Agilent IDP-15 密閉型ドライスクロール真空ポンプ、115 ～ 230VAC。 PN: X3815-64000 Agilent Varian IDP-15 ドライ スクロール真空ポンプは、50 dBA 未満の極めて静かな低振動動作向けに設計されており、60 Hz で 9.4 cfm (15.4 m3/h) のピーク排気速度を実現し、究極の真空ポンプを生成します。 10mTorrの圧力。これらの新しい Agilent IDP-15 ドライ スクロール ポンプは密封されており、希ガスおよびヘリウム 3He 再循環アプリケーションに適しています。真空スペースがモーターやベアリングから完全に隔離された気密設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除されます。 IDP-15 のこれらの重要な設計要素により、モーターとベアリングが大気圧で動作することが可能になり、アプリケーションからの真空プロセスガスや水蒸気にさらされることがなくなります。 Agilent IDP-15 は、50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の動作電圧範囲に対応するグローバル単相モータをサポートしており、高電圧と低電圧の使用を切り替えるための簡単にアクセスできるシンプルなスイッチが組み込まれています。この IDP-15 モデル (Agilent テクノロジー部品番号 X3815-64000) には、統合型入口遮断バルブは含まれていません。ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプは、ドライバッキングポンプ技術と組み合わせて使用されることが増えています。スクロール技術に基づくポンプは、ターボ分子高真空ポンプを支援するために最適なドライポンプ技術となっています。これらの Agilent Varian IDP-15 スクロール テクノロジーがドライ ポンプの優れた選択肢となる理由には、クリーンで予測可能なパフォーマンス、低い振動と騒音、長い耐用年数などのいくつかの要因があります。最新の Agilent IDP-15 スクロール テクノロジーはスムーズな軌道動作に基づいており、ガスの圧縮と排出の真空ポンプ サイクルは最小限の脈動と非常に低い振動で発生します。アプリケーションによっては、振動が何らかの悪影響を及ぼす可能性があり、防振装置などの追加コンポーネントの使用につながる場合があります。新しい Agilent IDP-15 は、振動が要因となるさまざまなアプリケーションに最適なドライ ポンプです。現在のスクロール技術とチップシール設計は、低いベース圧力を提供し、耐用年数にわたって徐々にベース圧力を増加させるために連携して機能する要素です。このベース圧力の段階的な増加により、真空が許容できなくなる前にメンテナンスを行うことができ、予定外のダウンタイムが削減されます。 Agilent IDP-15 のような一般的なスクロール ポンプは、10 mTorr のベース圧力を達成します。これらの Agilent IDP-15 ドライ スクロール ポンプは、ネストされたスクロールの 1 つがもう 1 つのスクロールの周囲を周回するシンプルなデュアル スクロール メカニズムを使用して真空を生成し、捕捉されたガスの移動ゾーンを作成します。ガスは外周に設置されたスクロールに入り、ハブの中心に向かって移動および圧縮され、そこで排出されます。単純なデュアル スクロール設計は、騒音と振動のレベルが低いこと、メンテナンスが簡単で頻度が低いこと、致命的な故障モードがなくなることなど、多くの利点をもたらします。これらの新しい Agilent Technologies IDP-15 には、チップ シールの寿命とサービス間隔を延長するために改良されたソリッド チップ シールが含まれています。固体チップシール材料は、凝縮性蒸気用途に優れた性能を発揮します。 IDP-15のチップシールの交換がこれまでより簡単になりました。必要なのは、簡単な工具、マイナス ドライバー、4 mm および 5 mm の六角レンチ、イソプロピル アルコール、糸くずの出ないワイプ、チップ シール キット部品番号 X3815-67000 だけです。チップシールの交換手順は取扱説明書の24～30ページをご覧ください。新しい Agilent IDP-15 密閉型ドライ スクロール真空ポンプの PDF 形式の取扱説明書とパンフレットは、以下のダウンロード セクションからダウンロードできます。

Agilent IDP-15 密閉型ドライスクロール真空ポンプ、115 ～ 230VAC、一体型絶縁バルブ付き。 PN: X3815-64010 Agilent Varian IDP-15 ドライ スクロール真空ポンプは、50 dBA 未満の極めて静かな動作と低振動動作を実現するように設計されており、60 Hz で 9.4 cfm (15.4 m3/h) のピーク排気速度を実現し、究極の真空ポンプを生成します。 10mTorrの圧力。これらの新しい Agilent IDP-15 ドライ スクロール ポンプは密封されており、希ガスおよびヘリウム 3He 再循環アプリケーションに適しています。真空スペースがモーターやベアリングから完全に隔離された気密設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除されます。 IDP-15 のこれらの重要な設計要素により、モーターとベアリングが大気圧で動作することが可能になり、アプリケーションからの真空プロセスガスや水蒸気にさらされることがなくなります。 Agilent IDP-15 は、50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の動作電圧範囲に対応するグローバル単相モータをサポートしており、高電圧と低電圧の使用を切り替えるための簡単にアクセスできるシンプルなスイッチが組み込まれています。この IDP-15 モデル (Agilent テクノロジー部品番号 X3815-64010) には、統合型入口遮断バルブが含まれています。隔離バルブはモジュール内に取り付けられているため、ポンプ入口に高さが追加されません。 IDP-15 の電源が失われたときに、スクロール ポンプ入口を通る空気の逆方向の移動を防ぎます。この隔離バルブは、システムの電源喪失時に顧客のチャンバーまたは機器が突然排気されるのを防ぎます。遮断弁機構には、入口弁を通常は閉じた状態に保持するバネが組み込まれています。ポンプ内のより低い圧力は、スプリングを圧縮し、入口隔離バルブを開いた状態に保つために使用されます。電力損失が発生すると、ソレノイド バルブが開き、真空ポンプが排気され、入口隔離バルブが閉じます。閉じる時間は通常 20 ミリ秒です。電源が復旧すると、電磁弁が閉じて真空ポンプ内部の真空排気が始まり、約 10 秒後に入口隔離弁が開きます。ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプは、ドライバッキングポンプ技術と組み合わせて使用されることが増えています。スクロール技術に基づくポンプは、ターボ分子高真空ポンプを支援するために最適なドライポンプ技術となっています。これらの Agilent Varian IDP-15 スクロール テクノロジーがドライ ポンプの優れた選択肢となる理由には、クリーンで予測可能なパフォーマンス、低い振動と騒音、長い耐用年数などのいくつかの要因があります。最新の Agilent IDP-15 スクロール テクノロジーはスムーズな軌道動作に基づいており、ガスの圧縮と排出の真空ポンプ サイクルは最小限の脈動と非常に低い振動で発生します。アプリケーションによっては、振動が何らかの悪影響を及ぼす可能性があり、防振装置などの追加コンポーネントの使用につながる場合があります。新しい Agilent IDP-15 は、振動が要因となるさまざまなアプリケーションに最適なドライ ポンプです。現在のスクロール技術とチップシール設計は、低いベース圧力を提供し、耐用年数にわたって徐々にベース圧力を増加させるために連携して機能する要素です。このベース圧力の段階的な増加により、真空が許容できなくなる前にメンテナンスを行うことができ、予定外のダウンタイムが削減されます。 Agilent IDP-15 のような一般的なスクロール ポンプは、10 mTorr のベース圧力を達成します。これらの Agilent IDP-15 ドライ スクロール ポンプは、ネストされたスクロールの 1 つがもう 1 つのスクロールの周囲を周回するシンプルなデュアル スクロール メカニズムを使用して真空を生成し、捕捉されたガスの移動ゾーンを作成します。ガスは外周に設置されたスクロールに入り、ハブの中心に向かって移動および圧縮され、そこで排出されます。単純なデュアル スクロール設計は、騒音と振動のレベルが低いこと、メンテナンスが簡単で頻度が低いこと、致命的な故障モードがなくなることなど、多くの利点をもたらします。これらの新しい Agilent Technologies IDP-15 には、チップ シールの寿命とサービス間隔を延長するために改良されたソリッド チップ シールが含まれています。固体チップシール材料は、凝縮性蒸気用途に優れた性能を発揮します。 IDP-15のチップシール交換がこれまでより簡単になりました。必要なのは、簡単な工具、マイナス ドライバー、4 mm および 5 mm の六角レンチ、イソプロピル アルコール、糸くずの出ないワイプ、チップ シール キット部品番号 X3815-67000 だけです。チップシールの交換手順は取扱説明書の24～30ページをご覧ください。新しい Agilent IDP-15 密閉型ドライ スクロール真空ポンプの PDF 形式の取扱説明書とパンフレットは、以下のダウンロード セクションからダウンロードできます。

Agilent Varian 真空ポンプおよびコントローラの AC 電源ケーブル、115 VAC。 PN: 9499397。これは、Agilent Varian 真空装置用の AC 電源ケーブル、115 VAC、長さ 2 メートル、Agilent 部品番号 9499397 です。多くの Agilent Varian 真空ポンプおよび圧力計コントローラで動作します。多くの Agilent 真空ポンプで動作します: DS 102 ロータリー ベーン ポンプ DS 202 ロータリー ベーン ポンプ DS 302 ロータリー ベーン ポンプ DS 402 ロータリー ベーン ポンプ DS 602 ロータリー ベーン ポンプ IDP-3 ドライ スクロール ポンプ IDP-7 ドライ スクロール ポンプ IDP-10 ドライ スクロール ポンプIDP-15 ドライスクロールポンプ

Agilent Varian IDP-15 ドライ スクロール真空ポンプ チップ シール交換キット。部品番号 X3815-67000 これらの再構築キットは、Agilent IDP-15 ドライ スクロール真空ポンプのメンテナンス中に使用されます。 Agilent IDP-15 ポンプは、メンテナンス手順と間隔を守れば、長年にわたりトラブルのないサービスを提供します。ポンプのベース圧力が用途にとって許容できないほど高いレベルに上昇した場合は、クリーニングとチップシールの交換をお勧めします。ポンプでベアリングからうなり音や摩擦音が発生する場合は、Agilent 担当者または認定リビルトセンターが大規模なオーバーホールを行う必要があります。 IDP-15 のチップ シール交換に必要な部品は、説明されているとおりこのキットで入手できます。交換用チップシール、Oリング、グリス。新しい Agilent IDP-15 密閉型ドライ スクロール真空ポンプの PDF 形式の取扱説明書とパンフレットは、以下のダウンロード セクションからダウンロードできます (チップ シールの交換に関する注意事項については、取扱説明書の 24 ページを参照してください)。 IDP-15 はこれまでよりも簡単です。必要なのは、簡単な工具、マイナス ドライバー、4 mm および 5 mm の六角レンチ、イソプロピル アルコール、糸くずの出ないワイプ、およびこのチップ シール キット部品番号 X3815-67000 だけです。チップシールの交換手順は取扱説明書の24～30ページをご覧ください。

最大 18 CFM の KF16 ロータリー ベーン真空ポンプ入口用フォアライン トラップ。このフォアライン トラップ NW16、KF-16 は、汚染物質がポンプ入口に入るのを防ぎ、ポンプ流体または微粒子の移動からシステムを保護します。(逆流) このトラップは、ポンプの寿命を延ばし、メンテナンス コストを削減し、システムのダウンタイムを防ぐのに役立ちます。耐久性のある耐腐食性ニッケル クロム仕上げで作られており、ガス放出を防ぎます。交換可能なフィルター メディアはこのフォアライン トラップには含まれていませんが、この Web サイトから入手できます。フィルター メディアのオプションには、活性アルミナ、ステンレス スチール ワイヤー メッシュ、活性炭粒子、ポリエステル メディアがあります。一般的な寸法と仕様: 真空ポンプ KF-16、NW16 入口および最大 18 CFM のポンピング速度で使用します。A = 4"、B = 2-3/16"、C = 3-3/4"

最大 18 CFM までの入口 KF25 ロータリー ベーン真空ポンプ用のフォアライン トラップ。このフォアライン トラップ NW25 KF25 は、汚染物質がポンプ入口に侵入するのを防ぎ、ポンプ流体や粒子の移動からシステムを保護します。 (逆流) このトラップはポンプの寿命を延ばし、メンテナンスコストを削減し、システムのダウンタイムの防止に役立ちます。ガスの発生を防ぐ耐久性のある耐腐食性ニッケルクロム仕上げで作られています。交換可能なフィルター メディアはこのフォアライン トラップには含まれていませんが、この Web サイトから入手できます。フィルターメディアのオプションには、活性アルミナ、ステンレス鋼ワイヤーメッシュ、活性炭顆粒、ポリエステルメディアが含まれます。共通の寸法と仕様: 真空ポンプ KF25 NW25 インレットおよび最大 18 CFM の排気速度と併用します。 A= 4" B= 2-3/16" C= 3-3/4"

フォアライン トラップ KF-16 (P1013392) および KF-25 (P101861) 用フィルターメディア活性アルミナ。この活性アルミナ媒体は、当サイトで販売しているフォアライントラップ KF-16 (P1013392) および KF-25 (P101861) 用です。この活性アルミナ媒体は寿命が長く、逆流の防止と水と酸の蒸気の捕捉に非常に効果的です。 (ルイス酸、極性化合物、その他の酸)

ドライ スクロール ポンプまたはロータリー ローブ真空ポンプ用排気サイレンサー、流量最大 11 CFM、KF25 フランジこれらのサイレンサーは、家庭用排気システムに接続されていないドライ スクロール ポンプおよびドライ ロータリー ローブ真空ポンプで使用します。 Edwards XDS5、XDS10、Varian Agilent Tri Scroll 300、SH100、SH110、Kashiyama Neo Dry 15C、Alcatel ACP 15、ACP 15G など。これらは、排気が室内に排出されるクリーン ドライ エア (CDA) 真空ポンプ用途向けに設計されています。ドライポンプの排気音を大幅に静音化し、交換可能な内部フィルター媒体が付属しています。これらの媒体フィルターは、ドライ スクロール ポンプで生成されるチップ シールの粉塵を捕捉するための排気濾過を提供します。これらの排気サイレンサーは、NW-25 (KF-25) 真空フランジを備えた機器で、最大 11 CFM の使用に耐えます。 KF25 真空クランプとセンタリングリングが付属しており、取り付けが簡単です。中にはペーパーフィルターエレメントも入っています。交換用のペーパーフィルターエレメントはこの Web サイトから入手できます。

ドライポンプ排気サイレンサーキット用濾紙エレメント、PN P103343、P103342、P102553、A50597000Edwards XDS5、XDS10、Varian Agilent Tri Scroll 300、SH100、SH110、Kashiyama Neo Dry 15C Ebara EV-A03で使用。これは乾式用の交換用濾紙エレメントです。排気サイレンサーキット付きポンプ、PN P103343、P103342、P102553、A50597000、これは濾紙エレメントのみです。完全な排気サイリンサーフィルターシステムは個別に提供されます。

理想的な真空 XactGauge 対流強化型ピラニ ゲージ キット、XGC-320 コントローラー、XGC-321 KF-25 ゲージ、10 フィートのセンサー ケーブル、PS、2 セット ポイント コンプリート キットの内容: XactGauge XGC-320 対流強化型コントローラー、XGC-321 KF-25 センサー ゲージ、3 m (10 フィート) センサー ケーブルおよび電源。特徴: ピラニ型熱伝導率ゲージの安価なソリューション 8 つの異なるフランジ サイズで利用可能な対流強化ピラニ センサー ゲージ 1x10-4 から 1000 Torr までの正確な圧力測定 コンパクトな 1/8-DIN パッケージはベンチまたは計器パネルのカットアウトにフィット 明るく、簡単読み取り可能な 4 桁 OLED ディスプレイ 校正およびパラメータ調整のための直観的なフロント パネル コントロール Torr、mBar、Pa 単位間の素早い切り替え シリアル RS232/RS485 DB9 I/O インターフェイス（リモート制御用） 2 つの設定値 4 つのアナログ出力 Granville-Phillips® 275 と互換性ありConvectron® および Inficon PGE050 ピラニ ゲージ 強化されたセンサーとケーブル。理想的な真空 XactGauge XGC-320 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラは、使いやすさとシステム統合のための追加機能を備えた、ピラニ タイプの熱伝導率ゲージを簡単に読み出すための安価なソリューションです。当社の 8 つの XactGauge 強化型ピラニ センサー ゲージのいずれかと併用すると、1x10-4 ～ 1000 Torr の範囲の正確な圧力測定値が得られます。当社の XactGauge XGC-320 コントローラは、コンパクトな 1/8 DIN エンクロージャに収納されており、ベンチトップで使用したり、計器パネルのカットアウトに取り付けたりすることができます。明るい OLED 4 桁ディスプレイは読みやすいです。直感的なフロントパネルコントロールにより、ゲージの直接校正と真空測定パラメータの簡単な調整が可能です。 XactGauge XGC-320 対流強化ピラニ ゲージ コントローラーは、ユーザーが供給した 12 ～ 28 VDC、2 W、または当社の XactGauge 強化ピラニ コントローラー電源によって電力を供給されます。 XGC-320 コントローラには、シリアル RS232/RS485 (DB-9) リモート I/O インターフェイス、2 つのセットポイント、および 4 つのアナログ リレー出力があり、それぞれの定格は 30 VDC で 1 A です。この XGC-320 コントローラは、Granville-Phillips® 275 Convectron® や Inficon PGE050 Pirani Gauge Enhanced など、他のメーカーのピラニ タイプのゲージおよびケーブルと互換性があります。熱伝導率ゲージは、センサーから周囲のガスへの熱の損失を感知することにより、間接的に圧力を測定します。ガスの圧力が高くなるほど、より多くの熱がセンサーから奪われます。ピラニ熱伝導率ゲージは、センサー (通常はワイヤー) を一定の温度に維持し、その温度を維持するために必要な電流または電力を測定します。標準的なピラニゲージの有用な測定範囲は、約 10-4 Torr ～ 10 Torr です。対流強化ピラニゲージは、センサー内の対流を利用して、圧力測定範囲を大気のすぐ上まで拡張します。 XactGauge は工場で窒素 (N2) ガスを使用して校正された状態で提供されます。窒素/空気以外のガスを測定する場合、特に 1 Torr を超える圧力では、窒素と使用するガスの熱伝導率の差を正確に補正する必要があります。爆発性ガス、腐食性ガス、有毒ガスには使用しないでください。