Edwards iXM 200 ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。 Edwards 部品番号 A56106958 Edwards iXM 200 は、グリーン製造向けに構築された新しいドライ ポンプ シリーズです。非常に低いエネルギーを使用する効率的なルーツメカニズムは、入力電力を前世代のドライポンプより 60% 低い 1.3 kW に劇的に削減するために開発され、環境への影響を軽減し、所有コストを削減します。ガスバリア技術と熱設計の改良により、iHシリーズ製品と比較して4倍の耐食性を実現しました。高度な粉末処理機能により、iXM は多層エッチング プロセスで最大の信頼性とポンプ寿命の延長、CVD プロセスでの消費電力の削減を実現します。 Edwards iXM 200 シリーズ ポンプはコンパクトで軽量な設計で、非常に低い騒音と振動を備えているため、iXM は Edwards シリーズの中で最も汎用性の高いドライ ポンプとなっています。 iXM は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を変革し、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の向上を実現します。 iXM ポンプは、入力電力を大幅に削減しながら、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されています。完全な取扱説明書については、横の「ダウンロード」を参照してください。特徴と利点: 主にクリーンから軽度の過酷な化学用途向け (以下の用途範囲を参照) ピーク排気速度 200 m3/h-1 (118 CFM) 到達圧力 1.5 X 10-2 Torr プライマリ ポンプのみを含む 予防保守は不要 3/8インチ クイック コネクト 水充填 水および電源接続 嵌合ハーフ SS 水冷システム バリモード ガス モジュール アプリケーション: ロード ロック トランスファー 気象学 リソグラフィー 物理蒸着 PVD プロセス 物理蒸着 PVD プレクリーン 急速熱アニール RTA ストリップ/アッシング エッチング インプラント ソース 高密度プラズマ化学蒸着 HDP CVD 高速熱処理 RTP 亜大気化学蒸着 SACVD タングステン化学蒸着 WCVD 改良化学蒸着 MCVD プラズマ化学蒸着 PECVD 低圧化学蒸着 LPCVD

Edwards iXM 600 ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。 Edwards 部品番号 A56126958 Edwards iXM 600 は、グリーン製造向けに構築された新しいドライ ポンプ シリーズです。非常に低いエネルギーを使用する効率的なルーツメカニズムは、入力電力を前世代のドライポンプより 60% 低い 1.3 kW に劇的に削減するために開発され、環境への影響を軽減し、所有コストを削減します。ガスバリア技術と熱設計の改良により、iHシリーズ製品と比較して4倍の耐食性を実現しました。高度な粉末処理機能により、iXM は多層エッチング プロセスで最大の信頼性とポンプ寿命の延長、CVD プロセスでの消費電力の削減を実現します。 Edwards iXM 600 シリーズ ポンプはコンパクトで軽量な設計で、非常に低い騒音と振動を備えているため、iXM は Edwards シリーズの中で最も汎用性の高いドライ ポンプとなっています。 iXM は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を変革し、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の向上を実現します。 iXM ポンプは、入力電力を大幅に削減しながら、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されています。完全な取扱説明書については、横の「ダウンロード」を参照してください。特徴と利点: 主にクリーンから軽度の過酷な化学用途向け (以下の用途範囲を参照) ピーク排気速度 600 m3/h-1 (353 CFM) 到達圧力 3.75 X 10-3 Torr 予防保守は不要 3/8 インチのクイック接続水充填材 水および電源接続 嵌合ハーフ SS 水冷システム バリモード ガス モジュール アプリケーション: ロード ロック トランスファー 気象学 リソグラフィー 物理蒸着 PVD プロセス 物理蒸着 PVD プレクリーン 急速熱アニール RTA ストリップ/アッシング エッチング インプラント ソース 高密度プラズマ 化学蒸着HDP CVD 急速熱処理 RTP 亜大気化学蒸着 SACVD タングステン化学蒸着 WCVD 改良化学蒸着 MCVD プラズマ化学蒸着 PECVD 低圧化学蒸着 LPCVD

Edwards iXM 1200 ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。 Edwards 部品番号 A56146958 Edwards iXM 1200 は、グリーン製造向けに構築された新しいドライ ポンプ シリーズです。非常に低いエネルギーを使用する効率的なルーツメカニズムは、入力電力を前世代のドライポンプより 60% 低い 1.3 kW に劇的に削減するために開発され、環境への影響を軽減し、所有コストを削減します。ガスバリア技術と熱設計の改良により、iHシリーズ製品と比較して4倍の耐食性を実現しました。高度な粉末処理機能により、iXM は多層エッチング プロセスで最大の信頼性とポンプ寿命の延長、CVD プロセスでの消費電力の削減を実現します。 Edwards iXM 1200 シリーズ ポンプはコンパクトで軽量な設計で、非常に低い騒音と振動を備えているため、iXM は Edwards シリーズの中で最も汎用性の高いドライ ポンプとなっています。 iXM は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を変革し、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の向上を実現します。 iXM ポンプは、入力電力を大幅に削減しながら、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されています。完全な取扱説明書については、横の「ダウンロード」を参照してください。特徴と利点: 主にクリーンから軽度の過酷な化学用途向け (下記の用途範囲を参照) ピーク排気速度 1030 m3/h-1 (606 CFM) 到達圧力 5.0 X 10-3 Torr 予防保守不要 3/8 インチのクイック接続水充填材 水および電源接続 嵌合ハーフ SS 水冷システム バリモード ガス モジュール アプリケーション: ロード ロック トランスファー 気象学 リソグラフィー 物理蒸着 PVD プロセス 物理蒸着 PVD プレクリーン 急速熱アニール RTA ストリップ/アッシング エッチング インプラント ソース 高密度プラズマ 化学蒸着HDP CVD 急速熱処理 RTP 亜大気化学蒸着 SACVD タングステン化学蒸着 WCVD 改良化学蒸着 MCVD プラズマ化学蒸着 PECVD 低圧化学蒸着 LPCVD

Edwards GX、iGX、iXH、iXM、および iXL ポンプ ディスプレイ ターミナル、5Way、XLR プラグ、ハンドヘルド キーパッド ディスプレイ モジュール。 Edwards 部品番号: D37280700 Edwards GX、iGX、iXH、IXM、および iXL ポンプ ディスプレイ ターミナル 5 ウェイ XLR プラグ。 5 ウェイ XLR 接続を備えた Edwards GX、iGX、および iXL120 シリーズ ドライ ポンプ システム用のハンドヘルド ディスプレイ。エドワーズ掃除機の部品番号 D37280700。

Edwards SPI マイクロ TIM モジュールD37360310SPI マイクロ TIM モジュールは、マイクロ TIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards SPI ツール インターフェイスを提供します。 SPI マイクロ TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 SPI Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards MCM マイクロ TIM モジュールD37360320MCM MicroTIM モジュールは、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards MCM ツール インターフェイスを提供します。 MCM Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 MCM Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ GXS シリーズ (MCM バージョンのみ) CXS シリーズ (MCM バージョンのみ) これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を提供するために利用できます。たとえば、インターフェースモジュールを変更せずにポンプを iH から iHs にアップグレードできます。 MCM マイクロ TIM は、GXS および CXS シリーズ ポンプと AUC 互換性があります。 iH iTIM D37422000 - MCM と同等。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards TEL マイクロ TIM モジュールD37360330TEL マイクロ TIM モジュールは、マイクロ TIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards TEL ツール インターフェイスを提供します。 TEL Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 TEL Micro TIM は以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Semi E73 Micro TIM ModuleD37360340Semi E73 Micro TIM モジュールは、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Semi E73 準拠ツール インターフェイスを提供します。 Semi E73 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 Semi E73 Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards LAM Alliance Micro TIM モジュールD37360350LAM Alliance MicroTIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の LAM Alliance プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。 LAM Alliance Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 LAM Alliance Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Novellus C3 Micro TIM モジュールD37360360Novellus C3 Micro TIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Novellus C3 プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。 Novellus C3 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 Novellus C3 Micro TIM は、次の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Hitachi Micro TIM ModuleD37360370Hitachi MicroTIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Hitachi ツール インターフェイスを提供します。 Hitachi Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。日立マイクロTIMは以下のエドワーズポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

新しいスタイルの iXL または iXH シリーズ ドライ半導体ポンプを既存の古いスタイルの iH シリーズ ポンプを備えたツールに取り付けるための Edwards EMO ケーブル。 Ideal Vacuum は独自のインターフェイス ケーブルを提供しており、古いスタイルの iH シリーズ ポンプを IXL120N、iXH100、または iXH610 のスタイルに置き換えることができます。この EMO ケーブル接続は、半導体ツールのサブファブに複数の古いスタイルの iH ポンプが接続されているアプリケーションに役立ちます。このインターフェイス モジュール ケーブルは、残りの古いスタイルの iH ポンプと新しいスタイルの iXL120N 交換用ポンプを介して EMO 回路を継続します。接続とさまざまなインターフェイス モジュールについては、以下で詳しく説明します。このケーブルは通常、左側の iH の iTIM の P2 (出力)、iXL120N の緊急停止 (EMS) コネクタ、右側の iH ポンプの iTIM の J1 (入力) に接続されます (詳細は、PDF 形式のアプリケーション ノートを参照してください)。 。問題は、Edwards iHシリーズのポンプが現在製造中止されており、入手できないことです。 Ideal Vacuum では、交換用ポンプ、ロード ロック用の iXL120N、iXH100 (iH80 の代替品)、iXH610 (iH600 の代替品) などを在庫しています。新しい iXL120N ポンプには、古いスタイルの IH ポンプのような前面に EMO ボタンがありません (詳細はアプリケーション ノートを参照)。 Edwards iTIM は、多くの場合、サブファブ内の単一の半導体ツールに複数のポンプが接続される旧式の Edwards iH シリーズ ドライ半導体真空ポンプで構成されていました。 EMO ケーブル配線は、iH シリーズ ポンプのいずれかで EMO が押された場合にツールをシャットダウンするように設定されています。これらのポンプは通常、デイジー チェーン構成で直列にケーブル接続されています。