MKS Instruments 圧力システム, 上流バルブおよび圧力コントローラー, 上流バルブおよび圧力コントローラー, PN K10002
これら MKS Instruments 圧力システム 部品番号がある K10002, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 245 バルブは、Grainville-Philips シリーズ 216 全金属製のベーク可能な制御バルブの改良版です。 245 バルブは、10-11 から 6000 Torr までの圧力を制御でき、最大スループットは 2500 Torr-リットル/秒 (200 slm) です。このバルブは、他のバルブの使用を妨げる多くの腐食性ガスで使用できます。バルブ ドライバー アセンブリを取り外した状態で、UHV 用途向けにバルブを 450°C までベークすることができます。タイプ 245 の駆動に使用されるステッピング モーターは、圧力または設定値の変化に数分の一で応答することができ、バルブを完全に閉じた位置から完全に開いた位置までわずか 15 秒で駆動します。 Type 244 コントローラーによってシステムが完成します。 244/245 圧力/流量制御システムは、広範囲の圧力または流量制御のために全金属製のベーク可能な制御バルブを必要とする真空プロセスに使用する閉ループ フィードバック制御システムです。 244/345 システムは、制御モジュールとサーボ制御リークバルブで構成され、スパッタリング、スパッタエッチング、イオン源制御、イオン注入、真空計校正などの単一ガスプロセスに最適です。
これらに関する詳細情報MKS Instruments 圧力システム 以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 K10002.
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