エバラ EV-SA20-2 空冷ドライ真空ポンプ 単相 200-240 VAC、60 cfm、上部排気荏原部品番号 202590 これらのエバラ EV-SA 20 シリーズ ドライ ロータリー ローブ真空ポンプは空冷式で、軽負荷ドライ用に設計されています。真空アプリケーション。 EV-SA 20 ポンプ ドライ ポンプは、60 cfm (2000 L/分) という大きなポンピング速度を備え、KF-40 吸気口および排気ポートを備え、動作騒音レベル 56 dB (A) で非常に静かに動作し、到達圧力が高くなります。のガスバラストは 22.5 mTorr (ガスバラストがオンの場合は 37.5 mTorr) です。到達圧力でわずか 1.1 kW という低い動作消費電力でコストを節約します。このユニットには荏原参照番号 EV-SA20-2 があり、垂直排気方向、外部サイレンサと逆止弁、単相 200 ～ 240 VAC で動作、オプションのガスバラスト用ポートなどの標準付属品が含まれており、荏原モデルが付いています。 EV-SA20-2 および部品番号 202590。荏原 EV-SA 20 ドライ ポンプには、完全にクリーンなドライ真空を実現する多段ルーツ粗引きポンプ技術が採用されており、5 つの内部ポンピング ステージが含まれています。ポンプは、ガスを入口から出口排気ポートに移送しながら、所定のクリアランスを維持するために同期して回転する一対のハイブリッド ルートで動作します。潤滑油を使用するローターの反対側には歯車が取り付けられています。これらはドライ真空ポンプであり、オイルはポンプの真空容積内にはなく、ギアセクション内にのみ存在します。 EV-A 03 および EV-A 06 モデルはミネラルギアオイルを使用し、EV-A 10 モデルは Fomblin PFPE ギアオイルを使用します。エバラ EV-A ポンプは、摩擦のない設計によりクリーンなドライ真空を生成し、非接触、多段ルート、信頼性が高く、粒子のない真空生成を実現します。スクロール ポンプとは異なり、EV-A ポンプには、磨耗してサックバック問題が発生した際に荒引きラインやプロセス チャンバーの汚染物質となる可能性がある粒子状の粉塵を生成するチップ シールがありません。エバラ EV-A 真空ポンプは信頼性の高い設計により、より低い所有コストでドライ真空を実現できます。これらのポンプは、チップシールとベアリング交換の煩わしさを排除し、ドライスクロールポンプでチップシールが摩耗するときに発生するベース圧力ドリフトがありません。改良されたロータリーローブポンプ設計により、ポンプの寿命全体にわたって一定の到達圧力、7 mTorr のベース圧力が提供されます。エバラのEV-Aポンプはファン冷却されていますが、より高い内部温度で動作するように設計されており、EV-SA20モデルでは1時間あたり水1個あたり750グラムという大きな凝縮蒸気のポンプ能力を実現します。シャフトシールとベアリングからの摩擦と、ガスの圧縮時に発生する熱により、真空ポンプの内部動作温度が上昇します。凝縮性蒸気をポンピングする場合、ポンプ内の凝縮を防ぐために、オプションのガスバラストの取り付けが必要です。ガスバラストによって導入された空気または窒素は、汲み上げられたガスの分圧を下げて飽和蒸気圧を超えます（ガスを蒸気相に保ちます）。不燃性の蒸気や凝縮性溶剤をポンプ輸送する場合は、大気ガスバラストを使用することをお勧めします。可燃性溶剤のガス蒸気をポンピングする場合は、操作マニュアルに従って N2 バラストを正しく使用する必要があります。水蒸気などの凝縮性ガスを圧送する場合は、ガスバラストバルブを開いた状態で、処理終了後約1時間ポンプを運転し続けると効果的です。これは、ポンプの電源がオフになる前に、水の痕跡をすべて除去するのに役立ちます。 Ebara EV-A 設計の主な改良点は、最初の真空ステージがローターの 2 番目の位置に配置されていることです。ポンピングステージ設計のこの方向により、ローターベアリングが高真空にさらされることがなくなり、その動作寿命が長くなります。改良されたポンプ設計には、硬質陽極酸化アルミニウムの本体、ステンレス鋼のローター、内部排気逆止弁も含まれており、これらの機能は荏原 EV-A ポンプが凝縮性蒸気のポンピングを処理するのに役立ちます。オプションのガスバラストは、ポンプのベース圧力への影響を制限しながら、ポンプの蒸気処理能力を高めるために最適な位置で 3 段および 4 段に注入するように設計されています。エバラ EV-A ポンプの堅牢な設計により、用途とポンプの使用方法に応じて通常 3 ～ 5 年の耐用年数が得られます。 Ebara EV-A ドライロータリーローブ真空ポンプには、ポンプの状態を調整し、運転周波数、電流、運転時間、エラー監視などのポンプ設定を制御するための操作パネルと LED ディスプレイが含まれています。これらのポンプ モーターには可変周波数ドライブ (VFD) が組み込まれており、静止状態からフルスピードまでポンプをゆっくりと始動させ、低始動電流を提供しながら騒音と振動を低減します。ポンプには、リモートスタートやアラームステータス監視などのドライコンタクタ機能を提供する I/O コネクタ D-sub ポートも含まれています。ポンプの回転速度は、この I/O ポートの 0 ～ 10 VDC 入力を介した外部制御により 600 ～ 6000 rpm に調整できます。エバラ EV-SA20 シリーズ ドライ真空ポンプは使い方が簡単で、接続して電源を入れるだけです (とても簡単です)。単相 208 VAC または三相 208 VAC で動作するように注文できます。ここで販売されている現在の部品番号 202590 は、単相 208 VAC ポンプ用です。エバラ EV-A ポンプは、過熱やロックアップを起こすことなく、大気圧で継続的に動作できます。エバラ EV-A 真空ポンプはコンパクトで動作中も静かです。施設内を簡単に移動できるローリングキャスターが付いています。以下のユーザーズマニュアルおよび製品パンフレットのダウンロードで追加情報を参照してください。エバラ EV-Aシリーズ 乾式ロータリーローブポンプのメリットと特長。空冷式 小型、コンパクト サイズ 非接触設計 一定到達圧力 チップシールダストの発生なし 高い大気排気速度 CE および NRTL 定格の単相および三相モデルを用意 低振動 低騒音 メンテナンスフリー あらゆる空気の中で最も高い水蒸気の排気冷却ドライポンプ (ガスバラストが開いた状態) アプリケーション ロードロック分析機器 (LCMS 液体クロマトグラフィー質量分析計、GCMS ガスクロマトグラフィー質量分析計) 計測学 - SEM (走査型電子顕微鏡)、TEM (透過型電子顕微鏡) PVD (物理蒸着) スパッタシステム 乾燥 真空オーブン 酸素プラズマ システム ウェット ポンプの交換 スクロール ポンプの交換 クリーン アプリケーション グローブ ボックス 凍結乾燥 (凍結乾燥) 滅菌器 (気化過酸化水素滅菌器 医療機器 病院用途の真空蒸気滅菌) リーク検出器 ビームラインおよびシンクロトロン 高エネルギー物理学 (研究開発)研究所 – R&D) スペース シミュレーション チャンバー フレキシブル LED ビデオ ディスプレイを支持するターボ ポンプ 医療機器および PCB 基板製造用の完全にクリーンでドライな真空 中負荷、PFPE ロータリー ベーン ポンプと競合する、酸素のポンピング アプリケーション。プラズマ O2 CF4 EV-SA20 新製品 (クリーン ポンプ、120 °C で動作) 空冷モーターは EV-A より静か 10 EV-SA20 ポンプは費用対効果の高い旧モデルの代替品です エバラ A25、AA20 エドワーズ QDP-80、iQDP-80 、Edwards E2M80 ポンプ BuschBA100、A100 Pfeiffer Alcatel Adixen ACP 120G Leybold LV80、SV100B

エバラ EV-SA20-3 空冷ドライ真空ポンプ 三相 200-240 VAC、60 cfm、上部排気 エバラ部品番号 202591 これらのエバラ EV-SA 20 シリーズ ドライロータリーローブ真空ポンプは空冷式で、軽負荷向けに設計されています。乾式真空アプリケーション。 EV-SA 20 ポンプ ドライ ポンプは、59 cfm (2000 L/分) という大きなポンピング速度を備え、KF-40 吸気口および排気ポートを備え、動作騒音レベル 56 dB (A) で非常に静かに動作し、到達圧力が高くなります。のガスバラストは 22.5 mTorr (ガスバラストがオンの場合は 37.5 mTorr) です。到達圧力でわずか 1.1 kW という低い動作消費電力でコストを節約します。このユニットには荏原参照番号 EV-SA20-3 があり、垂直排気方向、外部サイレンサと逆止弁、三相 200 ～ 240 VAC で動作、オプションのガスバラスト用ポートなどの標準付属品が含まれており、荏原モデルが付いています。 EV-SA20-3 および部品番号 202591。荏原 EV-SA 20 ドライ ポンプには、完全にクリーンなドライ真空を実現する多段ルーツ粗引きポンプ技術が採用されており、5 つの内部ポンピング ステージが含まれています。ポンプは、ガスを入口から出口排気ポートに移送しながら、所定のクリアランスを維持するために同期して回転する一対のハイブリッド ルートで動作します。潤滑油を使用するローターの反対側には歯車が取り付けられています。これらはドライ真空ポンプであり、オイルはポンプの真空容積内にはなく、ギアセクション内にのみ存在します。 EV-A 03 および EV-A 06 モデルはミネラルギアオイルを使用し、EV-A 10 モデルは Fomblin PFPE ギアオイルを使用します。エバラ EV-A ポンプは、摩擦のない設計によりクリーンなドライ真空を生成し、非接触、多段ルート、信頼性が高く、粒子のない真空生成を実現します。スクロール ポンプとは異なり、EV-A ポンプには、磨耗してサックバック問題が発生した際に荒引きラインやプロセス チャンバーの汚染物質となる可能性がある粒子状の粉塵を生成するチップ シールがありません。エバラ EV-A 真空ポンプは信頼性の高い設計により、より低い所有コストでドライ真空を実現できます。これらのポンプは、チップシールとベアリング交換の煩わしさを排除し、ドライスクロールポンプでチップシールが摩耗するときに発生するベース圧力ドリフトがありません。改良されたロータリーローブポンプ設計により、ポンプの寿命全体にわたって一定の到達圧力、7 mTorr のベース圧力が提供されます。エバラのEV-Aポンプはファン冷却されていますが、より高い内部温度で動作するように設計されており、EV-SA20モデルでは1時間あたり水1個あたり750グラムという大きな凝縮蒸気のポンプ能力を実現します。シャフトシールとベアリングからの摩擦と、ガスの圧縮時に発生する熱により、真空ポンプの内部動作温度が上昇します。凝縮性蒸気をポンピングする場合、ポンプ内の凝縮を防ぐために、オプションのガスバラストの取り付けが必要です。ガスバラストによって導入された空気または窒素は、汲み上げられたガスの分圧を下げて飽和蒸気圧を超えます（ガスを蒸気相に保ちます）。不燃性の蒸気や凝縮性溶剤をポンプ輸送する場合は、大気ガスバラストを使用することをお勧めします。可燃性溶剤のガス蒸気をポンピングする場合は、操作マニュアルに従って N2 バラストを正しく使用する必要があります。水蒸気などの凝縮性ガスを圧送する場合は、ガスバラストバルブを開いた状態で、処理終了後約1時間ポンプを運転し続けると効果的です。これは、ポンプの電源がオフになる前に、水の痕跡をすべて除去するのに役立ちます。 Ebara EV-A 設計の主な改良点は、最初の真空ステージがローターの 2 番目の位置に配置されていることです。ポンピングステージ設計のこの方向により、ローターベアリングが高真空にさらされることがなくなり、その動作寿命が長くなります。改良されたポンプ設計には、硬質陽極酸化アルミニウムの本体、ステンレス鋼のローター、内部排気逆止弁も含まれており、これらの機能は荏原 EV-A ポンプが凝縮性蒸気のポンピングを処理するのに役立ちます。オプションのガスバラストは、ポンプのベース圧力への影響を制限しながら、ポンプの蒸気処理能力を高めるために最適な位置で 3 段および 4 段に注入するように設計されています。エバラ EV-A ポンプの堅牢な設計により、用途とポンプの使用方法に応じて通常 3 ～ 5 年の耐用年数が得られます。 Ebara EV-A ドライロータリーローブ真空ポンプには、ポンプの状態を調整し、運転周波数、電流、運転時間、エラー監視などのポンプ設定を制御するための操作パネルと LED ディスプレイが含まれています。これらのポンプ モーターには可変周波数ドライブ (VFD) が組み込まれており、静止状態からフルスピードまでポンプをゆっくりと始動させ、低始動電流を提供しながら騒音と振動を低減します。ポンプには、リモートスタートやアラームステータス監視などのドライコンタクタ機能を提供する I/O コネクタ D-sub ポートも含まれています。ポンプの回転速度は、この I/O ポートの 0 ～ 10 VDC 入力を介した外部制御により 600 ～ 6000 rpm に調整できます。エバラ EV-SA20 シリーズ ドライ真空ポンプは使い方が簡単で、接続して電源を入れるだけです (とても簡単です)。単相 208 VAC または三相 208 VAC で動作するように注文できます。ここで販売されている現在の部品番号 202591 は三相 208 VAC ポンプ用です。エバラ EV-A ポンプは、過熱やロックアップを起こすことなく、大気圧で継続的に動作できます。エバラ EV-A 真空ポンプはコンパクトで動作中も静かです。施設内を簡単に移動できるローリングキャスターが付いています。以下のユーザーズマニュアルおよび製品パンフレットのダウンロードで追加情報を参照してください。エバラ EV-Aシリーズ 乾式ロータリーローブポンプのメリットと特長。空冷式 小型、コンパクト サイズ 非接触設計 一定到達圧力 チップシールダストの発生なし 高い大気排気速度 CE および NRTL 定格の単相および三相モデルを用意 低振動 低騒音 メンテナンスフリー あらゆる空気の中で最も高い水蒸気の排気冷却ドライポンプ (ガスバラストが開いた状態) アプリケーション ロードロック分析機器 (LCMS 液体クロマトグラフィー質量分析計、GCMS ガスクロマトグラフィー質量分析計) 計測学 - SEM (走査型電子顕微鏡)、TEM (透過型電子顕微鏡) PVD (物理蒸着) スパッタシステム 乾燥 真空オーブン 酸素プラズマ システム ウェット ポンプの交換 スクロール ポンプの交換 クリーン アプリケーション グローブ ボックス 凍結乾燥 (凍結乾燥) 滅菌器 (気化過酸化水素滅菌器 医療機器 病院用途の真空蒸気滅菌) リーク検出器 ビームラインおよびシンクロトロン 高エネルギー物理学 (研究開発)研究所 – R&D) スペース シミュレーション チャンバー フレキシブル LED ビデオ ディスプレイを支持するターボ ポンプ 医療機器および PCB 基板製造用の完全にクリーンでドライな真空 中負荷、PFPE ロータリー ベーン ポンプと競合する、酸素のポンピング アプリケーション。プラズマ O2 CF4 EV-SA20 新製品 (クリーン ポンプ、120 °C で動作) 空冷モーターは EV-A より静か 10 EV-SA20 ポンプは費用対効果の高い旧モデルの代替品です エバラ A25、AA20 エドワーズ QDP-80、iQDP-80 、Edwards E2M80 ポンプ BuschBA100、A100 Pfeiffer Alcatel Adixen ACP 120G Leybold LV80、SV100B

エバラ EV-SA30-2 クリーン用途用空冷ドライ真空ポンプ、単相 200-240 VAC、120 cfm 3,300 l/min.、PN: 202653 これらのエバラ EV-SA 30 シリーズ ドライロータリーローブ真空ポンプは空冷式です。軽量の乾式真空用途向けに設計されています。 EV-SA 30 ポンプ ドライ ポンプは、120 cfm (3300 L/分) という大きなポンピング速度を備え、KF-40 吸気口および排気ポートを備え、56 dB (A) の動作騒音レベルで非常に静かに動作し、圧力を発生させることなく到達圧力を実現します。のガスバラストは 22.5 mTorr (ガスバラストがオンの場合は 37.5 mTorr) です。到達圧力でわずか 1.1 kW という低い動作消費電力でコストを節約します。このユニットには荏原参照番号 EV-SA30-2 があり、垂直排気方向、外部サイレンサと逆止弁、単相 200 ～ 240 VAC で動作、オプションのガスバラスト用ポートなどの標準付属品が含まれており、荏原モデルが付いています。 EV-SA30-2 および部品番号 202653。エバラ EV-SA30 シリーズ ドライ真空ポンプは使い方が簡単で、接続して電源を入れるだけです (とても簡単です)。単相 208 VAC または三相 208 VAC で動作するように注文できます。ここで販売されている現在の部品番号 202653 は、単相 208 VAC ポンプ用です。エバラ EV-SA ポンプは、過熱やロックアップを起こすことなく、大気圧で継続的に動作できます。エバラ EV-SA 真空ポンプはコンパクトで動作中も静かです。施設内を簡単に移動できるローリングキャスターが付いています。以下のユーザーズマニュアルおよび製品パンフレットのダウンロードで追加情報を参照してください。エバラ EV-SAシリーズ乾式ロータリーローブポンプの特長と利点。最低のエネルギー消費 メンテナンス不要 低い運用コスト 広い真空範囲 高い収益性 最小限の設置面積 アプリケーション ロードロック分析機器 (LCMS 液体クロマトグラフィー質量分析計、GCMS ガスクロマトグラフィー質量分析計) 計測学 - SEM (走査型電子顕微鏡)、TEM (透過型電子顕微鏡) PVD (物理蒸着) スパッタ システム 乾燥真空オーブン 酸素プラズマ システム ウェット ポンプの交換 スクロール ポンプの交換 クリーン アプリケーション グローブ ボックス 凍結乾燥 (凍結乾燥) 滅菌器 (気化過酸化水素滅菌器 医療機器 病院用途の真空蒸気滅菌) リーク検出器 ビームラインおよびシンクロトロン 高エネルギー物理学 (研究開発研究所 – R&D) スペース シミュレーション チャンバー フレキシブル LED ビデオ ディスプレイを支えるターボ ポンプ 医療機器および PCB 基板製造用の完全にクリーンでドライな真空 中負荷、PFPE ロータリー ベーン ポンプと競合する酸素のポンピング アプリケーション。血漿 O2 CF4

エバラ EV-SA30-3 クリーン用途用空冷ドライ真空ポンプ、三相 200-240 VAC、120 cfm 3,300 l/min.、PN: 202654 これらのエバラ EV-SA 30 シリーズ ドライロータリーローブ真空ポンプは空冷式です。軽量の乾式真空用途向けに設計されています。 EV-SA 30 ポンプ ドライ ポンプは、120 cfm (3300 L/分) という大きなポンピング速度を備え、KF-40 吸気口および排気ポートを備え、56 dB (A) の動作騒音レベルで非常に静かに動作し、圧力を発生させることなく到達圧力を実現します。のガスバラストは 22.5 mTorr (ガスバラストがオンの場合は 37.5 mTorr) です。到達圧力でわずか 1.1 kW という低い動作消費電力でコストを節約します。このユニットには荏原参照番号 EV-SA30-3 があり、垂直排気方向、外部サイレンサと逆止弁、単相 200 ～ 240 VAC で動作、オプションのガスバラスト用ポートなどの標準付属品が含まれており、荏原モデルが付いています。 EV-SA30-3 および部品番号 202654。エバラ EV-SA30 シリーズ ドライ真空ポンプは使い方が簡単で、接続して電源を入れるだけです (とても簡単です)。単相 208 VAC または三相 208 VAC で動作するように注文できます。ここで販売されている現在の部品番号 202654 は三相 208 VAC ポンプ用です。エバラ EV-SA ポンプは、過熱やロックアップを起こすことなく、大気圧で継続的に動作できます。エバラ EV-SA 真空ポンプはコンパクトで動作中も静かです。施設内を簡単に移動できるローリングキャスターが付いています。以下のユーザーズマニュアルおよび製品パンフレットのダウンロードで追加情報を参照してください。エバラ EV-SAシリーズ乾式ロータリーローブポンプの特長と利点。最低のエネルギー消費 メンテナンス不要 低い運用コスト 広い真空範囲 高い収益性 最小限の設置面積 アプリケーション ロードロック分析機器 (LCMS 液体クロマトグラフィー質量分析計、GCMS ガスクロマトグラフィー質量分析計) 計測学 - SEM (走査型電子顕微鏡)、TEM (透過型電子顕微鏡) PVD (物理蒸着) スパッタ システム 乾燥真空オーブン 酸素プラズマ システム ウェット ポンプの交換 スクロール ポンプの交換 クリーン アプリケーション グローブ ボックス 凍結乾燥 (凍結乾燥) 滅菌器 (気化過酸化水素滅菌器 医療機器 病院用途の真空蒸気滅菌) リーク検出器 ビームラインおよびシンクロトロン 高エネルギー物理学 (研究開発研究所 – R&D) スペース シミュレーション チャンバー フレキシブル LED ビデオ ディスプレイを支えるターボ ポンプ 医療機器および PCB 基板製造用の完全にクリーンでドライな真空 中負荷、PFPE ロータリー ベーン ポンプと競合する酸素のポンピング アプリケーション。血漿 O2 CF4

エバラ油 EV-Aシリーズ空冷ポンプ用 バリエルタJ100オイル 1kg品番 927040 エバラ石油 EV-Aシリーズ空冷ポンプ用 バリエルタ J100オイル 1kgです。

Ebara EV-A10 および EV-SA20 3 相 208 ～ 240 VAC 電源ケーブル コード アセンブリ、長さ 6 フィート荏原部品番号 210516 これらの Ebara EV-A10 および EV-SA20 電源ケーブルは、3 相 208 ～ 240 VAC で動作するように設計されています。 VACエバラ EV-A10、EV-AS20はドライマルチルートの真空ポンプです。これらの電源コード アセンブリの長さは 6 フィート (2 メートル)、14/4 導体です。これらは三相電源への接続用にオープンエンドであり、荏原モデル EV-A10-3 および EV-A20-3 に適合します。荏原テクノロジーズの部品番号は210516です。