MKS Instruments MFC、N2、500 SCCM、ETHERCAT、NC テフロン、LTMA52CC18MX20, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー,  PN  GM51A013502C8M0020

これら MKS Instruments MFC、N2、500 SCCM、ETHERCAT、NC テフロン、LTMA52CC18MX20  部品番号がある GM51A013502C8M0020, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 GE250A および GE300A マスフロー コントローラは、汎用のエラストマー シール付き MGC で、さまざまな用途に適しています。 GE250A の範囲は 100 ～ 250 slm (N2 換算)、GE300A の範囲は 150 ～ 300 slm (N2 換算) です。どちらも、ガス用の最新の制御アルゴリズムと設定値に対する再現可能な応答を利用したアナログ I/O またはデジタル I/O で利用できます。 1 ～ 2 秒の整定時間と設定値の 1% 未満の設定値精度は、一般的な高流量質量コントローラを上回ります。正確な制御は、設定されたフルスケール流量範囲の 2% まで維持されます。マルチガス/マルチレンジ機能と精度、制御範囲、過渡応答の性能仕様により、フローコントローラーの在庫要件が最小限に抑えられます。マルチガス/マルチレンジ機能およびその他のカスタム制御には、内蔵診断インターフェイスを通じてアクセスできます。必要なツールは、標準のイーサネット ケーブルと JAVA 対応の HTML ブラウザだけです。一般的な高流量ガスの重要なガスパラメータは、すでに MFC に保存されています。ドロップダウン メニューからガスを選択し、希望のフルスケール流量範囲を指定して、G シリーズ マスフロー コントローラを設定します。 G シリーズ MFC 診断インターフェイスを使用して、日常的なデバイスの健全性チェックを実行し、流量応答をプロットし、オフライン分析用に動作データを保存します。

これらに関する詳細情報MKS Instruments MFC、N2、500 SCCM、ETHERCAT、NC テフロン、LTMA52CC18MX20  以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 GM51A013502C8M0020.