Varian 536 熱電対ゲージ チューブ センサー、1.33 CF CFF コンフラット フランジ、304L ステンレス鋼、バッフル追加付き、圧力範囲: 1 × 10-3 torr ~ 2 torr、最大ベークアウト温度: 150 °C。 Agilent Varian 部品番号 L6141304。これは、Varian 536 熱電対ゲージ チューブ センサー、1.33 CF CFF コンフラット フランジ、304L ステンレス鋼、バッフルの追加、圧力範囲: 1 × 10-3 torr ~ 2 torr、(1 x 10-3 mbar ~ 2.7 mbar) です。 )。最大ベークアウト温度: 150 °C。 536 熱電対ゲージ チューブは、要求の厳しい用途で凝縮性ガスにさらされた場合にセンサーの寿命を大幅に延長する追加のバッフルを備えた 531 の溶接 304 ステンレス鋼バージョンです。
圧力を継続的かつ再現可能に表示します。熱電対とヒーターは貴金属であり、汚染物質によるゲージの性能への影響を最小限に抑えます。熱電対ゲージにはさまざまなフランジ コネクタが付属しており、Varian Agilent XGS-600 ゲージ コントローラと簡単に接続して、複雑な真空システムに統合したり、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用したりできます。注: XGS-600 デュアル対流熱電対カードには 2 つの D-Bus コネクタがあります。 D-Bus コネクタごとに使用できる熱電対ゲージは 1 つだけです。 Y コネクタ I/O ケーブルは使用できません。
以下のコントローラーで使用できます。
- Varian マルチゲージ コントローラー
- Varian Senn Torr ゲージ コントローラー
- Varian XGS 600 ゲージ コントローラー
これは個別のゲージのみであり、ケーブルとコントローラーはこの Web サイトで入手できます。スペック シートおよびその他の情報は、以下の (利用可能なダウンロード) から PDF 形式でダウンロードできます。 Agilent Varian 部品番号 L6141304。