Agilent Varian TPS-Compact、TwisTorr 305FS ターボポンプ Con flat CF 6 インチ入口フランジ、IDP3 スクロールポンプ付き真空ポンプシステム、1 相、115 VAC 50/60 Hz。
Agilent Varian 製品番号 X3582-64001これらの Agilent Varian TPS-Compact は、乾式高真空ターボ分子ポンプ システムです。この TPS コンパクト TwisTorr 305 FS システム部品番号 X3582-64001 は、単相 115 VAC 50/60 Hz 用に設定されており、TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプ Con flat/CF/CFF 6 インチ入口、最大排気速度 255 l/s が付属しています。 。 TPS-Compact は、到達圧力 1x10 -11 Torr の完全ドライ高真空排気システムです。 TPS-Compact 内の補助ポンプは、60 l/min Agilent Varian IDP-3 ドライ スクロール真空ポンプです。これらの Agilent Varian TPS コンパクト システムは、オイルフリーの高性能真空ポンプであり、優れたスクロール ポンプ性能により消費電力が削減されています。 Agilent Varian TPS-Compact は、コスト効率が高く、要求の厳しいアプリケーションに対応できるように設計されています。これらのユニットは新品であり、Agilent Varian の工場保証が付いています。
オプションの Varian FRG-700 フルレンジ (アクティブ ピラニおよび反転マグネトロン ゲージ) が利用可能で、大気から 3.8x10 -9 Torr までの真空圧を測定できます。 Agilent Varian MiniTask、TPS Compact、および Agilent Varian AG ターボ ポンプ コントローラは、圧力測定値がデバイスの前面に表示される FRG-700 ゲージを制御できます。これらのゲージは、TPS-Compact ユニットの前面にある内蔵ディスプレイと連動しており、圧力の読み取り値は mbar、Torr、または Pascal で表示できます。フルレンジゲージキットも提供しています。これには、Agilent Varian FRG-700 アクティブ ピラニおよび反転マグネトロン ゲージ、ゲージ接続用のケーブル、および接続ハードウェア付き真空ティーが含まれます。
このユニットには車輪も付いています。すべての TPS-Compact ユニットは、PC 経由で T-Plus ソフトウェアで操作できます (付属しません)。 (上の中央の写真を参照)。完全な仕様書と取扱説明書は、以下から PDF 形式でダウンロードできます。