Edwards GX100L ドライ真空ポンプ、62 CFM 200-230V 50/60Hz、3.75 mtorr。到達圧力 Edwards 部品番号 A54710958 Edwards GX ドライ真空ポンプ シリーズは、大規模なオーバーホール間のメンテナンス不要の新しい基準を設定します。効率の向上により所有コストが削減され、圧力範囲全体にわたって継続的なポンピング作業が可能になります。 GX ドライポンプには、重要なデータを Web ページ経由で表示できるイーサネット接続と、ポンプの継続的な可用性を確保するための包括的なネットワーク オプション セットが含まれています。 GX ポンプは、クリーンから中負荷プロセスまでのアプリケーションに対応するために、幅広いピーク速度とバリエーションを用意しています。モジュラー設計により、ユーザーは個々の工場の要件に合わせて GX ドライ ポンプを構成できます。超コンパクトな設置面積により、ツール上、近接、またはリモートなどの設置オプションが可能になります。詳細な仕様とオプションについては、「利用可能なダウンロード」まで下にスクロールし、datasheet.pdf をダウンロードしてください。これらの Edwards GX100L ドライ半導体真空ポンプは新品で、Edwards 部品番号 A547-10-958 (A54710958) です。

Edwards iGX100L ドライ真空ポンプ、62 CFM 200-230V 50/60Hz、3.75 mtorr。到達圧力 Edwards 部品番号 A54610958 Edwards iGX ドライ真空ポンプ シリーズは、大規模なオーバーホール間のメンテナンス不要の新しい基準を設定します。効率の向上により所有コストが削減され、圧力範囲全体にわたって継続的なポンピング作業が可能になります。 iGX ドライポンプには、重要なデータを Web ページ経由で表示できるイーサネット接続と、ポンプの継続的な可用性を確保するための包括的なネットワーキング オプションが含まれています。 iGX ポンプは、クリーンから中負荷のプロセスまでのアプリケーションに対応するために、幅広いピーク速度とバリエーションを用意しています。モジュラー設計により、ユーザーは個別の工場要件に合わせて iGX ドライ ポンプを構成できます。超コンパクトな設置面積により、ツール上、近接、またはリモートなどの設置オプションが可能になります。詳細な仕様とオプションについては、「利用可能なダウンロード」まで下にスクロールし、datasheet.pdf をダウンロードしてください。これらの Edwards iGX100L ドライ半導体真空ポンプは新品で、Edwards 部品番号 A546-10-958 (A54610958) です。

Edwards iGX100M ドライ真空ポンプ、62 CFM 200-230V 50/60Hz、3.75 mtorr。到達圧力 Edwards 部品番号 A54612958 Edwards iGX ドライ真空ポンプ シリーズは、大規模なオーバーホール間のメンテナンス不要の新しい基準を設定します。効率の向上により所有コストが削減され、圧力範囲全体にわたって継続的なポンピング作業が可能になります。 iGX ドライポンプには、重要なデータを Web ページ経由で表示できるイーサネット接続と、ポンプの継続的な可用性を確保するための包括的なネットワーキング オプションが含まれています。 iGX ポンプは、クリーンから中負荷のプロセスまでのアプリケーションに対応するために、幅広いピーク速度とバリエーションを用意しています。モジュラー設計により、ユーザーは個別の工場要件に合わせて iGX ドライ ポンプを構成できます。超コンパクトな設置面積により、ツール上、近接、またはリモートなどの設置オプションが可能になります。詳細な仕様とオプションについては、「利用可能なダウンロード」まで下にスクロールし、datasheet.pdf をダウンロードしてください。これらの Edwards iGX100M ドライ半導体真空ポンプは新品で、Edwards 部品番号 A546-12-958 (A54612958) です。

新品 Edwards iGX100M ドライ真空ポンプ、62 CFM 380-460V 50/60Hz、3.75 mtorr。到達圧力 Edwards 部品番号 A54612959 Edwards iGX ドライ真空ポンプ シリーズは、大規模なオーバーホール間のメンテナンス不要の新しい基準を設定します。効率の向上により所有コストが削減され、圧力範囲全体にわたって継続的なポンピング作業が可能になります。 iGX ドライポンプには、重要なデータを Web ページ経由で表示できるイーサネット接続と、ポンプの継続的な可用性を確保するための包括的なネットワーキング オプションが含まれています。 iGX ポンプは、クリーンから中負荷のプロセスまでのアプリケーションに対応するために、幅広いピーク速度とバリエーションを用意しています。モジュラー設計により、ユーザーは個別の工場要件に合わせて iGX ドライ ポンプを構成できます。超コンパクトな設置面積により、ツール上、近接、またはリモートなどの設置オプションが可能になります。詳細な仕様とオプションについては、「利用可能なダウンロード」まで下にスクロールし、datasheet.pdf をダウンロードしてください。これらの Edwards iGX100M ドライ半導体真空ポンプは新品で、Edwards 部品番号 A54612959 (A546-12-959) です。

Edwards GX、iGX、iXH、iXM、および iXL ポンプ ディスプレイ ターミナル、5Way、XLR プラグ、ハンドヘルド キーパッド ディスプレイ モジュール。 Edwards 部品番号: D37280700 Edwards GX、iGX、iXH、IXM、および iXL ポンプ ディスプレイ ターミナル 5 ウェイ XLR プラグ。 5 ウェイ XLR 接続を備えた Edwards GX、iGX、および iXL120 シリーズ ドライ ポンプ システム用のハンドヘルド ディスプレイ。エドワーズ掃除機の部品番号 D37280700。

Edwards GXS ウェットプロセス サイレンサー リア水平取付キット このキットには、M58808162 サイレンサー アセンブリは含まれていません。取り付けキットのみが含まれています。これは、Edwards GXS サイレンサー リア水平取付キットです。 Edwards GXS 湿式プロセス サイレンサーを GXS モデル ポンプの後部に水平に取り付けるために必要なすべてが付属しています。 Edwards サイレンサーモデル番号 M58808162 のみに適合します。

Edwards GX & iGX ポンプ電気プラグ入力電源接続キット、三相電源、D37370833 これは、Edwards GX & iGX ポンプ電気プラグ入力電源接続キット、三相電源、Edwards 真空部品番号 D37370833 です。

New Edwards iGX ドライ ポンプ システム 排気エンクロージャ キット プロセス用チェック バルブ (N および M) Edwards PN A507-44-000、A50744000 これは、排気後の排気蒸気の逆流を防止する、排気出口用のチェック バルブ キットです。 Edwards iGX ドライ ポンプ システムがシャットダウンされています。逆止弁は、プロセス N および M の排気圧力パルスの追加の減衰も提供します。Edwards iGX ドライ ポンプ N および M モデルの排気逆止弁、エルボ、トラップ O リング、クランプおよび断熱ジャケットが含まれます。

Edwards GXS ポンプ湿式プロセス排気サイレンサー GXS ポンプ システムからの騒音を低減するために使用されるサイレンサーには、湿式プロセス排気サイレンサーと乾式プロセス排気サイレンサーの 2 種類があります。これは、塗装された炭素鋼で作られ、ポンプ処理中に生成される可能性のある液体または粒子を保持するように設計された湿式プロセス排気サイレンサーです。湿式プロセスサイレンサーは水平に取り付けられますが、乾式プロセスサイレンサーは垂直に取り付けられます。サイレンサーは分解せずに排水できますが、ポンプの性能が低下した場合は清掃する必要があります。側面または背面の位置に取り付けることができます。サイレンサーの取り付けキットへのリンク: P108231

Edwards SPI マイクロ TIM モジュールD37360310SPI マイクロ TIM モジュールは、マイクロ TIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards SPI ツール インターフェイスを提供します。 SPI マイクロ TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 SPI Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards MCM マイクロ TIM モジュールD37360320MCM MicroTIM モジュールは、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards MCM ツール インターフェイスを提供します。 MCM Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 MCM Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ GXS シリーズ (MCM バージョンのみ) CXS シリーズ (MCM バージョンのみ) これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を提供するために利用できます。たとえば、インターフェースモジュールを変更せずにポンプを iH から iHs にアップグレードできます。 MCM マイクロ TIM は、GXS および CXS シリーズ ポンプと AUC 互換性があります。 iH iTIM D37422000 - MCM と同等。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards TEL マイクロ TIM モジュールD37360330TEL マイクロ TIM モジュールは、マイクロ TIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards TEL ツール インターフェイスを提供します。 TEL Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 TEL Micro TIM は以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Semi E73 Micro TIM ModuleD37360340Semi E73 Micro TIM モジュールは、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Semi E73 準拠ツール インターフェイスを提供します。 Semi E73 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 Semi E73 Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards LAM Alliance Micro TIM モジュールD37360350LAM Alliance MicroTIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の LAM Alliance プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。 LAM Alliance Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 LAM Alliance Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Novellus C3 Micro TIM モジュールD37360360Novellus C3 Micro TIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Novellus C3 プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。 Novellus C3 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 Novellus C3 Micro TIM は、次の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Hitachi Micro TIM ModuleD37360370Hitachi MicroTIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Hitachi ツール インターフェイスを提供します。 Hitachi Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。日立マイクロTIMは以下のエドワーズポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

新しいスタイルの iXL または iXH シリーズ ドライ半導体ポンプを既存の古いスタイルの iH シリーズ ポンプを備えたツールに取り付けるための Edwards EMO ケーブル。 Ideal Vacuum は独自のインターフェイス ケーブルを提供しており、古いスタイルの iH シリーズ ポンプを IXL120N、iXH100、または iXH610 のスタイルに置き換えることができます。この EMO ケーブル接続は、半導体ツールのサブファブに複数の古いスタイルの iH ポンプが接続されているアプリケーションに役立ちます。このインターフェイス モジュール ケーブルは、残りの古いスタイルの iH ポンプと新しいスタイルの iXL120N 交換用ポンプを介して EMO 回路を継続します。接続とさまざまなインターフェイス モジュールについては、以下で詳しく説明します。このケーブルは通常、左側の iH の iTIM の P2 (出力)、iXL120N の緊急停止 (EMS) コネクタ、右側の iH ポンプの iTIM の J1 (入力) に接続されます (詳細は、PDF 形式のアプリケーション ノートを参照してください)。 。問題は、Edwards iHシリーズのポンプが現在製造中止されており、入手できないことです。 Ideal Vacuum では、交換用ポンプ、ロード ロック用の iXL120N、iXH100 (iH80 の代替品)、iXH610 (iH600 の代替品) などを在庫しています。新しい iXL120N ポンプには、古いスタイルの IH ポンプのような前面に EMO ボタンがありません (詳細はアプリケーション ノートを参照)。 Edwards iTIM は、多くの場合、サブファブ内の単一の半導体ツールに複数のポンプが接続される旧式の Edwards iH シリーズ ドライ半導体真空ポンプで構成されていました。 EMO ケーブル配線は、iH シリーズ ポンプのいずれかで EMO が押された場合にツールをシャットダウンするように設定されています。これらのポンプは通常、デイジー チェーン構成で直列にケーブル接続されています。