Agilent Varian TPS モバイル システム (TwisTorr 74 FS ターボ、ISO-63K インレット フランジ、IDP-07 粗引きポンプ、モバイル カート上のラック コントローラを搭載)。 Agilent Varian 部品番号 G8701A-010-021-036-041-110-551、9698423。これらの Agilent Varian TPS モバイル システムには、排気速度 60 l/s、ISO-63K インレット フランジ、 IDP-7 ドライスクロール粗引きポンプ、および 74-FS AG ラックマウントコントローラー。これらはプラグアンドプレイであり、プラグを差し込んでポンプダウンするだけの、完全な自己完結型の超高真空ポンプ システムです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力計だけです。 CF フランジ付きの Agilent 74 FS ターボポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲の真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シールガスケットが使用され、真空チャンバが完全にクリーンでベーキングされている場合)外）。 ISO-K フランジを備えた Agilent 74 FS ターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。これらのポンプの吸気フランジ (CF フランジのみ) は、ターボが水冷されている場合、最大 100 °C までベーキングされる可能性があります。アプリケーションには以下が含まれます: UHV システムのポンプダウン イオンポンプ 荒引きランプおよびチューブ処理 クライオポンプの再生 高真空システムの操作 高真空および超高真空システムの焼き出し この Agilent Varian TPS モバイルには次のコンポーネントが含まれています: Agilent Varian 74 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、ISO-63注入口、窒素 60 l/s Agilent Varian 74 AG FS ラック コントローラ Agilent Varian ラック コントローラ用空冷ファン キット Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール ラフィング ポンプ ISO63 インレット（スクリーン付き） ホイールおよびポンプ高さ調整可能なモバイル カート付き AC 電源コード、3 メートルAgilent Varian 74 FS ターボ分子真空ポンプに関する注記これらの Agilent Varian TwisTorr 74-FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音や振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。 Agilent ターボ ポンプは、コンパクトなサイズでスペース要件が厳しい業界のニーズを満たす実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されています。これらの新しい Agilent TwisTorr 74 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要としません。 TwisTorr 74 FS ターボ ポンプの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。 Agilent Varian 74FS AG ラック コントローラに関する注意事項TwisTorr 74FS AG ラック コントローラは、より優れた制御および通信機能を可能にする新しい拡張機能を備えたマイクロプロセッサ制御の周波数コンバータです。これは、100 ～ 240 VAC の世界的な完全な互換性を実現するように設計されたコンパクトな 1/4 ラック ユニットです。このコントローラには RS 232/485 接続があり、冷却ファンに電力を供給し、ベント バルブ制御を駆動し、Agilent Varian ワイドレンジ ゲージの圧力を提供および取得し、TwisTorr 74FS シリーズ ターボ ポンプのポンプ動作パラメータを制御します。自己診断機能と保護機能も含まれています。このコントローラは、10-3 ～ 10-9 Torr まで測定する Agilent アクティブ ゲージを自動的に認識します。 TwisTorr 74 FS AG コントローラーの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。 IDP-7 ドライ スクロール ラフィング ポンプに関する注意事項新しい Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール真空ポンプは、55 dBA 未満の非常に静かな低振動動作向けに設計されており、60 Hz で 5.4 cfm (9.1 m3/h) のピーク排気速度を実現します。 、20 mTorrの到達圧力を生成します。これらの新しい Agilent IDP-07 ドライ スクロール ポンプは密閉されており、ヘリウム再循環、真空オーブン、およびバッキング ポンプのアプリケーションに適しています。密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除され、モーターとベアリングが大気圧で動作し、真空プロセスガスや水蒸気への曝露から隔離されます。 Agilent IDP-07 は、動作電圧範囲を 50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の間で簡単に切り替えられるグローバル単相モータをサポートしています。 IDP-7 の PDF ユーザー取扱説明書は、ダウンロード用に用意されています。

TwisTorr 74 FS、Conflat CFF 4.5 インチインレット、モバイル カート上のラック コントローラー付き IDP-07 ドライ スクロール ポンプを備えた Agilent Varian TPS モバイル システム。 Agilent Varian 部品番号 G8701A-010-022-036-041-110-551 これらの Agilent Varian TPS モバイル システムには、排気速度 60 l/s の Agilent 74 FS ターボ ポンプ、Conflat CF 4.50 インレット フランジ、IDP-7 が付属しています。ドライスクロール粗引きポンプ、74-FS AG ラックマウントコントローラー。これらはプラグアンドプレイであり、プラグを差し込んでポンプダウンするだけの、完全な自己完結型の超高真空ポンプ システムです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力計だけです。 CF フランジ付きの Agilent 74 FS ターボポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲の真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シールガスケットが使用され、真空チャンバが完全にクリーンでベーキングされている場合)外）。 ISO-K フランジを備えた Agilent 74 FS ターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。これらのポンプの吸気フランジ (CF フランジのみ) は、ターボが水冷されている場合、最大 100 °C までベーキングされる可能性があります。アプリケーションには以下が含まれます: UHV システムのポンプダウン イオンポンプ 荒引きランプとチューブ処理 クライオポンプの再生 高真空システムの操作 高真空および超高真空システムの焼き出し この Agilent Varian TPS モバイルには次のコンポーネントが含まれています: Agilent Varian 74 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、CF 4.50 インチ注入口、60 l/s 窒素 Agilent Varian 74 AG FS ラック コントローラ Agilent Varian ラック コントローラ用空冷ファン キット Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール ラフィング ポンプ CF 4.50 インチの注入口スクリーン 車輪と調節可能なポンプ高さ付きモバイル カート AC 電源コード、3 Agilent Varian 74 FS ターボ分子真空ポンプに関する注意事項これらの Agilent Varian TwisTorr 74-FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計など、新しく改良された性能を備えています。マッピング。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音や振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。 Agilent ターボ ポンプは、コンパクトなサイズでスペース要件が厳しい業界のニーズを満たす実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されています。これらの新しい Agilent TwisTorr 74 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要としません。 TwisTorr 74 FS ターボ ポンプの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。 Agilent Varian 74FS AG ラック コントローラに関する注意事項TwisTorr 74FS AG ラック コントローラは、より優れた制御および通信機能を可能にする新しい拡張機能を備えたマイクロプロセッサ制御の周波数コンバータです。これは、100 ～ 240 VAC の世界的な完全な互換性を実現するように設計されたコンパクトな 1/4 ラック ユニットです。このコントローラには RS 232/485 接続があり、冷却ファンに電力を供給し、ベント バルブ制御を駆動し、Agilent Varian ワイドレンジ ゲージの圧力を提供および取得し、TwisTorr 74FS シリーズ ターボ ポンプのポンプ動作パラメータを制御します。自己診断機能と保護機能も含まれています。このコントローラは、10-3 ～ 10-9 Torr まで測定する Agilent アクティブ ゲージを自動的に認識します。 TwisTorr 74 FS AG コントローラーの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。 IDP-7 ドライ スクロール ラフィング ポンプに関する注意事項新しい Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール真空ポンプは、55 dBA 未満の非常に静かな低振動動作向けに設計されており、60 Hz で 5.4 cfm (9.1 m3/h) のピーク排気速度を実現します。 、20 mTorrの到達圧力を生成します。これらの新しい Agilent IDP-07 ドライ スクロール ポンプは密閉されており、ヘリウム再循環、真空オーブン、およびバッキング ポンプのアプリケーションに適しています。密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除され、モーターとベアリングが大気圧で動作し、真空プロセスガスや水蒸気への曝露から隔離されます。 Agilent IDP-07 は、動作電圧範囲を 50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の間で簡単に切り替えられるグローバル単相モータをサポートしています。 IDP-7 の PDF ユーザー取扱説明書は、ダウンロード用に用意されています。

TwisTorr 305 FS ターボ、ISO-100 インレット、モバイル カート上のラック コントローラー付き IDP-07 ドライ スクロール ポンプを備えた Agilent Varian TPS モバイル システム。 Agilent Varian 部品番号 G8701A-011-023-036-041-110-551、9698428。これらの Agilent Varian TPS モバイル システムには、排気速度 255 l/s の Agilent 305 FS ターボ ポンプ、ISO-100K インレット フランジが付属しています。 、IDP-7 ドライスクロール粗引きポンプ、および 305-FS AG ラックマウントコントローラー。これらはプラグアンドプレイであり、プラグを差し込んでポンプダウンするだけの、完全な自己完結型の超高真空ポンプ システムです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力計だけです。 CF フランジ付きの Agilent 305 FS ターボポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲の真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シールガスケットが使用され、真空チャンバが完全にクリーンでベーキングされている場合)外）。 ISO-K フランジを備えた Agilent 305 FS ターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出により) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。これらのポンプの吸気フランジ (CF フランジのみ) は、ターボが水冷されている場合、最大 100 °C までベーキングされる可能性があります。アプリケーションには以下が含まれます。 UHV システムのポンプダウン イオンポンプ 荒引きランプおよびチューブ処理 クライオポンプの再生 高真空システムの操作 高真空および超高真空システムの焼き出し この Agilent Varian TPS モバイルには次のコンポーネントが含まれています: Agilent Varian 305 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、ISO-100インレット、255 l/s Agilent Varian 305 AG FS ラック コントローラ、PN X3506-64130 ラック コントローラ用 Agilent Varian 空冷ファン キット、PN X3500-68011 Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール ラフィング ポンプ、PN X3807-64010 ISO-100 インレットスクリーン付きセンタリングリング、部品番号 X3500-68000 車輪付きモバイルカート、ポンプ高さ調整可能 AC 電源コード、3 メートル、部品番号 9699958 Agilent Varian 305 FS ターボ分子真空ポンプに関する注意事項 これらの Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボ分子高真空ポンプには、新しい設計のラビリンス Twistor ドラッグ ステージ テクノロジーや Agilent Floating Suspension (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良されたパフォーマンス。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音や振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。 Agilent ターボ ポンプは、コンパクトなサイズでスペース要件が厳しい業界のニーズを満たす実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されています。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 FS ターボ ポンプには、メンテナンスが最小限またはまったく必要ありません。TwisTorr 305 FS ターボ ポンプの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。 Agilent Varian FS AG ラック コントローラに関する注意事項Agilent Varian ラック コントローラには RS232-485 コネクタがあり、ソリッドステート周波数コンバータであり、TwisTorr ターボ ポンプを駆動し、冷却ファンに電力を供給し、ベント バルブを駆動します。広範囲のゲージの圧力を提供および取得し、停止コマンド後の速度測定値を取得します。ラックコントローラーのPDFユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。 IDP-7 ドライ スクロール ラフィング ポンプに関する注意事項新しい Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール真空ポンプは、55 dBA 未満の非常に静かな低振動動作向けに設計されており、60 Hz で 5.4 cfm (9.1 m3/h) のピーク排気速度を実現します。 、20 mTorrの到達圧力を生成します。これらの新しい Agilent IDP-07 ドライ スクロール ポンプは密閉されており、ヘリウム再循環、真空オーブン、およびバッキング ポンプのアプリケーションに適しています。密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除され、モーターとベアリングが大気圧で動作し、真空プロセスガスや水蒸気への曝露から隔離されます。 Agilent IDP-07 は、動作電圧範囲を 50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の間で簡単に切り替えられるグローバル単相モータをサポートしています。 IDP-7 の PDF ユーザー取扱説明書は、ダウンロード用に用意されています。

Agilent Varian TPS モバイル システム (TwisTorr 305 FS ターボ、Conflat CFF 6 インチ入口インチ、モバイル カート上のラック コントローラ付き IDP-07 ドライ スクロール ポンプ)。 Agilent Varian 部品番号 G8701A-011-024-036-041-110-551。これらの Agilent Varian TPS モバイル システムには、排気速度 255 l/s の Agilent 305 FS ターボ ポンプ、Conflat CFF 6 インチ入口フランジ、IDP-7 ドライ スクロール粗引きポンプ、および 305-FS AG ラックマウント コントローラが付属しています。これらはプラグアンドプレイであり、プラグを差し込んでポンプダウンするだけの、完全な自己完結型の超高真空ポンプ システムです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力計だけです。 CF フランジ付きの Agilent 305 FS ターボポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲の真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シールガスケットが使用され、真空チャンバが完全にクリーンでベーキングされている場合)外）。 ISO-K フランジを備えた Agilent 305 FS ターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出により) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。これらのポンプの吸気フランジ (CF フランジのみ) は、ターボが水冷されている場合、最大 100 °C までベーキングされる可能性があります。アプリケーションには以下が含まれます: UHV システムのポンプダウン イオンポンプ 荒引きランプおよびチューブ処理 クライオポンプの再生 高真空システムの操作 高真空および超高真空システムの焼き出し この Agilent Varian TPS モバイルには次のコンポーネントが含まれています: Agilent Varian 305 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、CFF 6 インチインレット、255 l/s、部品番号 X3500-64001 Agilent Varian 305 AG FS ラック コントローラ、PN X3506-64002 ラック コントローラ用 Agilent Varian 空冷ファン キット、PN X3500-68011 Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール ラフィング ポンプ、PN X3807 -64010 Con flat CFF 6 インチ インレット スクリーン、部品番号 9699302 車輪付きモバイル カート、ポンプ高さ調整可能 AC 電源コード、3 メートル、部品番号 9699958 Agilent Varian 305 FS ターボ分子真空ポンプに関する注意事項これらの Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ テクノロジーや Agilent Floating Suspension (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音や振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。 Agilent ターボ ポンプは、コンパクトなサイズでスペース要件が厳しい業界のニーズを満たす実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されています。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 FS ターボ ポンプには、メンテナンスが最小限またはまったく必要ありません。TwisTorr 305 FS ターボ ポンプの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。 Agilent Varian FS AG ラック コントローラに関する注意事項Agilent Varian ラック コントローラには RS232-485 コネクタがあり、ソリッドステート周波数コンバータであり、TwisTorr ターボ ポンプを駆動し、冷却ファンに電力を供給し、ベント バルブを駆動します。広範囲のゲージの圧力を提供および取得し、停止コマンド後の速度測定値を取得します。ラックコントローラーのPDFユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。 IDP-7 ドライ スクロール ラフィング ポンプに関する注意事項新しい Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール真空ポンプは、55 dBA 未満の非常に静かな低振動動作向けに設計されており、60 Hz で 5.4 cfm (9.1 m3/h) のピーク排気速度を実現します。 、20 mTorrの到達圧力を生成します。これらの新しい Agilent IDP-07 ドライ スクロール ポンプは密閉されており、ヘリウム再循環、真空オーブン、およびバッキング ポンプのアプリケーションに適しています。密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除され、モーターとベアリングが大気圧で動作し、真空プロセスガスや水蒸気への曝露から隔離されます。 Agilent IDP-07 は、50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の間で簡単に切り替えられる動作電圧範囲のグローバル単相モータをサポートしています。 IDP-7 の PDF ユーザー取扱説明書は、ダウンロード用に用意されています。