MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 0.4 ~ 20 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR オス。
MKS 部品番号: GM50A013201RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、フルスケール流量範囲 20 sccm、制御範囲 0.4 ~ 20 sccm を備え、N2 または同等のものを制御するように構成できます。これには、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア アナログ コネクタ、0 ~ 5 VDC フロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングが備えられています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。
マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。
Swagelok、VCR-TM Swagelok Company