Teledyne Hastings Instruments HVG-2020B 真空計、タッチスクリーン ディスプレイ付き、2 ma/decade、4 ~ 20 maDC ログ出力、
1/8 NPT、RS 232、USB、0.1 mTorr ~ 1000 Torr の範囲。これらの Teledyne Hastings Instruments HVG-2020B 真空計はタッチスクリーン ディスプレイを備えており、ピエゾベースのトランスデューサーと熱ベースのピラニ センサーの 2 つのセンサーを単一の小型パッケージに収めています。ピエゾは、圧力を正確に測定するために、20 Torr を超える高圧で使用されます。このセンサーは媒体から隔離されており、ガス組成にも依存しません。ピラニ センサーは、1 Torr 未満の圧力を測定する精密溶接熱線熱センサーです。周囲温度センサーにより、機器は温度を調整できるため、機器の圧力範囲 (0.1 mTorr ~ 1000 Torr) 全体で精度が向上します。 1 ~ 20 Torr の範囲では、2 つのセンサー間の加重平均が圧力の決定に使用されます。 HVG-2020B にはクロスキャリブレーション機能もあります。つまり、低圧ピラニはピエゾセンサーを定期的にゼロにすることができ、ユーザーに優れた精度性能をもたらします。
特徴- 2 つのセンサーを 1 つの小さなパッケージに収めたもの
- 範囲 0.1 mTorr ~ 1000 Torr
- 優れた精度
20 Torr ~ 1000 Torr: ±(読み取り値の 0.1% + 0.3 Torr)
1 mTorr - 20 Torr: ±(読み取り値の 5% + 0.25 mTorr)
0.2 mTorr - 1 mTorr: ±(読み取り値の 10% + 0.25 mTorr)
- タッチスクリーンディスプレイ/コントロールオプション
- オプションのリモートディスプレイと電源
- DC0~1V、DC0~5V、DC0~10V ログ&リニア
- 0 ~ 20 mA、4 ~ 20 mA ログおよびリニア
- RS232 / RS485 および USB 接続
- ステータス LED と真空 LED
- 複数のビュー
* 圧力対時間のプロット
* 棒グラフ
* セットポイントステータス
- NIST トレーサブル校正
* 証明書/データシート オプション
アプリケーション- ラフ真空モニタリング
- 真空冶金
- 半導体
- 薄膜コーティング
- 冷凍・空調
- 凍結乾燥
- 石油再処理
利点- 高い正確性
- 安定したパフォーマンス
- 低コスト
- 柔軟な I/O
- 多数のシステム接続
- 使いやすい
HVG-2020B は取り付けが簡単で、オプションのディスプレイを使用すると、ユーザーにいくつかの異なるビューや操作モードを提供できます。 「圧力対時間」モードを使用すると、ユーザーは真空システムのポンプダウン (またはベント) を監視できます。このモードでは、問題を早期に特定し、時間を節約できます。上昇率を確認することができ、チャンバーの漏れの存在を特定するのに役立ちます。システム圧力の変化を別の方法で確認したいユーザーのために、「棒グラフ」モードが提供されています。圧力が変化すると、ユーザーはバーの位置を確認することで、システム内の圧力の数値と変化率の両方を確認できます。
HVG-2020B は非常に柔軟性があり、アナログ出力とデジタル出力の両方を提供して、プロセス制御に簡単に統合できます。幅広いアナログ出力信号 (0 ~ 1 VDC、0 ~ 5 VDC、0 ~ 10 VDC、0 ~ 20 mA、および 4 ~ 20 mA) を選択できます。このため、HVG-2020B は、より高価な静電容量圧力計の代替として優れた選択肢となります。デジタル出力には、機器上部の小さなジャックを介して RS 232 および RS 485 を含めることができます。 USB接続も可能で、接続や操作が非常に簡単です。 HVG-2020B では、データロギング用のデータ収集ソフトウェアを無料でご利用いただけます。
THCD-101 とその内部 Web サーバーを含むそのすべての高度な機能が、HVG-2020B で利用できるようになりました。真空計には、1V / Decade (2 ~ 9 VDC) の対数出力の標準オプションが付いています。 THCD-101-LOG は HVG-2020B に電力を供給し、HVG-2020B の範囲に比例した出力信号を受信します。次に、出力は、Torr 単位を使用した科学表記法の画面上の圧力測定値に変換されます。また、真空レベルの上限と下限を制御するために使用できるリレーが 2 つ内蔵されています。リモート ディスプレイはパネルに取り付けたりベンチトップに置いたりすることができますが、HVG-2020B は手の届きにくい場所を含むどこにでも設置できます。