MKS Instruments FLG、KF16、MKS#112874-P1 TYPE300, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー, PN 112874-P1
これら MKS Instruments FLG、KF16、MKS#112874-P1 TYPE300 部品番号がある 112874-P1, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 1179 は、さまざまな用途でガスの流れを測定および制御するように設計された汎用マスフロー コントローラーです。 1170 Mass-Flo コントローラは、10 sccm ~ 20 slm のフルスケール範囲で利用可能で、最低 0.2 sccm までの高速で再現可能な流量制御を提供します。適切な圧力トランスデューサーに接続すると、圧力コントローラーとしても使用できます。 1179C は、現在市場にある最も一般的な MFC の機能を直接置き換えるものです。標準の 3 インチの設置面積により、1179C は既存のガス ラインを変更せずに同じスペースに直接設置できます。電気コネクタは、業界の同等品と同じピン配置、信号、機能を備えた同じタイプ「D」コネクタであるため、ケーブルやコネクタは必要ありません。 1179C は、MKS または他のメーカーの MFC 電源およびディスプレイ電子機器と互換性があります。
これらに関する詳細情報MKS Instruments FLG、KF16、MKS#112874-P1 TYPE300 以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 112874-P1.
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