MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 20 ~ 1000 sccm、15 ピン D-サブミニチュア コネクタ、4 VCR オス。
MKS 部品番号: GM50A013103RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 1000 sccm、制御範囲は 20 ~ 1000 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ~ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。
マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。
Swagelok、VCR-TM Swagelok Company