Varian Agilent UHV-24 ヌード ベヤード アルパート イオン化ゲージ、オープン ゲージ、デュアル トリア イリジウム フィラメント、2.75 インチ CFF ConFlat フランジ、1×10-3 ~ 2×10-11 Torr 圧力範囲、最大ベークアウト温度: 450 °C Varian Agilent UHV-24 ヌード ベヤード アルパート イオン化ゲージは、広範囲の動作圧力能力を備えた頑丈なオープン ゲージで、トリア コーティングされたイリジウム フィラメント、2.75 ConFlat フランジ、1×10-3 ~ 2×10-11 Torr の圧力範囲を備えています。 、最大ベークアウト温度: 450 °C。
UHV-24 ヌード イオン化ゲージは、X 線制限が 2x10-11 Torr で、1 mTorr から 2x10-10 Torr までの信頼性の高い圧力測定を提供しますが、2x10-10 Torr より低い圧力では性能が低下します。 UHV-24p ヌードイオン化ゲージは、X 線の限界を 5x10-12 Torr に下げる非常に薄いコレクタを利用しています。その結果、1m Torr から 5x10-11 Torr までの圧力を測定できますが、5x10-11 Torr より低い圧力では性能が低下します。
グリッド構造が真空チャンバー内に突き出ている適切に取り付けられたヌード ゲージでは、局所真空圧力がチャンバー圧力と同じであるという点で誤差が最も低くなります。フィラメントは現場で交換可能です。ヌード ゲージは、真空に最大限にさらすことで可能な限り最高の精度が得られる、ベーキング可能な全金属製の超高真空システムに推奨されます。 UHV-24 イオン ゲージは、Varian の XGS-600 ゲージ コントローラーと簡単に接続でき、さまざまな真空システムに統合したり、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用したりできます。完全な操作手順については、(利用可能なダウンロード:) までスクロールダウンし、取扱説明書、スペックシート、およびその他の関連情報の PDF をダウンロードしてください。 Agilent Varian 部品番号 X3004-64401。廃止された部品番号 9715007 に代わるものです。
通常、次のもので動作します。- グランビル フィリップス モデル: 260、270、280、303、306、307、330、340、350 など。
- MKS インスツルメンツ モデル: 290、919、929
- パーキン エルマー モデル: DGC3
- Varian モデル: 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 571 チューブ K2471301、XGS-600
- Veeco モデル: RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002