Ebara ESR20N S2 多段ドライ真空ポンプ、排気速度 45 ~ 70 CFM (1300 ~ 2000 l/m)、KF-40、クリーンから中程度の負荷のプロセス、水冷式、3 相、200 ~ 220 V、60 Hz。
荏原部品番号:202093。 Ebara ESR シリーズ (省エネルーツ) は、クリーンから中程度の負荷のプロセスまで幅広い用途向けに設計された多段ドライ真空ポンプです。Ebara ESR シリーズは、45 ~ 706 CFM の幅広いポンピング速度範囲をカバーし、到達圧力は 1.5 mTorr まで下がります。このリストは、Ebara ESR20N S2 多段ドライ真空ポンプ、クリーンから中程度の負荷のプロセス、水冷式、200 ~ 220V / 3Ph、Ebara 部品番号: 202093 の販売です。
アプリケーション
- スパッタリング
- PVD
- ロードロックと転送
- 灰化
- イオン注入装置
- エッチング
- クリーンガスとプロセス
荏原 EV-A シリーズドライロータリーローブポンプの利点と特徴。
- 所有コストの低さ [電力、S2、水、設置面積、容積、重量]
- クリーンアプリケーションではESR20Nに窒素パージは不要
- アプリケーション要件に合わせて可変ポンピング速度
- 高性能ブラシレスDCモーター
- 最先端の制御および監視デバイス
- アイドルモードを使用すると、ユーティリティの節約を増やすことができます。
- SEMI S2 評価、NRTL 登録、CE マーク