Pfeiffer Vacuum 修理キット、小さな部品, 残留ガス分析計, 残留ガス分析計,  PN  PT 163 544

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ファイファー プリマプロ QMG 250

ファラデー検出器を備えたファイファー真空四重極質量分析計は、高真空チャンバー内のガス組成の定性分析に適したデバイスです。真空計と比較して、四重極質量分析計は真空に関するより豊富な情報を提供します。多くの場合、高真空下での漏れ、水蒸気の放出、または炭化水素による汚染に関する情報を取得するには、ファラデー検出器で十分です。この目的のために、Pfeiffer Vacuum は、さまざまな質量範囲とフィラメント材料を備えた一連の四重極質量分析計を提供しています。

質量分析計によってガス成分の質量電荷比が得られるイオン電流は、セットアップ後の気密性や汚染の有無の判断、あるいはその特性評価など、動作の複数の段階における真空システムに関する有意義な情報を提供します。真空プロセスを操作するとき。

真空チャンバーとポンプ システムの設計に基づいて真空システム内で達成できる圧力範囲によって、検出器に対する質量分析計の選択が決まります。高真空ではファラデー検出器で十分な場合が多いですが、超高真空では非常に低いガス密度を検出するには二次電子増倍管が必要です。

もう 1 つの重要な基準は、検出される質量範囲です。従来の真空システムでは、窒素、酸素、アルゴン、水蒸気などの雰囲気ガス、および一般に軽質炭化水素による汚染が主な焦点となります。これらのガスを検出するには、1 ～ 100 原子質量単位 (u) の範囲に対応する四重極質量分析計が理想的です。これは、この範囲で優れた質量分離を示すためです。長鎖炭化水素など、より重いガスとその成分も検出する必要がある場合、Pfeiffer Vacuum では、この目的のために 1 ～ 200 u または 1 ～ 300 u の質量フィルターも提供しています。

オープン イオン源は、堅牢な設計と高い検出感度を兼ね備えているため、残留ガス分析のほとんどのタスクに最適です。ガスジェットまたはガスストリームを分析する必要があるタスクは、クローズドまたはクロスビームイオン源を使用して有利に実行できます。超高真空領域では、ガス放出率が極めて低いグリッドイオン源も利用できます。 Pfeiffer Vacuum 四重極質量分析計は、多数のコンポーネントから選択できるため、正確に構成できるため、すべての測定タスクに対して分光計を最適に選択できます。長年の経験を持つ当社の製品およびアプリケーションのスペシャリストが、適切な残留ガス分析装置の構成について喜んでアドバイスさせていただきます。

ファイファー高圧分析装置 HPA 220

ファイファー真空高圧分析装置 HPA 220 は、最大 37 Torr (50 hPa) の圧力までの真空中でのガス分析用のドライ ターボ ポンプ ステーションを備えたモジュール式で柔軟に使用できる質量分析計システムです。ファイファー真空 HPA 220 では、用途に応じて、5 つの異なる電空式および手動操作可能なガス入口バルブを選択できます。これにより、プロセスガス中の最小の不純物さえも反応性ガスによって検出できるようになります。また、分析チャンバーからの逆拡散による測定値の改ざんも効果的に防止します。

Pfeiffer 真空 SPM 220 スパッタ プロセス モニター

ファイファー真空スパッタ プロセス モニター SPM 220 は、スパッタ プロセスの定性的および定量的ガス分析に最適なソリューションを提供します。 Pfeiffer Vacuum HiPace ターボ ポンプ ステーションと質量分析計システムを特別に開発された SPM イオン源と組み合わせることで、最大 7.4 mTorr (10-2 hPa) の圧力までの正確な最新のプロセス ガス分析が可能になります。

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