位のチューブ内径で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。真空継手は耐腐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラットフランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 2-3/4" - 1 個 CF フランジ サイズ: CF 2-3/4 インチ 共通寸法: フランジ外径 (OD) 2-3/4"、ガスケット外径 (OD) 1.895"、ガスケット内径 (ID) 1.451"

コンフラット フランジ (CFF) 銅製ガスケット CF サイズ 4-1/2" これらのコンフラット銅製コンフラット ガスケットは、4-1/2 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。コンフラット (CF) フランジは、超高真空アプリケーションに使用されます。これらの継手は、銅製ガスケットとナイフ エッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10-13 torr (10-11 Pa) まで動作し、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、インチ単位のフランジ外径で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4½、6、8、10、12、13¼、14、16½。ヨーロッパとアジアでは、サイズはミリメートル単位のチューブ内径で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐腐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラットフランジ（CF）銅ガスケットCFサイズ4-1/2インチ - 各1個CFフランジサイズ：CF 4-1/2インチ共通寸法：フランジ外径（OD）4-1/2インチ、ガスケット外径（OD）3.243インチ、ガスケット内径（ID）2.506インチ